[发明专利]一种含有碳化硅纳米插入层的涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 202010147181.6 | 申请日： | 2020-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN111139440B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 张笑;李伟 | 申请（专利权）人： | 上海仟纳真空镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 赵晓琳 |
| 地址： | 201100 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种含有碳化硅纳米插入层的涂层及其制备方法，属于保护性涂层领域。本发明综合利用了AlCrTiN层和SiC纳米插入层，得到了兼具高硬度和高耐磨的涂层，能够弥补传统合金在刀具涂层使用中的不足，拓宽了刀具涂层的研究范围。当所述SiC纳米插入层的厚度小于0.5nm时会发生非晶晶化，与模板层AlCrTiN层发生共格外延生长，从而促进AlCrTiN层的柱状晶生长，因此涂层的结晶性变强，硬度进一步得到提高，两层之间形成的共格界面对位错也有阻碍作用，因此含有碳化硅纳米插入层的AlCrTiN涂层具有高的硬度、弹性模量和耐磨性，最大硬度可达到41.5GPa，可以在复杂的高速切削环境下工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 含有 碳化硅 纳米 插入 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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