[发明专利]薄膜太阳能电池前电极连续式磁控溅射单面镀膜生产线

说明书

本发明公开了薄膜太阳能电池前电极连续式磁控溅射单面镀膜生产线，包括放卷室、进口室、进口缓冲室、蒸镀室、出口缓冲室、出口室和收卷室，主驱动辊设于放卷室和收卷室内，多个传动辊设于子线各腔室内；所述蒸镀室内设有若干蒸镀区，每一蒸镀区均设有一蒸发器和两加热器，所述加热器分别立设于蒸镀区两对面，待蒸镀基片随传动辊传动于两加热器之间，所述蒸发器包括一顶面设置喷嘴的壳体，所述壳体中部设有缓冲部，所述缓冲部远离喷嘴的一面连接有与蒸镀原材料室相连的加热管道，所述加热管道向喷嘴方向延伸。本发明提供的镀膜生产线能够实现各类大面积镀膜的大批量、低成本生产，而且溅射沉积速率高，工艺通用性强。

技术领域

本发明涉及薄膜太阳能电池前电极连续式磁控溅射单面镀膜生产线，属于真空镀膜技术领域。

背景技术

太阳薄膜电池有质量小、厚度极薄、可弯曲等优点。薄膜太阳能电池因其简单的制备工艺、低廉的制造成本和较高的效率，正受到人们越来越多的关注。在过去的几年中，人们对薄膜太阳能电池的电极材料、机理和器件优化方面做了很多突出的工作，取得了巨大的进步。事实上，对电极也是新型太阳能电池中非常关键的部件，是影响电池性能和成本的重要因素，但在这方面的研究却还不够。当前工业化制作太阳能薄膜电池的材料主要有：碲化镉、铜铟镓硒、非晶体硅、砷化镓等。

真空镀膜技术初现于20世纪30年代，四五十年代开始出现工业应用，工业化大规模生产开始于20世纪80年代，在电子、宇航、包装、装潢、烫金印刷等工业中取得广泛的应用。真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰灯许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。

磁控溅射是利用荷能粒子轰击固体靶材，使靶材原子或分子被溅射出来并沉积到衬底表面的一种工艺。靶材可选用金属靶和陶瓷靶。磁控溅射制备法具有沉积速率高、基片温度低、成膜黏附性好、易控制、成本低、适合大面积制膜的优点。真空蒸镀就是将需要制成薄膜的物质放于真空中进行蒸发或升华，使之在基片表面上析出。真空蒸镀的装置比较简单，工艺参数较少，易控制薄膜的生长，薄膜中杂质含量低。但真空度的高低直接影响薄膜的结构和性能，真空度低，材料受残余气体分子污染严重，薄膜性能变差，提高衬底温度有利于气体分子的解吸。

随着真空镀膜领域中镀膜技术的日新月异，对镀膜产品的要求也越来越高，因此镀膜生产线也出现越来越多的改进，生产线的要求随之提高，现有技术的镀膜生产线的整体稳定性及镀膜均匀性，生产效率低以及相应的设备成本高。

发明内容

针对现有技术存在的上述问题，本发明的目的是提供可立式镀膜的薄膜太阳能电池前电极连续式磁控溅射单面镀膜生产线。

为实现上述发明目的，本发明采用的技术方案如下：

本发明的目的在于提供薄膜太阳能电池前电极连续式磁控溅射单面镀膜生产线，包括放卷室、进口室、进口缓冲室、蒸镀室、出口缓冲室、出口室和收卷室，主驱动辊设于放卷室和收卷室内，多个传动辊设于子线各腔室内；其中，

所述蒸镀室内设有若干蒸镀区，每一蒸镀区均设有一蒸发器和两加热器，所述加热器分别立设于蒸镀区两对面，待蒸镀基片随传动辊传动于两加热器之间，所述蒸发器包括一顶面设置喷嘴的壳体，所述壳体中部设有缓冲部，所述缓冲部远离喷嘴的一面连接有与蒸镀原材料室相连的加热管道，所述加热管道向喷嘴方向延伸。

本发明提供的薄膜太阳能电池前电极连续式磁控溅射单面镀膜生产线，包括放卷室、进口室、进口缓冲室、蒸镀室、出口缓冲室、出口室和收卷室，主驱动辊设于放卷室和收卷室内，多个传动辊设于子线各腔室内；其中，