[发明专利]一种高耐压横向超结器件有效
| 申请号： | 201710642237.3 | 申请日： | 2017-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN107359195B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 章文通;余洋;李珂;詹珍雅;梁龙飞;乔明;张波 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/78 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人： | 敖欢;葛启函 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种高耐压横向超结器件，交替的第一掺杂类型条与第二掺杂类型条构成超结结构，在第二掺杂类型阱区与第二掺杂类型条、第一掺杂类型条交替出现区域的交界处形成第二掺杂类型多面耗尽区，由第二掺杂类型条、第二掺杂类型阱区对第一掺杂类型条构成了三面耗尽的结构，左右同理，右边存在第一掺杂类型多面耗尽区；减小了边缘区域对器件耐压的影响，维持了电荷平衡，以达到通过消除超结AB点高电场来避免提前击穿，提高器件耐压的目的。因为边缘电压峰值得到了抑制，可在保持高耐压的情况下，通过进一步提高超结条的掺杂浓度，进而降低导通电阻。最终达到消除超结AB点高电场、提高器件耐压、降低比导通电阻的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 耐压 横向 器件 | ||
【主权项】：
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