[发明专利]切断装置及切断方法无效
| 申请号： | 02118655.3 | 申请日： | 2002-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN1382571A | 公开（公告）日： | 2002-12-04 |
| 发明（设计）人： | 长田道男;竹原克尚;松尾真 | 申请（专利权）人： | 东和株式会社 |
| 主分类号： | B28D1/24 | 分类号： | B28D1/24;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 王宏祥 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的切断装置,具有以轴中心(5)为中心向刀片旋转方向(7)旋转的旋转轴(4)和固定在旋转轴上以刀片移动速度(VLB)移动的刀片(6),使轴中心(5)以比刀片移动速度(VLB)大的规定的轴中心旋转速度(VRA)且以微小的旋转直径高速地旋转。由此,刀片(6)推压基板(3),对基板3切前并产生切屑(8),刀片(6)从基板(3)拉开,切屑(8)沿刀片旋转方向(7)移动从而刀片(6)的刀口与基板(3)之间被排出。因此,由于能抑制加工阻力的增加,故加工效率提高且能抑制在刀片(6)表面产生的摩擦热。另外,由于产生的摩擦热容易散出,故能获得刀片(6)的长寿命化。 | ||
| 搜索关键词： | 切断 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种切断装置，其特征在于，具有：固定被加工物(3)的固定装置(1)；通过一边以轴中心(5)为中心旋转一边与所述被加工物(3)接触将该被加工物(3)切断的刀片(6)；通过使所述刀片(6)与所述被加工物(3)以规定的相对移动速度(VLB)移动而使所述刀片(6)与所述被加工物(3)接触的移动机构(DR)；在与所述刀片(6)切断被加工物(3)时的切断面同一个平面内，使作为对象的所述轴中心(5)以规定的振动速度(VRA)振动的轴中心的振动机构(17)，所述轴中心(5)的振动速度(VRA)比所述相对移动速度(VLB)大。
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