[实用新型]一种直拉法制备单晶硅所使用的硅籽晶无效
申请号: | 201020301821.6 | 申请日: | 2010-01-28 |
公开(公告)号: | CN201627000U | 公开(公告)日: | 2010-11-10 |
发明(设计)人: | 周俭 | 申请(专利权)人: | 上海杰姆斯电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/36 | 分类号: | C30B15/36 |
代理公司: | 北京元中知识产权代理有限责任公司 11223 | 代理人: | 杨建君 |
地址: | 201601 上海市松*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种硅籽晶,该硅籽晶包括相互连为一体的硅籽晶上部、硅籽晶中部和硅籽晶下部,所述的硅籽晶上部和硅籽晶下部均为圆柱体,硅籽晶的中部为倒圆台结构,其中,所述的硅籽晶上部的横截面大于硅籽晶下部的横截面。该硅籽晶克服了现有籽晶的不足,可以大大延长籽晶的使用寿命,该籽晶结构简单,生产成本低,此外,籽晶能够反复多次利用,也降低了硅晶体的生产成本,有利于该硅籽晶的推广应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 法制 单晶硅 使用 籽晶 | ||
【主权项】:
一种直拉法制备单晶硅所使用的硅籽晶,其特征在于所述的硅籽晶包括相互连为一体的硅籽晶上部(4)、硅籽晶中部(5)和硅籽晶下部(6),所述的硅籽晶上部(4)为圆柱体,所述的硅籽晶中部(5)为倒圆台结构,硅籽晶下部(6)为圆柱体,其中,所述的硅籽晶上部(4)的横截面大于硅籽晶下部(6)的横截面。
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