[发明专利]一种功率器件—TI-IGBT的结构及其制备方法在审
申请号: | 201310086221.0 | 申请日: | 2013-03-18 |
公开(公告)号: | CN103839992A | 公开(公告)日: | 2014-06-04 |
发明(设计)人: | 朱阳军;田晓丽;张文亮;卢烁今;张杰 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所;上海联星电子有限公司;江苏中科君芯科技有限公司 |
主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L21/331 |
代理公司: | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人: | 刘丽君 |
地址: | 100029 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种功率器件—TI-IGBT,此器件是将传统的VDMOS、IGBT及FRD三种器件结构及功能集成为一体,器件的正面结构与传统的VDMOS、IGBT的正面结构相似,背面结构为集电区和短路区相间分布。本发明提供的一种功率器件—TI-IGBT综合了VDMOS和IGBT各自的优点,既有较快的关断速度,又有较低的导通压降。 | ||
搜索关键词: | 一种 功率 器件 ti igbt 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种功率器件—TI‑IGBT,其特征在于:是将VDMOS、IGBT及FRD三种器件结构集成为一体,正面结构包括漂移区、栅氧、发射区、将发射区和漂移区隔开的基区、重掺杂区、微穿通区、及三个引出端;所述三个引出端为集电极、发射极和栅极;所述栅极连接发射区和漂移区,栅极通过栅氧与半导体区域绝缘;所述发射区的下面被基区包围,所述重掺杂区设置在发射区的中央区域,所述发射极连接发射区和重掺杂区;背面结构包括集电区和短路区,所述集电区和短路区之间引出集电极。
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