[发明专利]有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置有效
申请号: | 201210284911.2 | 申请日: | 2012-08-10 |
公开(公告)号: | CN102776473A | 公开(公告)日: | 2012-11-14 |
发明(设计)人: | 吴泰必;吴元均 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;H01L51/56 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 电致发光 二极管 材料 蒸镀用掩模 装置 | ||
1.一种有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置,其特征在于,包括:一掩模框架、安装于该掩模框架相对两边框朝向蒸镀面侧的掩盖板及贴合于该掩盖板上的掩模板,所述掩模框架呈矩形,其中间设有矩形的容置口,通过调整掩盖板的安装位置调整所述容置口的大小,所述掩模板上均匀布满数个开口。
2.如权利要求1所述的有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置,其特征在于,所述掩盖板由无磁性材料制成,所述掩模板由磁吸性材料制成。
3.如权利要求2所述的有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置,其特征在于,所述掩盖板由不锈钢制成。
4.如权利要求1所述的有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置,其特征在于,所述掩盖板焊接固定安装于所述掩模框架上。
5.如权利要求1所述的有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置,其特征在于,所述掩模板为一整张网板或由数张网板拼接而成。
6.如权利要求1所述的有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置,其特征在于,所述容置口的大小等于待蒸镀的有机电致发光二极管的玻璃基板上的发光层的大小。
7.如权利要求2所述的有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置,其特征在于,还包括设于待蒸镀的有机电致发光二极管的玻璃基板上方的磁盘,该磁盘对应所述掩模框架设置,且该磁盘的大小大于或等于所述掩模框架的大小。
8.如权利要求1所述的有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置,其特征在于,所述开口具有相同的结构与大小,其对应待蒸镀的有机电致发光二极管的玻璃基板上的发光层像素单元的子像素点设置。
9.如权利要求8所述的有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置,其特征在于,所述开口为缝隙型开口。
10.如权利要求8所述的有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置,其特征在于,所述开口为插槽型开口。
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