[发明专利]腔室内机器人追踪控制系统及包括其的基板处理装置

权利要求书

1.一种腔室内机器人追踪控制系统，其特征在于，包括：

超宽带雷达，设置于腔室内；

位置检测部，通过利用借助上述超宽带雷达的数据检测在上述腔室内移动的机器人的位置；以及

机器人控制部，通过对上述位置检测部所检测到的机器人的位置与障碍物的位置进行比较来控制上述机器人的移动。

2.根据权利要求1所述的腔室内机器人追踪控制系统，其特征在于，上述机器人控制部计算机器人的坐标与障碍物的坐标之间的测定距离，对上述测定距离与安全距离进行比较。

3.根据权利要求2所述的腔室内机器人追踪控制系统，其特征在于，存储部对每个障碍物设置独立的安全距离来存储，上述机器人控制部在通过上述位置检测部所检测到的机器人的坐标抽取最短距离障碍物，由此，判断上述机器人的坐标与上述最短距离障碍物坐标之间的测定距离是否达到所检测到的安全距离以上。

4.根据权利要求1所述的腔室内机器人追踪控制系统，其特征在于，

上述超宽带雷达设置3个以上，

上述位置检测部形成将通过各个超宽带雷达检测到的与机器人之间的距离作为半径的虚拟圆，将上述圆的最多交点设置为上述机器人的坐标。

5.根据权利要求4所述的腔室内机器人追踪控制系统，其特征在于，在上述机器人设置有介电常数与其他障碍物不同的探测电介质。

6.根据权利要求2所述的腔室内机器人追踪控制系统，其特征在于，上述机器人控制部在反复进行的相同作业中计算腔室内部的障碍物的坐标与机器人的坐标之间的测定距离，并与之前作业的测定距离进行比较来校正机器人的移动。

7.根据权利要求1所述的腔室内机器人追踪控制系统，其特征在于，上述机器人控制部利用存储有以作业内容为基础的障碍物地图的存储部来对障碍物与非障碍物进行互相转换。

8.一种基板处理装置，其特征在于，包括：

腔室；

机器人，进入上述腔室的内部；

超宽带雷达，设置于上述腔室内；

位置检测部，通过利用借助上述超宽带雷达测定的数据检测在上述腔室内移动的上述机器人的位置；以及

存储部，存储通过上述位置检测部检测到的上述机器人的坐标。

9.根据权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于，

还包括用于控制上述机器人的移动的机器人控制部，

上述存储部还存储上述腔室内的障碍物的坐标。

10.根据权利要求9所述的基板处理装置，其特征在于，上述机器人控制部计算上述机器人的上述坐标与上述障碍物的上述坐标之间的测定距离，对上述测定距离与安全距离进行比较。

11.根据权利要求10所述的基板处理装置，其特征在于，

上述存储部还存储与上述障碍物有关的安全距离，

上述机器人控制部从上述机器人的上述坐标提取最短距离障碍物，并判断上述机器人的上述坐标与上述最短距离障碍物坐标的测定距离是否为上述安全距离以上。

12.根据权利要求10所述的基板处理装置，其特征在于，

上述超宽带雷达设置3个以上，

上述位置检测部形成将通过各个上述超宽带雷达检测到的与上述机器人之间的距离作为半径的虚拟圆，将上述虚拟圆的最多交点设置为上述机器人的上述坐标。

13.根据权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于，在上述机器人设置有介电常数与上述腔室内的障碍物不同的探测电介质。

14.根据权利要求9所述的基板处理装置，其特征在于，上述机器人控制部在反复进行的相同作业中计算上述腔室的障碍物的坐标与上述机器人的上述坐标之间的测定距离，并与之前作业的测定距离进行比较来校正上述机器人的移动。