[发明专利]无载具的半导体封装件及其制造方法有效
申请号: | 201010508674.4 | 申请日: | 2010-10-13 |
公开(公告)号: | CN102446775A | 公开(公告)日: | 2012-05-09 |
发明(设计)人: | 蔡岳颖;汤富地;黄建屏;柯俊吉 | 申请(专利权)人: | 矽品精密工业股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56;H01L23/31;H01L23/495 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;张硕 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种无载具的半导体封装件及其制造方法,是在一金属载板上形成多个凹槽及相对应的金属块,该金属块即对应为焊垫或芯片垫位置,而后在该凹槽中填充第一胶体,使该第一胶体直接与金属接着,增加附着力,并在该金属块上表面覆盖上一抗氧化层,如银的镀层或有机可焊保护膜,接着再进行置晶、打线、封装模压等作业,形成覆盖半导体芯片的第二胶体,而在前述置晶、打线、封装模压作业中,由于凹槽已经被第一胶体填满,故整个金属载板相当厚实,避免现有技术半蚀刻后铜板软弱弯曲,影响生产运送的问题;再者,制造过程中不需要使用昂贵的金、钯等金属作为蚀刻阻层,得以降低制造成本;同时也可在金属载板上布设导电迹线,以提升电性连接品质。 | ||
搜索关键词: | 无载具 半导体 封装 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种无载具的半导体封装件的制造方法,其特征在于,包括:制备一具有相对第一及第二表面的金属载板,使该金属载板第一表面具有相对的凹槽及金属块;在该凹槽中填充第一胶体,并外露出该金属块上表面;将半导体芯片接置于该第一胶体上且电性连接至该金属块;在该金属载板第一表面上形成包覆该半导体芯片的第二胶体;以及移除该金属载板第二表面的部分金属载板,以外露出该金属块及第一胶体下表面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造