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[发明专利]惯性传感器及惯性计测装置-CN202310443987.3在审
发明人：泷泽照夫;木暮翔太 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2023-04-23 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明公开了惯性传感器及惯性计测装置，能够不使噪声特性恶化而容易地实施可动体的检查。惯性传感器包括：基体；设置于所述基体的传感器元件；以及覆盖所述传感器元件的盖体，所述传感器元件包括：固定部，固定于所述基体；可动体，能够以与所述基体水平的第一轴为摆动轴摆动；第一旋转弹簧及第二旋转弹簧，连接所述固定部和所述可动体；可动梳齿电极组，设置于所述可动体；固定梳齿电极组，与所述可动梳齿电极组相对，并设置于所述基体；第一检查用电极，设置于所述可动体；以及第二检查用电极，设置于所述基体或所述盖体，并且在俯视时与所述第一检查用电极重叠，在所述俯视时，在所述第一检查用电极设置有多个阻尼调整孔。
惯性传感器装置

[发明专利]物理量传感器及惯性测量装置-CN202310323613.8在审
发明人： 木暮翔太 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本申请提供降低由库仑力引起的动作的不良情况的物理量传感器及惯性测量装置。物理量传感器(1)包括基板(2)、第一固定部(40)、第二固定部(80)、第一支承梁(42)、第二支承梁(82)、第一可动体(MB1)、第二可动体(MB2)、以及屏蔽部(S)。在基板(2)上设置有第一固定电极(10A)及第二固定电极(10B)。第一可动体(MB1)设置为可以以沿着第二方向(DR2)的第一旋转轴为中心相对于基板(2)进行摆动。第二可动体(MB2)设置为可以以沿着第二方向(DR2)的第二旋转轴为中心相对于基板(2)进行摆动。屏蔽部(S)在第一可动体(MB1)和第二可动体(MB2)之间沿着第一方向(DR1)设置。
物理量传感器惯性测量装置

[发明专利]惯性传感器及惯性测量装置-CN202210668710.6在审
发明人： 木暮翔太;松浦由幸 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： G01P15/02 文献下载
摘要：本发明提供惯性传感器及惯性测量装置，能够抑制面内旋转动作。惯性传感器(1)是在将相互正交的三个轴设为X轴、Y轴及Z轴时，检测基于所述Z轴上的位移的物理量的惯性传感器(1)，具备：基板(11)以及可动体(31)，所述可动体(31)固定于基板(11)，绕沿X轴的摆动轴(P)摆动，且具有相互对置的两个平面(31a、31b)及将它们之间连起来的侧面(31c)，可动体(31)具有相对于摆动轴(P)持预定的角度而配置的第一延伸部(41)以及与第一延伸部(41)的侧面(31c)对置而配置的第二延伸部(42)。
惯性传感器测量装置

[发明专利]物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体-CN201711263648.8有效
发明人： 木暮翔太 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2017-12-04 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本申请公开了物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体。该物理量传感器包括：基部；配线，配置于所述基部；支撑部，包括接合于所述基部的第一接合部及接合于所述配线的第二接合部；悬架部，连接于所述支撑部；以及电极指，支撑于所述悬架部，其中，所述支撑部包括第一伸出部，该第一伸出部位于所述第一接合部和所述悬架部之间，与所述基部分开。
物理量传感器装置电子设备移动

[发明专利]物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体-CN201610514759.0有效
发明人： 木暮翔太 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2016-07-04 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明提供一种物理量的检测精度较优异的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有：底基板(2)；元件片(4)，其被接合在底基板(2)上。此外，元件片(4)具有：固定部(481)、(491)，其被固定在底基板(2)上；第一固定电极指(483)，其被固定部(481)支承；第二固定电极指(493)，其被固定部(491)支承；固定部(41)，其位于固定部(481)、(491)之间，且被固定在底基板(2)上；可动部(42)，其能够相对于固定部(41)而进行位移；弹性部(43)，其对固定部(41)与可动部(42)进行连结；第一可动电极指(423)，其被可动部(42)支承，且与第一固定电极指(483)对置配置；第二可动电极指(424)，其被可动部(42)支承，且与第二固定电极指(493)对置配置。
物理量传感器装置电子设备以及移动

