[发明专利]一种基于双铌源的铌酸钾钠同质多层薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 202010524239.4 | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN111668363B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 张伟;鲍建秋;朱海勇;姜智艺;张雪花;胡芳仁 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | H01L41/39 | 分类号： | H01L41/39;H01L41/187;C01G33/00 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈国强 |
| 地址： | 210000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于双铌源的铌酸钾钠同质多层薄膜的制备方法，步骤为：(1)将五氧化二铌溶解于氢氟酸中，再添加草酸铵，滴加氨水生成白色沉淀，加入柠檬酸得到铌‑柠溶液，继续过滤得到澄清溶液，加入钾盐和钠盐，加入乙二醇，静置得到澄清的铌酸钾钠前驱体溶胶；(2)滴加乙二醇甲醚于反应釜中，吸取乙醇铌置于乙二醇甲醚中，混合溶液水浴加热，滴加冰醋酸，乙酰丙酮和甲酰胺，加入钾盐和钠盐搅拌，得到明黄色铌酸钾钠前驱体溶胶；(3)在硅片上交替旋涂步骤(1)制备的铌酸钾钠前驱体溶胶和步骤(2)制备的铌酸钾钠前驱体溶胶，得到铌酸钾钠同质多层薄膜。本发明得到的KNN多层薄膜在(100)取向高度择优。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 双铌源 铌酸钾钠 同质 多层 薄膜 制备 方法 | ||
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