[发明专利]磷酸刻蚀溶液有效
| 申请号： | 201910917946.7 | 申请日： | 2019-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN110684535B | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 徐融;苏界;孙文斌 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 董琳;高翠花 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种磷酸刻蚀溶液，其包括磷酸刻蚀剂及硅刻蚀抑制剂，所述硅刻蚀抑制剂包括还原性添加剂。所述磷酸刻蚀溶液能够避免外延硅层被刻蚀，进而提高存储器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 磷酸 刻蚀 溶液 | ||
【主权项】：
1.一种磷酸刻蚀溶液，其特征在于，包括磷酸刻蚀剂及硅刻蚀抑制剂，所述硅刻蚀抑制剂包括还原性添加剂。/n
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