[发明专利]腔室内机器人追踪控制系统及包括其的基板处理装置

说明书

本发明涉及可利用多个超宽带(UWB)雷达来检测腔室内的机器人的位置的腔室内机器人追踪控制系统。为此，本发明提供腔室内机器人追踪控制系统，包括：超宽带雷达，设置于腔室内；位置检测部，通过利用借助上述超宽带雷达的数据检测在上述腔室内移动的机器人的位置；以及机器人控制部，通过对上述位置检测部所检测到的机器人的位置与障碍物的位置进行比较来控制上述机器人的移动。因此，根据本发明，具有如下的优点，即，可在腔室呢实时掌握机器人的位置，因此，可掌握机器人的移动路径是否适当，可事先防止危急的事故。

技术领域

本发明涉及腔室内机器人追踪控制系统及基板处理装置，具体地，涉及可利用多个超宽带(UWB)雷达检测腔室内的机器人的位置的腔室内机器人追踪控制系统及基板处理装置。

背景技术

半导体工序包括照片、蚀刻、薄膜蒸镀、清洗等多种工序。这种工序主要在工序腔室内进行，在向腔室内部移送晶片或多个部件时使用机器人。

即，上述机器人用于向腔室内移送基板或向腔室外送还完成工序的基板。

根据图1所示的现有技术的韩国公开专利第10-2018-0029367号，记载了移送机器人监测方法。这种移送机器人包括支撑部件11、位于支撑部件11的手柄12、用于控制手柄12的控制器20，在手柄的驱动过程中，若判断为在监测上述手柄的状态的过程中具有异常，则上述控制器再次驱动为减少手柄的驱动速度的状态，由此，再次检测异常与否。

但是，这种移送机器人仅用于监测手柄的驱动位置、速度、扭矩等的信息，无法掌握移送机器人的位置。

当手动操作机器人时，以机器人为基准，利用前进距离、旋转角度、高低等的坐标来进行操作。

但是，在机器人进入腔室内部的情况下，在外部无法掌握机器人的当前位置，在机器人与如壁的障碍物碰撞的情况下，无法掌握实际上机器人如何移动而发生事故。

发明内容

本发明用于解决如上所述的问题，具体地，通过实时掌握在腔室内移动的机器人的位置来适当地进行控制。

并且，累积与机器人的移动路径有关的数据来提供最优化的机器人的控制方法。

为了实现如上所述的目的，本发明提供腔室内机器人追踪控制系统，包括：超宽带雷达，设置于腔室内；位置检测部，通过利用借助上述超宽带雷达的数据检测在上述腔室内移动的机器人的位置；以及机器人控制部，通过对上述位置检测部所检测到的机器人的位置与障碍物的位置进行比较来控制上述机器人的移动。

上述机器人控制部计算机器人的坐标与障碍物的坐标之间的测定距离，可对上述测定距离与安全距离进行比较。

优选地，存储部对每个障碍物设置独立的安全距离来存储，上述机器人控制部在通过上述位置检测部所检测到的机器人的坐标抽取最短距离障碍物，由此，判断上述机器人的坐标与上述最短距离障碍物坐标之间的测定距离是否达到所检测到的安全距离以上。

上述超宽带雷达设置3个以上，上述位置检测部形成将通过各个超宽带雷达检测到的与机器人之间的距离作为半径的虚拟圆，可将上述圆的最多交点设置为上述机器人的坐标。

优选地，在上述机器人设置有介电常数与其他障碍物不同的探测电介质。

上述机器人控制部在反复进行的相同作业中计算腔室内部的障碍物的坐标与机器人的坐标之间的测定距离，并可与之前作业的测定距离进行比较来校正机器人的移动。

优选地，上述机器人控制部利用存储有以作业内容为基础的障碍物地图的存储部来对障碍物与非障碍物进行互相转换。

根据本发明，本发明包括：腔室；机器人，进入上述腔室的内部；超宽带雷达，设置于上述腔室内；位置检测部，通过利用借助上述超宽带雷达的数据检测在上述腔室内移动的上述机器人的位置；以及存储部，存储通过上述位置检测部检测到的上述机器人的坐标。