[发明专利]薄膜太阳能电池前电极连续式磁控溅射单面镀膜生产线在审
| 申请号： | 201711337310.2 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109957779A | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 祝海生;孙桂红;黄乐;陈立;凌云;黄夏;黄国兴 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/06 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 张超宇;冯子玲 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了薄膜太阳能电池前电极连续式磁控溅射单面镀膜生产线，包括放卷室、进口室、进口缓冲室、蒸镀室、出口缓冲室、出口室和收卷室，主驱动辊设于放卷室和收卷室内，多个传动辊设于子线各腔室内；所述蒸镀室内设有若干蒸镀区，每一蒸镀区均设有一蒸发器和两加热器，所述加热器分别立设于蒸镀区两对面，待蒸镀基片随传动辊传动于两加热器之间，所述蒸发器包括一顶面设置喷嘴的壳体，所述壳体中部设有缓冲部，所述缓冲部远离喷嘴的一面连接有与蒸镀原材料室相连的加热管道，所述加热管道向喷嘴方向延伸。本发明提供的镀膜生产线能够实现各类大面积镀膜的大批量、低成本生产，而且溅射沉积速率高，工艺通用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 加热器 喷嘴 薄膜太阳能电池 单面镀膜生产线 磁控溅射 加热管道 传动辊 放卷室 缓冲部 缓冲室 连续式 前电极 蒸发器 室内 大面积镀膜 低成本生产 镀膜生产线 方向延伸 溅射沉积 壳体中部 通用性强 主驱动辊 出口室 进口室 收卷室 蒸镀室 传动 顶面 壳体 收卷 子线 进口 出口 | ||
【主权项】：
1.薄膜太阳能电池前电极连续式磁控溅射单面镀膜生产线，其特征在于：包括放卷室、进口室、进口缓冲室、蒸镀室、出口缓冲室、出口室和收卷室，主驱动辊设于放卷室和收卷室内，多个传动辊设于子线各腔室内；其中，所述蒸镀室内设有若干蒸镀区，每一蒸镀区均设有一蒸发器和两加热器，所述加热器分别立设于蒸镀区两对面，待蒸镀基片随传动辊传动于两加热器之间，所述蒸发器包括一顶面设置喷嘴的壳体，所述壳体中部设有缓冲部，所述缓冲部远离喷嘴的一面连接有与蒸镀原材料室相连的加热管道，所述加热管道向喷嘴方向延伸。
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