[发明专利]手机盖板颜色膜卧式镀膜生产线在审
| 申请号： | 201711342329.6 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109957771A | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 黄乐;祝海生;陈立;凌云;黄夏;孙桂红;黄国兴 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 张超宇;冯子玲 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了手机盖板颜色膜卧式镀膜生产线，包括依次连接的进口加热室、清洁室、第一高真空缓冲室、第一溅射过渡室、溅射室、第二溅射过渡室、第二高真空缓冲室和出口室，所述溅射室包括至少一个镀膜分区，每个镀膜分区设有至少一旋转阴极装置和/或平面阴极装置，所述旋转阴极装置和/或平面阴极装置与一角度调节装置连接，所述角度调节装置通过若干沿着纵向轴线伸展的连接臂与镀膜分区的阳极箱体连接。与现有技术相比，本发明提供的手机盖板颜色膜卧式镀膜生产线通过调节阴极装置的溅射角度，从而增加靶材刻蚀区域，提高靶材利用率，以克服现有技术中阴极装置的轰击轨道固定这一缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 卧式镀膜生产线 手机盖板 颜色膜 镀膜 溅射 角度调节装置 分区 平面阴极 旋转阴极 阴极装置 高真空 过渡室 缓冲室 溅射室 靶材利用率 阳极 轨道固定 刻蚀区域 箱体连接 依次连接 纵向轴线 出口室 加热室 连接臂 清洁室 靶材 轰击 伸展 进口 | ||
【主权项】：
1.手机盖板颜色膜卧式镀膜生产线，其特征在于：包括依次连接的进口加热室(2)、清洁室(3)、第一高真空缓冲室(41)、第一溅射过渡室(51)、溅射室(6)、第二溅射过渡室(52)、第二高真空缓冲室(42)和出口室(7)，所述溅射室(6)包括至少一个镀膜分区，每个镀膜分区设有至少一旋转阴极装置(62)和/或平面阴极装置(61)，所述旋转阴极装置(62)和/或平面阴极装置(61)与一角度调节装置(63)连接，所述角度调节装置(63)通过若干沿着纵向轴线伸展的连接臂与镀膜分区的阳极箱体连接。
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