[发明专利]等离子体增强式化学气相沉积设备及其控制方法

摘要

公开一种等离子体增强式化学气相沉积设备，包括在其上装载并运送物体以通过等离子体反应将功能膜设置到物体的托台，其中托台包括基座、固定物体的夹具以及固定件，固定件的上侧布置在基座上以将物体固定到托台。

主权项

一种在换热器上形成功能膜的等离子体增强式化学气相沉积设备的托台，所述托台包括：基座；和至少一个固定件，布置在所述基座上，并在所述至少一个固定件的上侧选择性地接纳夹具，以将所述换热器固定到所述托台，从而通过利用等离子体反应在所述换热器上形成功能膜。