[发明专利]用于隔离层的冷等离子体沉积的方法和装置及使用该装置的机器无效
| 申请号： | 200780036579.5 | 申请日： | 2007-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN101536136A | 公开（公告）日： | 2009-09-16 |
| 发明（设计）人： | 尼古拉斯·乔梅尔;奈依迈·鲍特洛伊;尔泰·塞缇奈尔 | 申请（专利权）人： | 西德尔公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34 |
| 代理公司： | 上海天协和诚知识产权代理事务所 | 代理人： | 张恒康 |
| 地址： | 法国奥克*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 一种用于控制磁控管(16)用的高压电源发电机来在中空体中产生冷等离子体的方法，目的是在所述的中空体中进行边界层的沉积，特征在于该方法包含从多个运行模式(模式1、模式2、模式3)中选择(E2)一种发电机运行模式，通过改变至少一个系数((a，b，c)；(a1，b1，c1))来改变该发电机的运行模式(模式1、模式2、模式3)，该系数根据磁控管(16)的设定平均功率Pavg来定义磁控管(16)的供给功率波形最大功率Pmax，该磁控管(16)的供给波形以周期传导比Th进行周期循环，传导比Th取决于设定平均功率Pavg和/或取决于最大功率Pmax。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 隔离 等离子体 沉积 方法 装置 使用 机器 | ||
【主权项】：
1. 一种用于控制磁控管(16)用的高压电源发电机以在中空体内产生冷等离子体的方法，以便在所述中空体内进行隔离层的沉积，其特征在于，该方法包括从多个运行模式(模式1、模式2、模式3)中选择(E2)一种发电机运行模式，通过改变至少一个系数((a，b，c)；(a1，b1，c1))来改变该发电机的运行模式(模式1、模式2、模式3)，该系数根据所述磁控管(16)的平均功率设定值Pavg来定义所述磁控管(16)的供给功率波形最大功率Pmax，所述磁控管(16)的供给波形以周期传导比Th进行周期循环，所述传导比Th取决于所述平均功率设定值Pavg和/或最大功率Pmax。
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