[发明专利]半导体装置有效
申请号: | 201710085601.0 | 申请日: | 2017-02-17 |
公开(公告)号: | CN107204364B | 公开(公告)日: | 2020-01-21 |
发明(设计)人: | 小仓常雄;末代知子 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝 |
主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L29/06;H01L21/331;H01L29/423 |
代理公司: | 72002 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 徐殿军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 根据一个实施方式,第3电极设于第1半导体区域与第2电极之间。第4电极设于第1半导体区域与第2电极之间。第2半导体区域设于第1半导体区域与第2电极之间、以及第3电极与第4电极之间。第3半导体区域设于第2半导体区域与第2电极之间。第4半导体区域设于第1半导体区域与第2电极之间,与第2电极电连接,且隔着第4电极与第2半导体区域并列。第1绝缘膜设于第3电极与第1半导体区域、第2半导体区域、第3半导体区域、以及第2电极之间。第2绝缘膜设于第4电极与第1半导体区域、第2半导体区域、以及第4半导体区域之间。第5半导体区域设于第1电极与第1半导体区域之间。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
1.一种半导体装置,具备:/n第1电极;/n第2电极;/n第1导电型的第1半导体区域,设于上述第1电极与上述第2电极之间;/n第3电极,设于上述第1半导体区域与上述第2电极之间;/n第4电极,设于上述第1半导体区域与上述第2电极之间,并在与第1方向交叉的第2方向上与上述第3电极并列,该第1方向是从上述第1电极朝向上述第2电极的方向;/n第2导电型的第2半导体区域,设于上述第1半导体区域与上述第2电极之间、以及上述第3电极与上述第4电极之间,并与上述第2电极电连接;/n第1导电型的第3半导体区域,设于上述第2半导体区域与上述第2电极之间,并与上述第2电极电连接;/n第2导电型的第4半导体区域,设于上述第1半导体区域与上述第2电极之间,并在上述第2方向上隔着上述第4电极而与上述第2半导体区域并列,包含第1区域和第2区域,上述第2区域的杂质浓度比上述第1区域的杂质浓度高,上述第2区域在上述第1方向上设于上述第1区域与上述第2电极之间,上述第1区域以及上述第2区域电连接于上述第2电极;/n第1绝缘膜,设于上述第3电极与上述第1半导体区域、上述第2半导体区域、上述第3半导体区域、以及上述第2电极之间;/n第2绝缘膜,设于上述第4电极与上述第1半导体区域、上述第2半导体区域、以及上述第4半导体区域之间;以及/n第2导电型的第5半导体区域,设于上述第1电极与上述第1半导体区域之间,并与上述第1电极电连接,/n上述第2导电型的第4半导体区域的杂质浓度的总和低于上述第2导电型的第2半导体区域的杂质浓度的总和。/n
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