[发明专利]弧形栅场板电流孔径功率器件有效
申请号: | 201710198802.1 | 申请日: | 2017-03-29 |
公开(公告)号: | CN107068739B | 公开(公告)日: | 2019-12-03 |
发明(设计)人: | 毛维;杨翠;马佩军;郝跃;郑雪峰 | 申请(专利权)人: | 西安电子科技大学 |
主分类号: | H01L29/40 | 分类号: | H01L29/40;H01L29/778;H01L29/06;H01L21/335 |
代理公司: | 61205 陕西电子工业专利中心 | 代理人: | 王品华<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 710071*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种弧形栅场板电流孔径功率器件,主要解决现有垂直功率器件中场板结构无法有效调制器件中电场分布的问题。其包括:衬底(1)、漂移层(2)、孔径层(3)、二级台阶形的电流阻挡层(4)、沟道层(6)、势垒层(7)和钝化层(12),沟道层和势垒层的两侧刻蚀有凹槽(8),凹槽中淀积有源极(9),源极之间的势垒层上淀积有栅极(10),电流阻挡层之间形成孔径(5),衬底下淀积有漏极(11),钝化层包裹除漏极底部以外的所有区域,钝化层两边刻有弧形台阶(13),弧形台阶处淀积有金属,形成弧形场板(14),该弧形场板与栅极电气连接。本发明击穿电压高、工艺简单、导通电阻小、成品率高,可用于电力电子系统。 | ||
搜索关键词: | 弧形 栅场板 电流 孔径 功率 器件 | ||
【主权项】:
1.一种弧形栅场板电流孔径功率器件,包括:衬底(1)、漂移层(2)、孔径层(3)、左、右两个对称的电流阻挡层(4)、沟道层(6)、势垒层(7)和钝化层(12),沟道层(6)和势垒层(7)的两侧刻蚀有凹槽(8),两侧凹槽(8)中淀积有两个源极(9),源极(9)之间的势垒层上面淀积有栅极(10),衬底(1)下面淀积有漏极(11),钝化层(12)完全包裹在除漏极(11)底部以外的所有区域,两个对称的电流阻挡层(4)之间形成孔径(5),其特征在于:/n所述两个电流阻挡层(4),采用由第一阻挡层(41)和第二阻挡层(42)构成的二级台阶结构,且第一阻挡层(41)位于第二阻挡层(42)的外侧;/n所述钝化层(12),采用弧形结构,即在钝化层的两边刻有弧形台阶(13),弧形台阶上淀积有金属,形成左右两个对称的弧形场板(14),该弧形场板与栅极电气连接,形成弧形栅场板。/n
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