[发明专利]有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置

说明书

技术领域

本发明涉及有机电致发光二极管(OLED)，尤其涉及一种有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置。

背景技术

有机发光二极管或有机发光显示器(Organic Light Emitting Diode Display，OLED)又称为有机电致发光二极管，是自20世纪中期发展起来的一种新型显示技术。与液晶显示器相比，有机电致发光二极管具有全固态、主动发光、高亮度、高对比度、超薄、低成本、低功耗、快速响应、宽视角、工作温度范围宽、易于柔性显示等诸多优点。有机电致发光二极管的结构一般包括：基板、阳极、阴极和有机功能层，其发光原理是通过阳极和阴极间蒸镀的非常薄的多层有机材料，由正负载流子注入有机半导体薄膜后复合产生发光。有机电致发光二极管的有机功能层，一般由三个功能层构成，分别为空穴传输功能层(Hole Transmittion Layer，HTL)、发光功能层(Emissive Layer，EML)、电子传输功能层(Electron Transmittion Layer，ETL)。每个功能层可以是一层，或者一层以上，例如空穴传输功能层，有时可以细分为空穴注入层和空穴传输层；电子传输功能层，可以细分为电子传输层和电子注入层，但其功能相近，故统称为空穴传输功能层，电子传输功能层。

目前，全彩有机电致发光二极管的制作方法以红绿蓝(RGB)三色并列独立发光法、白光加彩色滤光片法、色转换法三种方式为主，其中红绿蓝三色并列独立发光法最有潜力，实际应用最多。

在以红绿蓝三色并列独立发光法制作有机电致发光二极管的制作过程中，需要使用金属掩模板来达到对玻璃基板上发光层的发光像素部分区域蒸镀有机材料以实现彩色显示。金属掩模板的开口大小取决于待蒸镀的有机电致发光二极管玻璃基板的发光层的大小，蒸镀前位于玻璃基板下方的磁盘吸附金属掩模板使其完全平贴玻璃基板上，进而避免阴影效应(shadow effect)的产生而影响蒸镀质量。然而，由于金属掩模板的开口有效区块与无效区块质量不同，导致磁力吸附金属掩模板时造成质量不同的区块吸附先后顺序不一，使掩模板开口未能有效平贴于固定指定位置。而且，随着有机电致发光二极管的发展，尤其是主动矩阵式有机发光二极管(Active Matrix Organic Light Emitting Diode，AMOLED)的发展，有机电致发光二极管产品尺寸及玻璃基板尺寸都在不断增加，这就要求蒸镀金属掩模板的尺寸不断增大，但是金属掩模板一般都很薄(一般不超过50um)，而且有机电致发光二极管蒸镀工艺要求金属掩模板和玻璃基板之间要有很高的对位精度(金属掩模板单元器件与玻璃基板的像素单元之间对位误差在-3um～+3um)，因此，随着有机电致发光二极管大尺寸化的生产，往往会产生由于金属掩模板与玻璃基板之间对位不准导致有机材料蒸镀到其他区域，造成产品不良，极大影响了生产效率和生产成本。

发明内容

本发明的目的在于提供一种有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置，所述装置的掩模板无效区通过设置开口使该无效区质量和所述掩模板有效区质量不存在差异，从而解决了磁盘吸附时因掩模板有效区和无效区的质量不同造成的吸附顺序差异，及由此产生的像素位置偏移的问题，并通过设置掩盖板避免了有机材料附着于基板的非蒸镀区。

为实现上述目的，本发明提供一种有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置，包括：一掩模框架、安装于该掩模框架相对两边框朝向蒸镀面侧的掩盖板及贴合于该掩盖板上的掩模板，所述掩模框架呈矩形，其中间设有矩形的容置口，通过调整掩盖板的安装位置调整所述容置口的大小，所述掩模板上均匀布满数个开口。

所述掩盖板由无磁性材料制成，所述掩模板由磁吸性材料制成。

所述掩盖板由不锈钢制成。

所述掩盖板焊接固定安装于所述掩模框架上。

所述掩模板为一整张网板或由数张网板拼接而成。

所述容置口的大小等于待蒸镀的有机电致发光二极管的玻璃基板上的发光层的大小。

还包括设于待蒸镀的有机电致发光二极管的玻璃基板上方的磁盘，该磁盘对应所述掩模框架设置，且该磁盘的大小大于或等于所述掩模框架的大小。

所述开口具有相同的结构与大小，其对应待蒸镀的有机电致发光二极管的玻璃基板上的发光层像素单元的子像素点设置。

所述开口为缝隙型开口。

所述开口为插槽型开口。