[发明专利]一种提高区熔单晶均匀性的气掺线圈在审
| 申请号： | 201910748683.1 | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN110438558A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 刘凯;郝大维;万静;王遵义;孙健;谭永麟;孙晨光;王彦君 | 申请（专利权）人： | 天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/20 | 分类号： | C30B13/20;C30B13/12;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 戴文仪 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种提高区熔单晶均匀性的气掺线圈，包括带有线圈眼和以线圈眼为中心的十字切缝的线圈主体，其中一个切缝为长切缝，长切缝延伸至线圈主体外圆边沿并位于线圈主体的两个线圈腿中间，还包括以线圈眼为中心设置于线圈主体内的圆弧形的掺杂气路，掺杂气路位于十字切缝的三个短切缝的外侧，掺杂气路的圆弧形的两个端点对称的位于长切缝的两侧且不与长切缝连接；掺杂气路上等间距设有多个气孔；掺杂气路与设于线圈主体内的进气气路连接。本发明所述的气掺线圈在线圈主体上直接开设掺杂气路，不单独设计气路，掺杂气路上等间距设有多个气孔，可实现均匀出气，保证了掺杂效果的良好，提高了气掺单晶的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 切缝 掺杂气路 线圈主体 均匀性 单晶 掺杂 圆弧形 在线圈主体 进气气路 中心设置 出气 线圈本 线圈腿 短切 气路 外圆 对称 延伸 保证 | ||
【主权项】：
1.一种提高区熔单晶均匀性的气掺线圈，包括线圈主体，所述线圈主体为中心带有线圈眼(1)的圆环形结构，所述线圈主体上开设有以所述线圈眼(1)为中心贯通上下表面的十字切缝(2)，其中一个切缝为长切缝，所述长切缝延伸至所述线圈主体外圆边沿并位于所述线圈主体的两个线圈腿中间，其特征在于：还包括以所述线圈眼(1)为中心围绕所述线圈眼(1)设置于所述线圈主体内的圆弧形的掺杂气路(3)，所述掺杂气路(3)位于所述十字切缝(2)的三个短切缝的外侧，所述掺杂气路(3)的圆弧形的两个端点对称的位于所述长切缝的两侧且不与长切缝连接；所述掺杂气路(3)上等间距设有多个气孔(4)；所述掺杂气路(3)与设于所述线圈主体内的进气气路(5)连接。
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- 一种使用区熔法拉制单晶硅棒的高频线圈，涉及高频线圈技术领域，本发明通过在高频线圈(2)的中部设置拉制孔(5)，在所述拉制孔向外呈放射状设置导流槽(4)，可以迫使电流往高频线圈拉制孔以外的地方分流，进而克服电流走近路造成线圈中部温度高外围温度的低的弊端，进一步，本发明还通过在导流槽与开口之间设置分流槽(10)，在提高分流电流的同时，还可以迫使电流朝拉制孔处流动，进而保证拉制孔的温度不会过低等，本发明大大提高了能量利用率，降低生产成本、大量节约能源等优点，易于在区熔法生产单晶硅行业推广实施。
- 一种双水路冷却区熔感应线圈-201310039009.9
- 刘剑 - 刘剑
- 2013-02-01 - 2014-08-06 - C30B13/20
- 本发明涉及一种双水路冷却区熔感应线圈，包括单匝线圈平板，所述单匝线圈平板由线圈聚流环与线圈内外冷却水管组成，其中的内外冷却水管环绕焊接于聚流环外围；所述聚流环上表面设有三级台阶并且从外侧第一级台阶至里侧第三级台阶的所在圆的直径逐级递减，同时，位于聚流环内圆下边沿与单匝线圈平板的下表面连接所形成的斜面与水平面形成一定的倾斜角度。本发明有益效果为：有利于大直径的区熔硅单晶的生长，可提高硅内热场的均匀分布程度并且提高硅单晶的成晶稳定性。
