[发明专利]切断装置以及切断方法

摘要

本发明提供一种切断装置及切断方法。在切断装置中，即使产品较小时也稳定地进行单片化。使用第一切断条件沿着第一切断线(32)切断封装基板(12)以形成中间体(36)。接着使用第二切断条件切断中间体(36)以进行单片化。据此，将中间体(36)分别单片化为产品(P)，该产品(P)相当于由第一切断线(32)和第二切断线(33)包围的区域(34)。相比形成中间体(36)时的第一切断条件中的切削水的流量，使单片化为产品(P)时的第二切断条件中的切削水的流量减少。通过减少第二切断条件中的切削水的流量，从而即使在产品(P)较小时，也能够防止因切削水的水压导致产品(P)从切断用工作台(11)的规定位置错位或跳起。

主权项

一种切断装置，具备：工作台，载置有被切断物，所述被切断物具有由多个切断线包围的多个区域；切断单元，切断所述被切断物；移动机构，使所述工作台与所述切断单元相对地移动；以及切削水供给机构，对所述切断单元与所述被切断物相接触的被加工点供给切削水，该切断装置在使所述被切断物单片化来制造与所述各个区域相对应的产品时被使用，其特征在于，具备：控制部，对用于切断被切断物的切断条件进行控制，所述切断线包含相正交的沿着第一方向的切断线和沿着第二方向的切断线，所述被切断物是四边形的封装基板，所述工作台吸附所述被切断物，所述控制部至少具有第一切断条件和第二切断条件来作为所述切断条件，所述第一切断条件用于通过沿着所述第一方向的所述切断线切断所述被切断物来生成包括多个所述区域的中间体，所述第二切断条件用于通过沿着所述第二方向的所述切断线切断所述中间体来单片化为所述产品，所述第二切断条件中的所述切削水的流量少于所述第一切断条件中的所述切削水的流量，所述第二切断条件中的所述工作台与所述切断单元之间的相对的移动速度小于所述第一切断条件中的所述相对的移动速度。