[发明专利]薄膜太阳能电池前电极连续式磁控溅射单面镀膜生产线

权利要求书

1.薄膜太阳能电池前电极连续式磁控溅射单面镀膜生产线，其特征在于：包括放卷室、进口室、进口缓冲室、蒸镀室、出口缓冲室、出口室和收卷室，主驱动辊设于放卷室和收卷室内，多个传动辊设于子线各腔室内；其中，

所述蒸镀室内设有若干蒸镀区，每一蒸镀区均设有一蒸发器和两加热器，所述加热器分别立设于蒸镀区两对面，待蒸镀基片随传动辊传动于两加热器之间，所述蒸发器包括一顶面设置喷嘴的壳体，所述壳体中部设有缓冲部，所述缓冲部远离喷嘴的一面连接有与蒸镀原材料室相连的加热管道，所述加热管道向喷嘴方向延伸。

2.薄膜太阳能电池前电极连续式磁控溅射单面镀膜生产线，其特征在于：包括放卷室、进口室、进口缓冲室、蒸镀室、出口缓冲室、出口室和收卷室，主驱动辊设于放卷室和收卷室内，多个传动辊设于子线各腔室内；其中，

所述蒸镀室内设有若干蒸镀区，每一蒸镀区均设有一蒸发器和两加热器，所述加热器分别立设于蒸镀区两对面，待蒸镀基片随传动辊传动于两加热器之间，所述蒸发器包括一顶面设置喷嘴的壳体，所述壳体中部设有缓冲部，所述缓冲部远离喷嘴的一面连接有与蒸镀原材料室相连的加热管道，所述加热管道向喷嘴方向延伸，所述加热器分别平行的立设于镀膜区两侧，且其中一加热器穿过蒸发器缓冲部，待镀膜基片悬设于另一加热器面向蒸发器一侧。

3.根据权利要求1或2所述的薄膜太阳能电池前电极连续式磁控溅射单面镀膜生产线，其特征在于：所述缓冲部为一中空腔体。

4.根据权利要求3所述的薄膜太阳能电池前电极连续式磁控溅射单面镀膜生产线，其特征在于：所述加热管道延伸入缓冲部，且延伸长度不一。

5.根据权利要求4所述的薄膜太阳能电池前电极连续式磁控溅射单面镀膜生产线，其特征在于：所述加热管道在沿其与缓冲部远离喷嘴面上排列成点阵。

6.根据权利要求4所述的薄膜太阳能电池前电极连续式磁控溅射单面镀膜生产线，其特征在于：所述加热管道向缓冲部延伸的长度从缓冲部远离喷嘴面的中心向其外侧变大。

7.根据权利要求6所述的薄膜太阳能电池前电极连续式磁控溅射单面镀膜生产线，其特征在于：所述加热管道向缓冲部延伸的长度从缓冲部远离喷嘴面的中心向其外侧排列形成一半球形。

8.根据权利要求3所述的薄膜太阳能电池前电极连续式磁控溅射单面镀膜生产线，其特征在于：所述加热管道管径大小不一。

9.根据权利要求8所述的薄膜太阳能电池前电极连续式磁控溅射单面镀膜生产线，其特征在于：所述加热管道随其管径大小间隔排列。

10.根据权利要求1或2所述的薄膜太阳能电池前电极连续式磁控溅射单面镀膜生产线，其特征在于：所述蒸发器壳体顶面喷嘴正对于待镀膜基片。