[发明专利]一种单晶棒自动拆卸的单晶炉及其拆卸方法有效
| 申请号： | 202110299269.4 | 申请日： | 2021-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN112981517B | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 陈文 | 申请（专利权）人： | 昆明汇泉高纯半导材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/32 |
| 代理公司： | 深圳立专知识产权代理有限公司 441000 | 代理人： | 陈文爽 |
| 地址： | 650000 云南省*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开的一种单晶棒自动拆卸的单晶炉及其拆卸方法，包括单晶炉底座，所述单晶炉底座上设有单晶炉主体，所述单晶炉主体用于生产单晶棒，所述单晶炉底座左侧设有机架，所述机架前侧端面上设有单晶棒拆卸机构，所述单晶棒拆卸机构用于提供拆卸单晶棒所需的横移运动以及储存单晶棒所需的旋转运动，所述单晶棒拆卸机构上设有单晶棒夹持机构，所述机架上设有位于所述单晶棒夹持机构下侧的单晶棒储存机构，所述单晶棒储存机构用于储存单晶棒，本发明能实现自动化拆卸单晶棒，有效避免人员在拆卸转运过程中被烫伤，且无需在转运单晶棒时二次装夹单晶棒，减少工序并降低单晶棒拆卸转运过程中受损概率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶棒 自动 拆卸 单晶炉 及其 方法 | ||
【主权项】：
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