[实用新型]用于气体窗口的气体快门无效

专利信息
申请号: 98223681.6 申请日: 1998-04-09
公开(公告)号: CN2337696Y 公开(公告)日: 1999-09-08
发明(设计)人: 楼祺洪;徐剑秋;董景星;魏运荣 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: H01S3/034 分类号: H01S3/034
代理公司: 上海华东专利事务所 代理人: 李兰英
地址: 201800 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种用于气体窗口的气体快门,含有纵向和横向各有一通孔的快门支架,在快门支架上的圆筒分枝内置有快门主体,快门主体顶端有与步进电机上驱动齿轮相配的齿轮,带动快门主体转动。当快门主体上的通孔与快门支架纵向通孔重合时,即为快门打开。当快门主体上的通孔与快门支架上横向通孔重合时,快门主体内的惰性气体通过带有贮气瓶的换气阀换气。它具有结构简单,操作容易,稳定可靠的特点,可以广泛用于以气体作为工作介质的光学器件上。
搜索关键词: 用于 气体 窗口 快门
【主权项】:
1.一种用于气体窗口的气体快门,含有带驱动齿轮(8)的步进电机(9),快门主体(5)内充有惰性气体和带有换气阀(10)的贮气瓶(11),其特征在于具体结构是:一纵向和横向分别有通孔(2)和(3)的快门支架(1),通孔(2)和通孔(3)的中心轴线相互垂直并在同一水平面上;快门支架(1)纵向中间位置上有一个圆筒分枝(4),圆筒分枝(4)的中心轴线穿过通孔(2)和(3)两中心轴线的交点并垂直于两通孔(2)、(3)中心轴线构成的水平面;置于圆筒分枝(4)内有由圆筒构成的内充有惰性气体的快门主体(5),快门主体(5)在与通孔(2)和(3)距底面等高位处开有一通孔(6),快门主体(5)的顶端有齿轮(7)与步进电机(9)上的驱动齿轮(8)相配;快门支架(1)上的通孔(3)与带有贮气瓶(11)的换气阀(10)相连接。
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  • 朱能伟;方晓东;游利兵 - 中山普宏光电科技有限公司
  • 2022-09-26 - 2022-12-13 - H01S3/034
  • 本实用新型公开了一种双波长输出准分子激光器,包括机架,机架内设有准分子激光腔室,准分子激光腔室内设有至少两个放电电极,两个放电电极之间形成有能供准分子激光通过的光路通道,机架上设有与准分子激光腔室连通并对准分子激光腔室内充ArF混合气体的第一充气装置和与准分子激光腔室连通并对准分子激光腔室内充KrF混合气体的第二充气装置,机架上并位于光路通道上设有前腔镜及用于将准分子激光反射至前腔镜上的后腔镜组,机架上还设有能够与准分子激光腔室连通并用于对准分子激光腔室抽真空的抽真空装置。本实用新型目的是克服了现有技术的不足,提供一种能够生成多种波长的准分子激光的双波长输出准分子激光器。
  • 基于单激光器的预主泵浦激光产生装置-202211259983.1
  • 张冉冉;潘其坤;郭劲;陈飞;赵崇霄;张鲁薇;张阔 - 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  • 2022-10-14 - 2022-12-09 - H01S3/034
  • 本发明提供一种基于单激光器的预主泵浦激光产生装置,包括:激光器、分束单元、主泵浦单元、预泵浦单元、合束单元、主放大器模块和液滴靶室模块;预泵浦单元包括第一预泵浦反射镜、脉冲波形调制模块、半波片、预泵浦激光放大器和第二预泵浦反射镜,通过分束单元对种子光进行分束,对分束后的预泵浦光进行脉冲波形调制、时间延迟和相位延迟,对主泵浦光进行预放大,再对两束光进行合束,产生用于放大和打靶的同轴的预主泵浦激光。在LPP‑EUV光源中,相比于传统的主泵浦光和预泵光独立产生和调控的方式,本发明仅需单台激光器产生种子光,具有光路相对简单、不需要复杂的消色差设计的合束镜、光束指向控制成本低、窗口镜工作寿命更长的优势。
