[发明专利]工件的切断方法及接合部件有效
| 申请号： | 201880026727.3 | 申请日： | 2018-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN110545957B | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 丰田史朗 | 申请（专利权）人： | 信越半导体株式会社 |
| 主分类号： | B24B27/06 | 分类号： | B24B27/06;B24B53/00;B28D5/04;B28D7/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明是一种工件的切断方法，该方法将表面固定有磨粒的固定磨粒钢线通过卷绕于多个带沟滚筒以形成钢线列，通过使固定磨粒钢线沿轴向往复移动，并且将经由贴附于工件的接合部件而用工件保持装置保持的工件向钢线列切入进给，从而将工件在沿轴向排列的多个位置同时切断，其中，使用其中一部分为磨石的物质作为接合部件，从而在工件的切断结束后并且在从钢线列将工件拉出前，通过接合部件的磨石使固定磨粒钢线磨耗。由此，提供一种工件的切断方法，其能够防止在切断工件后的钢线拉出时发生由于固定磨粒钢线刮卡于工件而引起的线痕以及发生钢线断线。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 切断 方法 接合 部件 | ||
【主权项】：
1.一种工件的切断方法，所述方法将表面固定有磨粒的固定磨粒钢线通过卷绕于多个带沟滚筒以形成钢线列，通过使所述固定磨粒钢线沿轴向往复移动，并且将经由贴附于工件的接合部件而用工件保持装置保持的工件向所述钢线列切入进给，从而将所述工件在沿轴向排列的多个位置同时切断，其中，/n使用其中一部分为磨石的物质作为所述接合部件，从而在所述工件的切断结束后并且在从所述钢线列将所述工件拉出前，通过所述接合部件的所述磨石使所述固定磨粒钢线磨耗。/n
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