[发明专利]电子装置、电子装置的制造方法以及物理量传感器-CN201710017386.0有效
发明人：成瀬敦纪;木暮翔太 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2017-01-10 - 公布日： 2020-05-01 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明提供电子装置、电子装置的制造方法以及物理量传感器，所述电子控制装置具有良好的温度特性。本发明的电子装置的特征在于，具备封装件(10)和功能元件，功能元件的侧面(124)经由粘合剂(40)而被固定于封装件(10)的内侧的侧壁上。
电子装置制造方法以及物理量传感器

[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体-CN201610463385.4有效
发明人： 木暮翔太;田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2016-06-23 - 公布日： 2020-03-24 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：本发明提供具有优异的温度特性的物理量传感器以及具备该物理量传感器的电子设备及移动体。物理量传感器具备：可动电极侧固定部；具有第一固定电极部的第一固定电极侧固定部及具有第二固定电极部的第二固定电极侧固定部；可动质量部，其具有第一可动电极部及第二可动电极部，并且呈包围可动电极侧固定部、第一固定电极侧固定部及第二固定电极侧固定部的形状，其中，所述第一可动电极部具有与第一固定电极部对置的部分，所述第二可动电极部具有与第二固定电极部对置的部分；弹性部，其对可动电极侧固定部与可动质量部进行连接。
物理量传感器电子设备以及移动

[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体-CN201610509140.0有效
发明人： 木暮翔太;田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2016-06-30 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：本发明提供一种具有优异的温度特性的物理量传感器，并提供一种具备该物理量传感器的电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器(1)具备可动质量部(32)，其具有第一可动电极部(322a)和第二可动电极部(322b)，所述第一可动电极部(322a)具有与第一固定电极部(213a)对置的部分，所述第二可动电极部(322b)具有与第二固定电极部(213b)对置的部分，并且所述可动质量部(32)在俯视观察时呈包围第一固定电极侧固定部(21a)、第二固定电极侧固定部(21b)、第一可动电极侧固定部(31a)以及第二可动电极侧固定部(31b)的形状。
物理量传感器电子设备以及移动

[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体-CN201610514596.6在审
发明人：田中悟;木暮翔太 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2016-06-30 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： G01D5/24 文献下载
摘要：本发明提供一种具有优异的特性的物理量传感器，并提供一种具备该物理量传感器的电子设备及移动体。本发明的物理量传感器(1)具备可动质量部(32)，其具有具有与第一固定电极部(213a)对置的部分的第一可动电极部(322a)；以及具有与第二固定电极部(213b)对置的部分的第二可动电极部(322b)，可动质量部(32)在俯视观察时呈包围第一固定电极侧固定部(21a)及第二固定电极侧固定部(21b)的形状；第一可动电极侧固定部(31a)以及第二可动电极侧固定部(31b)，它们经由第一弹性部(33a)以及第二弹性部(33b)而对可动质量部(32)进行支承，并且在俯视观察时被配置在可动质量部(32)的外侧。
物理量传感器电子设备以及移动

[发明专利]物理量检测元件、以及物理量检测装置、电子设备、移动体-CN201410525098.2在审
发明人： 木暮翔太 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2014-10-08 - 公布日： 2015-04-15 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明提供物理量检测元件、以及物理量检测装置、电子设备、移动体。物理量检测元件具备：基板；第一固定电极部以及第二固定电极部，其被设置于所述基板上；可动体，其被设置于所述基板的上方；梁，其被设置于所述可动体上，在所述可动体的、相对于所述梁的一方设置有第一可动体，在相对于梁的另外一方设置有第二可动体，第一可动体包括第一可动电极部和第一质量部，所述第一可动电极部与所述第一固定电极部对置，所述第一质量部从所述第一可动电极部起被配置于与所述梁相反的方向上，所述第二可动体包括与所述第二固定电极部对置的第二可动电极部，第一可动体(20a)的质量重于第二可动体(20b)的质量，第一质量部(23)的质量重于第一可动电极部(21)的质量。
物理量检测元件以及装置电子设备移动

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