[实用新型]分段式聚焦环组件有效
| 申请号： | 201220579261.X | 申请日： | 2012-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN203242597U | 公开（公告）日： | 2013-10-16 |
| 发明（设计）人： | 杰瑞德·艾哈迈德·里;保罗·路透 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/21 | 分类号： | H01J37/21 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本实用新型涉及分段式聚焦环组件，其实施例包括聚焦环分段和聚焦环组件。在一种实施例中，聚焦环分段包括弧形主体，该主体具有下部环分段、中部环分段、顶部环分段和唇缘。下部环分段具有底表面，中部环分段也具有底表面，其中，中部环分段在中部环分段的底表面处连接到下部环分段。顶部环分段具有底表面，其中，顶部环分段在顶部环分段的底表面处连接到中部环分段。唇缘在中部环分段的上方水平地延伸，其中，唇缘朝着聚焦环分段的中心线在径向向内倾斜。在另一种实施例中，聚焦环组件包括至少一个第一环分段和第二环分段。 | ||
| 搜索关键词： | 段式 聚焦 组件 | ||
【主权项】：
一种聚焦环分段，其特征在于包括：弧形主体，包括：下部环分段，具有底表面；中部环分段，具有底表面，其中，所述中部环分段在所述中部环分段的底表面处连接到所述下部环分段，并在所述下部环分段的上方水平地延伸；顶部环分段，具有底表面，其中，所述顶部环分段在所述顶部环分段的底表面处连接到所述中部环分段；以及唇缘，在所述中部环分段的上方水平地延伸，其中，所述唇缘朝着所述聚焦环分段的中心线在径向向内倾斜。
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- 提供一种电子束描绘装置用的平台的控制方法，该平台的控制方法是在背面保持掩膜的情况下，不增大焦点调整机构的焦点高度的调整范围，而能够校正掩膜的高度偏移的影响。在XY平台(3)上避开已固定了标记台(4)的区域来搭载Z平台(5)，在设置在Z平台(5)上的保持机构(6)上载置掩膜(M)。使焦点调整机构的调整范围的中间值与标记台(4)的高度一致。测定标记台(4)的高度，并且测定掩膜(M)的多个测定点的高度，移动Z平台(5)，使这些测定点的高度中的最高值与最低值的中间值的高度与标记台(4)的高度一致。
- 带电粒子束的图案无变化聚焦-200810132080.0
- 尼珥·玆维 - 以色列商·应用材料以色列公司
- 2008-07-24 - 2009-11-04 - H01J37/21
- 本发明公开一种带电粒子束的图案无变化聚焦。一种用于聚焦扫描显微镜的方法，该方法包括以一次带电粒子束扫描晶片的参考单元裸片的第一部位，检测从该部位处发射的二次束，以及基于二次束来计算该部位的第一聚焦等级。该方法包括以一次束来扫描晶片的指定单元裸片的第二部位，同时调制一次束的焦深，参考单元裸片和指定的单元裸片具有全等的布局，第二部位与第一部位对应在位置上矢量地对应；以及响应一次束来检测从第二部位处发射的二次束。该方法还包括基于所检测的从第二部位发射的二次束来计算第二部位的第二聚焦等级；以及利用第一和第二聚焦等级来确定第二部位的一次束的准确聚焦。
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