[发明专利]包括多个谐振结构的装置和带有正交抑制的显微加工的传感器有效
| 申请号： | 201210111352.5 | 申请日： | 2003-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN102679969A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 约翰·A·吉恩 | 申请（专利权）人： | 美国亚德诺半导体公司 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 金晓 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及包括多个谐振结构的装置和带有正交抑制的显微加工的传感器。此传感器包括正交抑制电极和邻近正交抑制电极定位的、能与正交抑制电极基本平行移动的谐振器质量，该谐振器质量包括槽口，此槽口邻近正交抑制电极的一部分而形成，使得直接邻近正交抑制电极的谐振器质量的长度随着谐振器质量相对于正交抑制电极移动而变化，其中该正交抑制电极能对谐振器质量产生横向力，该横向力根据直接邻近正交抑制电极的谐振器质量的长度而变化。上述谐振结构包括通过第一挠性件连接的第一对质量和通过第二挠性件连接的第二对质量，每个质量均由悬挂挠性件悬挂，第一和第二挠性件允许所述质量在其谐振时稍稍转动，以减小悬挂挠性件中的纵向应力。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 谐振 结构 装置 带有 正交 抑制 显微 加工 传感器 | ||
【主权项】：
一种带有正交抑制的显微加工的传感器，包括：正交抑制电极；和邻近所述正交抑制电极定位的谐振器质量；所述谐振器质量能够与所述正交抑制电极基本平行地移动，所述谐振器质量包括槽口，所述槽口邻近所述正交抑制电极的一部分而形成，使得直接邻近所述正交抑制电极的所述谐振器质量的长度随着所述谐振器质量相对于所述正交抑制电极移动而变化，其中，所述正交抑制电极能够对所述谐振器质量产生横向力，所述横向力根据直接邻近所述正交抑制电极的所述谐振器质量的长度而变化。
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- 一种隧道磁阻面内检测的解耦式微陀螺装置，主要结构由键合基板、支撑框架、质量块、驱动梁、检测梁、连接块、驱动磁体、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成，在基板上设置驱动磁体、隧道磁阻元件，在支撑框架上设置质量块、驱动组合梁、检测组合梁，质量块由驱动质量块、检测质量块、中心质量块组成，驱动组合梁由驱动梁、连接块组成，检测组合梁由检测梁、连接块组成，在检测质量块上设置检测磁体并与基板上的隧道磁阻元件相对应，隧道磁阻元件为多层膜结构，对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此装置结构设计合理、紧凑，正交耦合误差小，适合微型化。
- 一种隧道磁阻非谐振式三轴MEMS陀螺-201721017277.0
- 李孟委;丁希聪;秦世洋;王威;李秀源 - 中北大学
- 2017-08-15 - 2018-04-06 - G01C19/5656
- 一种隧道磁阻非谐振式三轴MEMS陀螺，主要结构由键合基板、支撑框架、敏感质量块、检测梁、连接块、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成，在支撑框架上设置敏感质量块、检测组合梁，在敏感质量块上设置检测磁体，检测组合梁由检测梁、连接块组成，隧道磁阻元件设置于键合基板凹槽上并与敏感质量块上方检测磁体相对应，对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此陀螺结构设计合理、简单，无需驱动，易单片集成。
- 基于莫尔条纹检测的自解耦微陀螺装置-201721111964.9
- 李孟委;耿浩;梁洲鑫;李秀源;吴倩楠 - 中北大学
- 2017-09-01 - 2018-04-06 - G01C19/5656
- 一种基于莫尔条纹检测的自解耦微陀螺装置，主要结构包括下基板、键合框体、上基板、驱动磁体、检测磁体、定光栅、驱动质量块、检测质量块、弹性梁、动光栅组成，下基板对称设置矩形驱动磁体、检测磁体、2个定光栅，键合框体固定连接上基板和下基板，上基板设置驱动机构、检测机构、驱动质量块、检测质量块，检测质量块中心设置可动光栅，此装置结构新颖可起到自解耦效果，利用莫尔条纹检测微弱柯式力，具有灵敏度高、精度高、噪声小、不受温度影响，检测数据准确、可靠性好。
- 纳米光栅非谐振式三轴角速率传感器-201721085539.7
- 李孟委;梁洲鑫;耿浩;吴倩楠;李秀源 - 中北大学
- 2017-08-28 - 2018-03-13 - G01C19/5656
- 一种纳米光栅非谐振式三轴角速率传感器，主要结构包括上基板、动光栅层、定光栅层、下基板、光电探测器、检测梁、联接块、质量块、动光栅、凸台、激光光源、导线组成，上基板内设置4个光电探测器、导线，动光栅层设置支撑框架、带有动光栅的质量块、检测梁、联接块，定光栅层设置4个定光栅，下基板内设置4个激光光源、导线，此装置无需驱动，该角速率传感器具有量程大、结构简单、正交耦合误差小、受外界冲击或振动影响小的优点。
- 隧道磁阻面内检测的解耦式微陀螺装置-201710695579.1
- 李孟委;丁希聪;李秀源 - 中北大学
- 2017-08-15 - 2018-01-16 - G01C19/5656
- 一种隧道磁阻面内检测的解耦式微陀螺装置，主要结构由键合基板、支撑框架、质量块、驱动梁、检测梁、连接块、驱动磁体、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成，在基板上设置驱动磁体、隧道磁阻元件，在支撑框架上设置质量块、驱动组合梁、检测组合梁，质量块由驱动质量块、检测质量块、中心质量块组成，驱动组合梁由驱动梁、连接块组成，检测组合梁由检测梁、连接块组成，在检测质量块上设置检测磁体并与基板上的隧道磁阻元件相对应，隧道磁阻元件为多层膜结构，对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此装置结构设计合理、紧凑，正交耦合误差小，适合微型化。
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