[发明专利]碳化硅化学气相沉积炉的进气装置

摘要

本发明提供了一种碳化硅化学气相沉积炉的进气装置，包括：储液室、汽化室、混合室和稀释室，所述储液室设置有一注液口，所述混合室设置有一混合管道，所述稀释室设置有一稀释管道，所述混合管道用于通入氢气，所述稀释管道用于通入氩气，所述汽化室设置在所述储液室上方，所述汽化室通过一导液汽化装置与所述储液室连通，所述汽化室与混合室通过管道相互连通，所述混合室与稀释室通过管道连通，所述稀释室设置有一输出管道，所述输出管道用于连通沉积炉。本发明结构设计合理，操作便捷，进气过程气体不会液化堵塞管道，能够有效生成高纯度的MTS气体并且气体内各成分比例稳定。