  • 抑制寄生振荡的激光放大装置-202211260107.0
  • 张冉冉;潘其坤;郭劲;陈飞;赵崇霄;张鲁薇;陈毅;张阔 - 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  • 2022-10-14 - 2022-12-09 - H01S3/034
  • 本发明提供一种抑制寄生振荡的激光放大装置,包括:n段非光学连续的气体通道,其内壁设置有噪声光吸收层;每段气体通道的两端设置有窗口镜,窗口镜的偏置角度与激光传输光路成布鲁斯特角;气体通道内设置有放电管,在气体通道外侧设置有放电电极,放电电极与放电管平行对应设置;相邻两段气体通道通过气体循环管道连接;隔离器设置在相邻两段气体通道之间,用于抑制噪声振荡;反射镜设置在激光传输光路上,用于改变激光的传输方向。本发明能够有效消除MOPA系统的寄生振荡,防止单台放大器自身产生的寄生振荡,有效降低了激光放大器起振可能性,并可以通过改变气体通道的数量提升寄生振荡的阈值,提高输出功率的稳定性和系统安全性。
  • 一种曲面CO2激光管微调输出头-202221194951.3
  • 高业鹏;孙尚勇 - 吉林省永利激光科技有限公司
  • 2022-05-18 - 2022-11-15 - H01S3/034
  • 本实用新型具体涉及一种曲面CO2激光管微调输出头,包括:微调接头、微调顶丝安装台和微调输出头安装圆台管;所述微调顶丝安装台和微调接依次套在所述微调输出头安装圆台管上,所述微调接头与激光管管口连接;所述微调接头的上表面为微调接头凸曲面,且所述微调接头上设有激光输出孔;所述激光管管口的工作表面为与微调接头凸曲面(相同曲率的凹区面;本实用新型是利用球面结合度牢靠,易于调整角度,在粘贴的过程中不需要二次研磨,减少有害的杂质及灰尘对激光管内部污染,同时解决了现有技术中微调输出头在粘接的过程中难度大、粘贴时耗时长,成品的合格率低的缺陷。
  • 用于减少准分子放电室窗口积尘的定向气体吹扫-202080088521.0
  • J·T·梅尔基奥尔 - 西默有限公司
  • 2020-12-09 - 2022-08-05 - H01S3/034
  • 一种光源设备包括室和金属氟化物阱,金属氟化物阱被耦合到室并且被配置为向与室耦合的一组窗口外壳设备提供清洁气体。每个窗口外壳设备被配置为减少光学窗口上的金属氟化物积尘,并且包括支撑光学窗口的窗口外壳、与窗口外壳耦合的孔径设备以及设置在孔径设备和光学窗口之间的插入件。孔径设备包括多个单元,多个单元被配置用于捕集从室通过孔径设备朝向光学窗口向上游流动的金属氟化物粉尘。插入件被配置用于控制清洁气体沿光学窗口的第一流速以及清洁气体穿过孔径设备的第二流速。
  • 激光放电腔内金属氟化物粉尘捕集用填充床过滤器-202080089581.4
  • U·尼曼;W·D·吉莱斯皮 - 西默有限公司
  • 2020-12-10 - 2022-08-05 - H01S3/034
  • 一种光源装置(200)包括气体放电级(210)和金属氟化物阱(300)。气体放电级包括光学放大器(206)和成组光学元件(250、260)。光学放大器包括被配置为保持气体放电介质(213)的腔室(211),气体放电介质输出光束。成组光学元件被配置为围绕光学放大器形成光谐振器。金属氟化物阱被配置为捕集从气体放电级生成的金属氟化物粉尘。金属氟化物阱包括静电除尘器(320)和围绕静电除尘器设置的填充床过滤器(400、402、404)。填充床过滤器包括被配置为吸收金属氟化物粉尘(208)的多个珠粒(406、408)。
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