[发明专利]一种有机真空蒸发源

摘要

本发明公开了一种有机真空蒸发源，包括：加热系统、冷却系统、测温系统、控制系统和连接组件；加热系统中电热丝通电对金属导热体进行加热，达到有机物蒸发温度蒸发产生气相分子，通过控制系统旋转挡板的旋转闭合实现对镀膜过程的开始与结束，冷却系统始终处于工作状态，以免加热温度过高及实现金属导热体腔内坩埚的均匀受热，测温系统的电偶丝直接测量金属导热体温度进而反馈有机物的加热温度，连接组件的合理连接保证整个设备正常工作。

主权项

一种有机真空蒸发源，其特征在于，包括：加热系统、冷却系统、测温系统、控制系统和连接组件；所述加热系统包括：电极端口(2)、电热丝(16)、金属导热体(21)、坩埚(17)、固定环(15)和连接件(7)；其中，电热丝(16)与4个固定环(15)围成中空筒状加热芯；所述电极端口(2)一端用连接件(7)和电热丝(16)的供电接头连接，另一端接入电源，通电加热；所述金属导热体(21)为柱状体，金属导热体(21)顶端设置有用于嵌入坩埚(17)的轴向向下的坩埚凹槽(21.1)，底端设置有轴向向上延伸的用于嵌入加热芯的加热芯嵌入凹槽(21.2)；所述加热芯嵌入凹槽(21.2)中心设置有贯穿加热芯中心孔的并伸出于金属导热体(21)底端的水冷连接柱(21.3)；所述冷却系统包括：进水管(18)、出水管(19)、进水管接头(13)和出水管接头(12)；其中，进水管(18)直径小于出水管(19)直径，出水管(19)为末端密封管，进水管(18)伸入于出水管(19)形成末端连通的双层套管结构的水冷管(20)；进水管(18)入口端与进水管接头(13)连接；出水管(19)的出口端与出水管接头(12)；金属导热体(21)的水冷连接柱(21.3)嵌套在水冷管(20)外侧；所述测温系统包括：电偶丝(11)和热电偶测温器接入口(3)；所述电偶丝(11)本体嵌入于金属导热体(21)表面预设的条状凹槽内，一端通过螺钉固定在条状凹槽内部，另一端与热电偶测温器接入口(3)连接，其中条状凹槽延伸至坩埚(17)底部位置；所述控制系统包括：旋转挡板(9)、波纹管旋转导入器(1)和防护罩(8)；所述防护罩(8)罩置于金属导热体(21)外部；所述连接组件包括：法兰(5)、绝缘管套、绝缘片(6)、夹紧块(14)和导向件(10)；所述导向件(10)一端卡在防护罩(8)内，为水冷管(20)、电热丝(16)、电偶丝(11)、波纹管旋转导入器(1)的导入棒的导向并固定；所述法兰(5)一侧端面焊接固定进水管接口(13)、出水管接口(12)、电极端口(2)、热电偶测温器接口(3)和旋转导入器(1)，另一端设置加热系统、冷却系统、测温系统和控制系统除去上述部件的其余部件；其中，绝缘管套套在电热丝(16)和电偶丝(11)外部；绝缘片(6)用于隔离电极端口(2)伸出的供电线；夹紧块(14)为螺栓预紧的夹紧块，数量大于等于4个，通过螺栓预紧夹紧水冷管(20)与金属导热体(21)的水冷连接柱(21.3)部分；所述旋转导入器(1)的回转杆穿过法兰(5)通过防护罩(8)导向伸入金属导热体(20)的预设槽口中，并顶端伸出于防护罩(8)顶端；所述旋转挡板(9)固定在回转杆顶端与回转杆同步转动，且保证旋转挡板(9)底部端面距防护罩(8)顶端间距为3‑6mm。