[发明专利]化学处理方法和化学处理装置无效
| 申请号： | 03154639.0 | 申请日： | 2003-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN1495292A | 公开（公告）日： | 2004-05-12 |
| 发明（设计）人： | 山本充彦;米村正雄;泽泻由果;前原智子 | 申请（专利权）人： | 卡西欧迈克罗尼克斯株式会社;村田株式会社 |
| 主分类号： | C23F1/00 | 分类号： | C23F1/00;H05K3/06 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 于辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的化学处理装置是装置(30)，在待成膜的材料(C1)上形成的铬膜被该装置刻蚀成预定图案。这一装置包括：阴极电解还原设备(31)，用于使用含有氯离子的处理溶液对作为阴极的铬膜进行电解还原处理，和酸浸泡设备(33)，用于在由阴极电解还原设备(31)进行电解还原处理之后将铬膜浸泡在酸性处理溶液中。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.化学处理方法，使用该方法将待成膜的材料(100)上形成的金属膜(110)刻蚀成预定图案，其特征包括：通过使用含有酸根的第一酸性处理溶液或含有卤素离子的碱性处理溶液，对作为阴极的金属膜(110)进行电解还原处理的阴极电解还原步骤；和在阴极电解还原步骤之后，将金属膜(110)浸泡在第二种酸性处理溶液中的酸浸泡步骤。
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- 高密度互连电路板DES线体蚀刻仓药液循环装置-201320313488.4
- 高月起 - 天津普林电路股份有限公司
- 2013-05-31 - 2014-01-08 - C23F1/00
- 本实用新型涉及一种高密度互连电路板DES线体蚀刻仓药液循环装置，每个蚀刻仓与其相配合的阀门分别连接一三通管的两端，该三通管的第三端连接一输送管，该输送管通过一进液阀连接一竖直位置比所述蚀刻仓低的储液罐，该储液罐的出口通过排液阀、泵连接一过滤器的进口，该过滤器的出口连接所述进液阀的进口。本实用新型中，在现有的每个蚀刻仓出口安装三通，然后将所有的三通连接到竖直位置较低的储液罐，通过不同阀门开合状态的组合，实现了药液自动进入储液罐，然后冲洗蚀刻仓，废液仍然排入酸性非也排放管中，清理完毕后，利用泵使药液通过过滤器后再回到蚀刻仓内，整个过程效率高，节省了人工，而且在应急停机修理时能快速的将药液排空。
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