[发明专利]弧形栅场板电流孔径功率器件

权利要求书

1.一种弧形栅场板电流孔径功率器件，包括：衬底(1)、漂移层(2)、孔径层(3)、左、右两个对称的电流阻挡层(4)、沟道层(6)、势垒层(7)和钝化层(12)，沟道层(6)和势垒层(7)的两侧刻蚀有凹槽(8)，两侧凹槽(8)中淀积有两个源极(9)，源极(9)之间的势垒层上面淀积有栅极(10)，衬底(1)下面淀积有漏极(11)，钝化层(12)完全包裹在除漏极(11)底部以外的所有区域，两个对称的电流阻挡层(4)之间形成孔径(5)，其特征在于：

所述两个电流阻挡层(4)，采用由第一阻挡层(41)和第二阻挡层(42)构成的二级台阶结构，且第一阻挡层(41)位于第二阻挡层(42)的外侧；

所述钝化层(12)，采用弧形结构，即在钝化层的两边刻有弧形台阶(13)，弧形台阶上淀积有金属，形成左右两个对称的弧形场板(14)，该弧形场板与栅极电气连接，形成弧形栅场板。

2.根据权利要求1所述的器件，其特征在于第一阻挡层(41)和第二阻挡层(42)均采用p型掺杂，第一阻挡层(41)的厚度a为1.2～3μm，宽度b为0.2～1μm，第二阻挡层(42)的厚度d为0.3～1μm，宽度e为1.32～3.3μm，且a>d，e＝1.1a。

3.根据权利要求1所述的器件，其特征在于该弧形台阶(13)表面与第一阻挡层(41)下边缘处于同一水平高度的部位，距离漂移层(2)的水平间距t为0.18μm。

4.根据权利要求1所述的器件，其特征在于凹槽8的深度等于沟道层6与势垒层7的总厚度。

5.根据权利要求1所述的器件，其特征在于源极9的厚度大于凹槽8的深度。

6.根据权利要求1所述的器件，其特征在于所述弧形台阶(13)，其垂直方向上低于第一阻挡层(41)下边缘的弧形台阶表面任意一点，与第一阻挡层(41)下边缘的垂直距离为h，与漂移层(2)的水平距离为m，且满足关系h＝9.5-10.5exp(-0.6m)，0μm<h≤9μm。