[发明专利]气体激光器回充保护气体的控制方法及其控制装置有效
| 申请号： | 201310676473.9 | 申请日： | 2013-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN103701015A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 魏宁;周桂兵;卢洪湖;陈燚;陈根余;高云峰 | 申请（专利权）人： | 深圳市大族激光科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/036 | 分类号： | H01S3/036;H01S3/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种气体激光器回充保护气体的控制方法，当气体激光器处于关机状态时，检测谐振腔内部的气压和谐振腔外部的气压；接收并比较检测到的谐振腔内部的气压值和谐振腔外部的气压值的大小，根据比较结果控制开关的开闭。若谐振腔内部的气压值大于或等于谐振腔外部的压力值，控制开关处于关闭状态；若谐振腔内部的气压值小于谐振腔外部的压力值，控制开关处于开启状态，充入保护气体至谐振腔内部；继续检测并比较谐振腔内部的气压值与谐振腔外部的气压值的大小，至谐振腔内部的气压值大于或等于谐振腔外部的气压值，关闭开关。通过动态调整谐振腔内部的气压值，使谐振腔内部气压值大于或等于谐振腔外部的气压值，防止外部杂质气体渗漏至谐振腔内部。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 激光器 保护 控制 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
一种气体激光器回充保护气体的控制方法，其特征在于，包括以下步骤：当气体激光器处于关机状态时，分别检测谐振腔内部的气压和谐振腔外部的气压；接收并比较检测到的所述谐振腔内部的气压值和所述谐振腔外部的气压值的大小，根据比较结果控制所述开关的开闭：若所述谐振腔内部的气压值大于或等于所述谐振腔外部的气压值，则控制所述开关处于关闭状态；若所述谐振腔内部的气压值小于所述谐振腔外部的气压值，则控制所述开关开启，充入保护气体至所述谐振腔内部，继续检测并比较所述谐振腔内部的气压值与所述谐振腔外部的气压值的大小，直到所述谐振腔内部的气压值大于或等于所述谐振腔外部的气压值时，控制所述开关关闭。
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- 2016-12-15 - 2017-06-27 - H01S3/036
- 本实用新型涉及一种激光管，尤其是涉及一种高压端断开式激光管内部隔离结构。高压端断开式激光管内部隔离结构，包括内部带有储气腔的储气管、与储气管同轴设置的水冷管和放电管，所述的放电管的长度小于储气管的长度，放电管的两端与储气腔相连通，水冷管的外侧设置有隔离套，隔离套包括子套和与子套对应的母套，子套的轴线处设置有用于贯穿水冷管的子孔，母套的轴线处设置有用于贯穿水冷管的母孔，子套靠近母套的一端同轴设置有若干个环形的子挡环，母套靠近子套的一端同轴设置有若干个环形的母挡环。本实用新型具有能够避免储气管两端受力、保证储气腔和放电区气体循环流动等有益效果。
- 一种电激励单重态氧发生装置-201510824755.8
- 李留成;多丽萍;金玉奇;于海军;王元虎;李国富;唐书凯;汪健;曹靖;康元福 - 中国科学院大连化学物理研究所
- 2015-11-23 - 2017-05-31 - H01S3/036
- 一种电激励单重态氧发生装置。该装置由以下部分组成放电产生区、催化增强区和气流冷却区。放电产生区由放电腔和放电电极构成，放电腔为内外两个圆筒状石英玻璃管构成，放电电极由圆筒状金属管构成，位于放电腔的外侧；催化增强区位于放电产生区的下游，由许多条横截面为正六边形的气流通道构成，气流通道内壁涂有氧化物催化层；气流冷却区位于催化增强区的下游，垂直于气流方向交错分布有多根冷却管，冷却管内流动着液态冷却剂。此单重态氧发生装置能够有效地提高单重态氧的绝对粒子数浓度，可望应用于电激励氧碘激光器。
- 一种金属头与玻璃粘结结构-201621334024.1
- 桑魏魏;袁建 - 南通斯派特激光科技有限公司
- 2016-12-07 - 2017-05-31 - H01S3/036
- 本实用新型公开了一种金属头与玻璃粘结结构，包括金属头本体，金属头本体一端设有锚固圈，锚固圈外圈设有螺纹，锚固圈外端面开有球形槽，球形槽的半径为108mm；金属头本体另一端设有玻璃管连接槽，玻璃管连接槽的深度为1mm—2mm，玻璃管连接槽一端的中间位置处设有插接口，插接口一端连接有出光口，出光口的直径小于所述插接口的直径；金属头本体外圈设有凹槽，凹槽一侧设有接线端，接线端由圆形孔与圆锥形孔构成，圆锥形孔设于圆形孔底端，且圆形孔内壁设有螺纹。本实用新型提供一种带有连接槽的金属头，将金属头与玻璃管口进行套位，增加密封性，避免出现侧漏、漫漏的现象，且利用金属头进行连接，减少了操作步骤，使操作更加便捷。
- 准分子激光发生器和准分子激光退火设备-201710160676.0
- 谢银;吕祖彬;张宇;令勇洲;王亚煜;王景帅;刘晨亮;李儒健;罗康 - 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
- 2017-03-17 - 2017-05-10 - H01S3/036
- 本发明公开了一种准分子激光发生器和准分子激光退火设备，用以提高反应窗更换的方便性，提高更换效率，减少气体的浪费。准分子激光发生器包括依次排列的反射镜、激活介质腔和出射镜，激活介质腔具有朝向反射镜的第一开口和朝向出射镜的第二开口，还包括两个更换单元，分别位于第一开口和反射镜之间以及第二开口和出射镜之间，每个更换单元包括更换板和驱动元件，更换板上设有多个反应窗，驱动元件用于驱动更换板上的任一反应窗密封对应的开口；分别位于第一开口和第二开口处的压力平衡单元，压力平衡单元用于调节对应的开口处密封的反应窗的第一面和第二面所受的压力，第一面为反应窗朝向对应开口的一面，第二面为反应窗背离对应开口的一面。
- 具有判别警报种类的功能的气体激光器装置-201510570691.3
- 宫田龙介 - 发那科株式会社
- 2015-09-09 - 2017-04-12 - H01S3/036
- 本发明提供一种具有判别警报种类的功能的气体激光器装置，其具备适当地进行警报发生后的激光振荡器的气压控制的功能。控制装置具有警报监视部，其监视在激光振荡器中是否发生了应当停止放电的警报；警报判定部，其判别在气体激光振荡器中发生的警报的种类；气压控制部，其控制气体激光振荡器的放电管内的激光气体压力；以及电源控制部，其控制气体激光振荡器的电源部，其中，气压控制部在警报发生后基于根据该警报的种类而预先确定的多个控制模式中的一个控制模式，将放电管内的激光气体压力控制为适当值。
- 射频板条放电的二维电压分布模型及均压方法-201611255331.5
- 唐霞辉;胡丹萍;彭浩;秦应雄;许介铭;柳娟;张青之 - 华中科技大学
- 2016-12-30 - 2017-03-22 - H01S3/036
- 本发明公开了一种射频板条放电的二维电压分布模型及均压方法，建立了射频板条放电的二维电压分布模型，并基于该二维电压分布模型提出在射频板条的纵向并联谐振电感、横向终端并联电抗元件以提高放电电压二维分布的均匀性的均压方法，通过在极板侧面的特定位置设置电感，实现了射频板条放电的均匀分布，解决了大功率射频板条CO2激光器放电不均匀性问题，其并联电感的设置位置以及电感的大小，则根据射频板条放电的二维电压分布模型确定。
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