[发明专利]半导体元件有效
申请号: | 201710324910.9 | 申请日: | 2017-05-10 |
公开(公告)号: | CN108878510B | 公开(公告)日: | 2021-08-31 |
发明(设计)人: | 简郁芩;詹景琳;林正基 | 申请(专利权)人: | 旺宏电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/08 | 分类号: | H01L29/08;H01L29/10;H01L29/735 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种半导体元件。半导体元件包括具有第一导电型的第一掺杂区与第二掺杂区以及具有第二导电型的第三掺杂区位于基底中。第三掺杂区位于第一掺杂区与第二掺杂区之间。第二掺杂区位于第一掺杂区的一侧。第二掺杂区的俯视图案具有至少一凹部。第三掺杂区的俯视图案具有对应至少一凹部的至少一凸部。 | ||
搜索关键词: | 半导体 元件 | ||
【主权项】:
1.一种半导体元件,包括:具有第一导电型的第一掺杂区,位于基底中;具有所述第一导电型的第二掺杂区,位于所述基底中且位于所述第一掺杂区的一侧,且所述第二掺杂区的俯视图案具有至少一凹部;以及具有第二导电型的第三掺杂区,位于所述基底中且位于所述第一掺杂区与所述第二掺杂区之间,且所述第三掺杂区的俯视图案具有对应于所述至少一凹部的至少一凸部。
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