[发明专利]一种提高皇冠型图形化衬底均匀性的套刻方法

摘要

本发明涉及一种提高皇冠型蓝宝石图形化衬底均匀性的套刻方法。其实现步骤包括：(1)在抛光后的衬底表面旋涂光刻胶；(2)选择第一光刻板，用光刻机对涂胶后的衬底表面进行曝光并显影；(3)使用ICP刻蚀显影后的带胶衬底；(4)将刻蚀后的衬底酸洗去胶，甩干；(5)在衬底表面再次旋涂光刻胶；选择第二光刻板，用光刻机对涂胶后的衬底表面进行再次曝光并显影；(6)使用ICP再次对带胶衬底进行刻蚀，得到皇冠型图形衬底；(7)对制得的皇冠型图形化衬底进行化学清洗。本发明通过使用两套不同样式的光刻板并进行两次曝光、显影、刻蚀，解决了最小曝光尺寸小于机台分辨率的问题，提高了图形均匀性及稳定性,以供量产。

主权项

一种提高皇冠型图形化衬底均匀性的套刻方法，其特征在于：采用了两套光刻板，其中第一光刻板为圆面，第一光刻板的直径记为a，第二光刻板为圆环，圆环的内环直径记为b，要求b＞a，且b＞光刻机的分辨率；该套刻方法主要包括以下步骤：(1)在抛光后的衬底表面旋涂光刻胶；(2)选择第一光刻板，使用光刻机对涂胶后的衬底表面进行曝光并显影；(3)使用ICP刻蚀显影后的带胶衬底,使衬底本体的刻蚀深度达到0.5μm‑1.0μm时停止；(4)将刻蚀后的衬底酸洗去胶，甩干；(5)在衬底表面再次旋涂光刻胶；选择第二光刻板，使第二光刻板与第一光刻板的图形圆心重合，使用光刻机对涂胶后的衬底表面进行再次曝光并显影；(6)使用ICP再次对带胶衬底进行刻蚀，得到目标尺寸的皇冠型图形衬底；(7)对制得的皇冠型图形化衬底进行化学清洗。