- 用于七根硅芯生产带葫芦形拉制孔的高频感应线圈装置-201320851151.9
- 刘剑 - 刘剑
- 2013-12-23 - 2014-06-11 - C30B13/20
- 本实用新型涉及一种用于七根硅芯生产带葫芦形拉制孔的高频感应线圈装置，包括开式聚流环、进水管、出水管、阴极连接法兰、阳极连接法兰、接地连接片，所述开式聚流环为端部开口的圆柱体结构并且位于此圆柱体顶部安装接地连接片，位于此开式聚流环的上端面中心区域设有聚流环圆锥面，位于开式聚流环的下端面中心区域由内向外依次设有三个环形化料台阶；在开式聚流环的中心化料台阶位置处设置中心化料孔，在中心化料孔外部的开式聚流环内环绕分布七个葫芦形拉制孔，每两个相邻的葫芦形拉制孔之间带有一个磁场分割线，从而形成自中心化料孔向外围的放射式结构。本实用新型有益效果为：可使硅芯区熔法拉制更加稳定、有利于最大限度提高单机产能。
- 生产十五或十六根硅芯的高频线圈-201210345727.4
- 刘朝轩 - 洛阳金诺机械工程有限公司
- 2012-09-09 - 2014-03-26 - C30B13/20
- 一种生产十五或十六根硅芯的高频线圈，涉及高频线圈技术领域，在高频线圈的外部环绕设置冷却水道(12)，拉制孔或化料孔(4)设置在高频线圈(1)的中部，由拉制孔或化料孔向外呈放射状设有五个导流槽(11)，在五个导流槽外端形成的五个空挡之间分别设有两个拉制孔(5)和一个球拍形拉制孔(3)或水滴形拉制孔(17)，导流槽下部垂直的导流槽外端部直接贯通至高频线圈的外缘面或通过开口(6)贯通至高频线圈的外缘面，水道A端(7)、水道B端(9)的端部分别设置有连接座(8)；所述高频线圈的外部设有地线连接机构；本发明增加了高频线圈的拉制孔数量，并大幅度减少了原料棒上端与高频线圈接触的概率。
- 生产十三或十四根硅芯的高频线圈-201210345683.5
- 刘朝轩 - 洛阳金诺机械工程有限公司
- 2012-09-09 - 2014-03-26 - C30B13/20
- 一种生产十三或十四根硅芯的高频线圈，涉及高频线圈技术领域，高频线圈的外部环绕设置冷却水道(12)，拉制孔或化料孔(4)设置在高频线圈(1)的中部，拉制孔或化料孔向外呈放射状设有四个导流槽(11)，在四个导流槽外端形成的四个空挡之间分别设有两个拉制孔(5)和一个球拍形拉制孔(3)或水滴形拉制孔(17)，十字形导流槽下部的导流槽外端部设有过度拉制孔(10)，对应导流槽的过度拉制孔另一侧的开口(6)贯通至高频线圈的外缘面，水道A端(7)、水道B端(9)的端部分别设有连接座(8)；所述高频线圈的外部设有地线连接机构；本发明增加了高频线圈的拉制孔数量，大幅度减少了原料棒上端与高频线圈接触的概率。
- 生产十二或十三根硅芯的高频线圈-201210345715.1
- 刘朝轩 - 洛阳金诺机械工程有限公司
- 2012-09-09 - 2014-03-26 - C30B13/20
- 一种生产十二或十三根硅芯的高频线圈，涉及高频线圈技术领域，在高频线圈的外部环绕设置冷却水道(12)，拉制孔或化料孔(4)设置在高频线圈(1)的中部，由拉制孔或化料孔向外呈放射状设有四个导流槽(11)，在四个导流槽外端形成的四个空挡之间分别设有两个拉制孔(5)和一个球拍形拉制孔(3)或水滴形拉制孔(17)，十字形导流槽下部的导流槽外端部直接贯通至高频线圈的外缘面或通过开口(6)贯通至高频线圈的外缘面，水道A端(7)、水道B端(9)的端部分别设置有连接座(8)；所述高频线圈的外部设有地线连接机构；本发明增加了高频线圈的拉制孔数量，并大幅度减少了原料棒上端与高频线圈接触的概率。
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