[发明专利]形成半导体器件的方法有效
| 申请号： | 201710286357.4 | 申请日： | 2017-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN107403813B | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 卢祈鸣;黄志辉;李昇展;曹荣志;梁耀祥 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/146 | 分类号： | H01L27/146 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种形成半导体器件的方法，该方法包括在衬底上方形成具有第一膜应力类型和第一膜应力强度的第一膜，和形成具有第二膜应力类型和第二膜应力强度且位于第一膜上方的第二膜。第二膜应力类型不同于第一膜应力类型。第二膜应力强度与第一膜应力强度大致相同。第二膜补偿由第一膜对衬底的非平坦性的应力引起的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 半导体器件 方法 | ||
【主权项】：
一种形成半导体器件的方法，包括：在衬底上方形成具有第一应力类型和第一应力强度的第一膜；以及在所述第一膜上方形成具有第二应力类型和第二应力强度的第二膜，其中，所述第二应力类型不同于所述第一应力类型，其中，所述第二应力强度在值上类似于所述第一应力强度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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