[发明专利]半导体器件后段通孔的制造方法无效
| 申请号： | 200710040651.3 | 申请日： | 2007-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN101308791A | 公开（公告）日： | 2008-11-19 |
| 发明（设计）人： | 李建茹;宋铭峰;张水友 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/311 | 分类号： | H01L21/311;H01L21/768;G03F7/42 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种半导体器件后段通孔的制造方法，涉及半导体后段制造领域。该制造方法包括如下步骤：提供半导体基体，对半导体基体的绝缘层进行镀光刻胶步骤、曝光步骤、显影步骤；进行蚀刻步骤，在绝缘层上形成通孔；进行灰化步骤，将剩余的光刻胶移除，且灰化步骤的温度条件范围是20－50摄氏度；进行湿法清洗步骤。与现有技术相比，本发明的制造方法通过在低温条件下进行灰化步骤，避免了因高温条件的灰化步骤造成通孔附近的金属互连线出现凹形缺陷的现象，从而提高产品的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体器件 后段 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种半导体器件后段通孔的制造方法，其包括如下步骤：提供半导体基体，对半导体基体的绝缘层进行镀光刻胶步骤、曝光步骤、显影步骤；进行蚀刻步骤，在绝缘层上形成通孔；进行灰化步骤，将剩余的光刻胶移除；进行湿法清洗步骤，其特征在于，灰化步骤的温度条件范围是20-50摄氏度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710040651.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
