[发明专利]用于机器学习辅助的光学邻近误差校正的训练方法有效
| 申请号： | 201880058150.4 | 申请日： | 2018-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN111051993B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 苏静;卢彦文;罗亚 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/36;G06F30/392;G06N20/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种方法包括：获得用于训练设计图案(5000)的在空间上移位版本的光学邻近校正；和使用关于所述训练设计图案的在空间上移位版本的数据(5051；5053)以及基于用于所述训练设计图案的在空间上移位版本的光学邻近校正的数据(5041；5043)来训练机器学习模型(5200)，所述机器学习模型配置成针对设计图案预测光学邻近校正。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 机器 学习 辅助 光学 邻近 误差 校正 训练 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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