[发明专利]在硅衬底上制备结晶碱土金属氧化物的方法无效
| 申请号： | 00121617.1 | 申请日： | 2000-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN1334361A | 公开（公告）日： | 2002-02-06 |
| 发明（设计）人： | Z·于;J·A·哈尔马克;J·K·阿伯瓦;C·D·奥加德;R·德罗帕德 | 申请（专利权）人： | 摩托罗拉公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 段承恩 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种在Si衬底上制备结晶碱土金属氧化物的方法,其中提供在表面上具有非晶二氧化硅的Si衬底。将衬底加热到700－800℃的温度,并在分子束外延室中,在约10－9到10－10乇的压力下暴露于碱土金属束。在分子外延期间,用RHEED技术监测表面,以确定从非晶二氧化硅到结晶碱土金属氧化物的转变。形成了碱土金属氧化物后,形成附加材料层,例如用于非易失性和高密度存储器件应用的硅上的附加厚度的碱土金属氧化物,单晶铁电或高介电常数氧化物。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 制备 结晶 碱土金属 氧化物 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在Si衬底上制备结晶碱土金属氧化物的方法，其特征在于包括以下步骤：提供在衬底表面上具有二氧化硅的Si衬底，所说二氧化硅具有升华温度；将该衬底加热到低于二氧化硅的所说升华温度；将衬底的表面暴露于碱土金属束。
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