[实用新型]一种纳米纸衬底薄膜晶体管有效
| 申请号： | 201720690662.5 | 申请日： | 2017-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN207217549U | 公开（公告）日： | 2018-04-10 |
| 发明（设计）人： | 宁洪龙;曾勇;姚日晖;郑泽科;章红科;方志强;陈港;彭俊彪 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/34;B82Y10/00;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司44245 | 代理人： | 罗啸秋 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于显示器件技术领域，公开了一种纳米纸衬底薄膜晶体管。所述纳米纸衬底薄膜晶体管由依次层叠的硬质衬底、纳米纸衬底、缓冲层、栅极、栅极绝缘层、有源层和源/漏电极构成。本实用新型采用纳米纸衬底，纳米纸具有容易降解、成本低、透明度好和可再生等特点，是非常环保的绿色衬底。纳米纸衬底薄膜晶体管能够在室温下制备，不需要热处理，具有高的迁移率，能够满足目前显示面板的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 衬底 薄膜晶体管 | ||
【主权项】：
一种纳米纸衬底薄膜晶体管，其特征在于：由依次层叠的硬质衬底、纳米纸衬底、缓冲层、栅极、栅极绝缘层、有源层和源/漏电极构成；所述纳米纸衬底与缓冲层铺满整个硬质衬底，栅极、栅极绝缘层、有源层和源/漏电极形成一个底栅交错型结构，即栅极下表面、栅极绝缘层外侧两端、源/漏电极外侧两端均与缓冲层连接，有源层设置在栅极绝缘层上层与源/漏电极内侧两端之间。
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