[发明专利]有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置有效
| 申请号： | 201210284911.2 | 申请日： | 2012-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN102776473A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 吴泰必;吴元均 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置，包括：一掩模框架、安装于该掩模框架相对两边框朝向蒸镀面侧的掩盖板及贴合于该掩盖板上的掩模板，所述掩模框架呈矩形，其中间设有矩形的容置口，通过调整掩盖板的安装位置调整所述容置口的大小，所述掩模板上均匀布满数个开口。本发明有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置的掩模板的质量分布均匀，从而避免磁力吸附掩模板时造成质量不同区块吸附先后顺序不一，导致像素位置偏移的问题；所述掩模装置避免了有机材料附着于基板的非蒸镀区，降低有机电致发光二极管的生产成本，提高其生产效率，还有利于大尺寸有机电致发光二极管的蒸镀技术的发展。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 电致发光 二极管 材料 蒸镀用掩模 装置 | ||
【主权项】：
一种有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置，其特征在于，包括：一掩模框架、安装于该掩模框架相对两边框朝向蒸镀面侧的掩盖板及贴合于该掩盖板上的掩模板，所述掩模框架呈矩形，其中间设有矩形的容置口，通过调整掩盖板的安装位置调整所述容置口的大小，所述掩模板上均匀布满数个开口。
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