[发明专利]分段栅场板垂直型电流孔径功率器件及其制作方法

摘要

本发明公开了一种分段栅场板垂直型电流孔径功率器件，其自下而上包括：漏极(11)、衬底(1)、漂移层(2)、孔径层(3)、两个对称的二级阶梯形的电流阻挡层(4)、沟道层(6)、势垒层(7)和栅极(10)，势垒层(7)上的两侧淀积有两个源极(9)，两个源极(9)下方通过离子注入形成两个注入区(8)，除漏极底部以外的所有区域覆盖有钝化层(13)，两侧的钝化层内分别制作有分段栅场板(12)，该分段栅场板是由多个相互独立的浮空场板和一个栅场板构成，栅场板与栅极电气连接，两个电流阻挡层(4)之间形成孔径(5)。本发明击穿电压高、工艺简单、导通电阻小、成品率高，可用于电力电子系统。

主权项

一种分段栅场板垂直型电流孔径功率器件，包括:衬底(1)、漂移层(2)、孔径层(3)、两个对称的电流阻挡层(4)、沟道层(6)和势垒层(7)，势垒层(7)上的两侧淀积有两个源极(9)，两个源极(9)下方通过离子注入形成两个注入区(8)，源极(9)之间的势垒层上面淀积有栅极(10)，衬底(1)下面淀积有漏极(11)，在除漏极(11)底部以外的所有区域完全包裹有钝化层(13)，两个电流阻挡层(4)之间形成孔径(5)，其特征在于：所述两个电流阻挡层(4)，采用由第一阻挡层(41)和第二阻挡层(42)构成的二级阶梯结构，且第一阻挡层(41)位于第二阻挡层(42)的外侧；所述钝化层(13)，是由若干层绝缘介质材料自下而上堆叠而成，两侧的钝化层内制作有分段栅场板(12)；所述分段栅场板(12)，是由m个浮空场板和一个栅场板构成，所有浮空场板相互独立，栅场板与栅极(10)电气连接，m根据器件实际使用要求确定，其值为大于等于1的整数。