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[发明专利]提高晶圆混合键合强度的方法-CN201711154806.6在审
发明人：丁滔滔;郭帅;王家文;王孝进;王家友;李春龙;邢瑞远 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2017-11-20 - 公布日： 2018-05-04 - 主分类号： H01L21/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种提高晶圆混合键合强度的方法，其特征在于，方法包括提供需要进行键合的晶圆；将晶圆的键合界面对准后，对晶圆进行键合工艺和热退火工艺；其中，在进行键合工艺的过程中，对晶圆进行热压，并且在进行热退火工艺的过程中，继续对晶圆进行加压。使用本发明的方法后，能够有效提高混合键合的强度，降低了由此造成的产品良率缺失和报废隐患。
提高混合强度方法

[发明专利]一种深沟槽的预清洗方法及3DNAND制备工艺-CN201710732699.4在审
发明人：吴俊;吴关平;王家友;程媛;郭海峰;王凯;郭帅 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2017-08-24 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种深沟槽的预清洗方法，包括以下步骤提供具有深沟槽的被处理部件，并将其置于反应腔体中；向所述反应腔体中通入气体，并形成刻蚀等离子体；利用所述刻蚀等离子体对所述被处理部件的所述深沟槽进行等离子刻蚀；等离子刻蚀后维持反应腔体的温度在一定范围内一段时间。本发明通过特殊的等离子刻蚀，有效并且均匀的去除深沟槽底部的自然氧化物(native oxide)和非单硅(amorphous silicon)等杂质，从而获得更好的硅外延生长效果，进而改善多晶硅沟槽的电流导通能力，显著改善存取闪存器器件的性能，并使得产品良率显著提升。
一种深沟清洗方法 dnand 制备工艺

[发明专利]一种外延结构生长工艺的监控方法-CN201710772393.1在审
发明人：颜元;程媛;李冠男;丁滔滔;王家友 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2017-08-31 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种外延结构生长工艺的监控方法，在测试晶片上形成通孔，分别获得外延结构生长前和外延结构生长之后的通孔的深度，二次深度之差即为外延结构的实际厚度，通过测量两次通孔的深度，起到监控外延结构生长的目的。该方法中，采用离线的方式对3D NAND存储器中外延结构的生长进行监控，可以定期进行该监控，通过外延结构的厚度反应生长工艺是否异常，及时反馈结构的工艺情况，有利于提高生产的稳定性和产品的良率。
一种外延结构生长工艺监控方法

[实用新型]一种扩孔装置-CN201720787968.2有效
发明人：千鑫;相飞行;欧泽波;谢孟军;周刚;张殿祥;杨秀峰;苏学龙;王家友;姚永博 -专利权人：中国南方电网有限责任公司调峰调频发电公司天生桥水力发电总厂
申请日： 2017-07-01 - 公布日： 2018-01-12 - 主分类号： B23B45/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扩孔装置，包括底座、偏心套筒及刀杆，所述底座上开设有偏心孔，在底座侧面上开设有与偏心孔内壁连通的第一螺纹孔；所述偏心套筒配合安装在底座上的偏心孔内，一紧定螺钉旋接在第一螺纹孔内，将偏心套筒压紧在偏心孔内，实现偏心套筒的周向定位；所述刀杆上端为与钻孔设备的夹嘴预连接的夹持头，其中部安装有车刀，其下端穿插在偏心套筒的内孔中。使用本实用新型所述的扩孔装置能够提高扩孔精度，确保扩孔的垂直度。
一种扩孔装置

[实用新型]一种研磨镜板时的废料收集装置-CN201721357727.0有效
发明人：苏学龙;相飞行;千鑫;谢孟军;刘吉康;欧泽波;张殿祥;王家友;姚永博 -专利权人：中国南方电网有限责任公司调峰调频发电公司天生桥水力发电总厂
申请日： 2017-10-20 - 公布日： 2018-01-05 - 主分类号： B24B55/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种研磨镜板时的废料收集装置，包括圆形底板，在底板中心位置开设有第一避让孔，且在底板上均匀开设有多个以第一避让孔为中心的第二避让孔，在底板外边缘和第一、第二避让孔的孔口部位均设置有垂直于底板的挡壁。本实用新型能够对研磨镜板时产生的废料进行收集，避免研磨废料污染环境。
一种研磨镜板时废料收集装置

[发明专利]一种3DNAND器件栅线缝隙氧化物的沉积方法-CN201710775211.6在审
发明人：贾彩艳;王家友;郁赛华;王秉国 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2017-08-31 - 公布日： 2017-12-29 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种3D NAND器件栅线缝隙氧化物的沉积方法，在采用六氟化钨的反应气体沉积钨栅线并进行回刻之后，进行所述氧化物的沉积。沉积方法包括将形成有钨栅线的衬底置于惰性气体环境中进行退火处理；进行栅线缝隙氧化物的沉积。该方法通过对钨栅线进行退火，释放了钨薄膜中的氟和氟的化合物，避免后续沉积氧化物并高温处理时，释放的氟腐蚀氧化物层引起器件短路，提高了器件的性能。
一种 dnand 器件缝隙氧化物沉积方法

[发明专利]一种多晶硅沉积方法以及多晶硅沉积设备-CN201710772560.2在审
发明人：吴俊;王家友;王秉国;郁赛华;蒲浩 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2017-08-31 - 公布日： 2017-12-22 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本方案提供了一种多晶硅沉积方法以及多晶硅沉积设备，该多晶硅沉积方法应用于三维存储器，所述三维存储器包括至少一层多晶硅层，首先沉积第一层多晶硅层，然后在第一层多晶硅层表面鼓入氟化物气体，以使氟化物气体与第一层多晶硅层上的氧化层反应，去除第一层多晶硅层表面的自然氧化层，然后在第一层多晶硅层的表面沉积第二层多晶硅层。有效的避免了多晶硅沟道中产生氧化层的现象，提升了3D NAND存储器的器件性能。
一种多晶沉积方法以及设备

[发明专利]一种三维存储器件的沟槽角度控制方法以及控制装置-CN201710771621.3在审
发明人：颜元;李冠男;程媛;程挚;王家友 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2017-08-31 - 公布日： 2017-12-22 - 主分类号： H01L27/11578 文献下载
摘要：本方案提供一种三维存储器件的沟槽角度控制方法以及控制装置，其中该控制方法基于离子注入工艺(IMP Process)，首先确定位于三维存储器件衬底中表征待开设沟槽位置的预设标记，然后，根据所述预设标记，确定沟槽角度控制的第一方向，最后，基于所述第一方向，将所述三维存储器旋转预设角度，以使离子注入设备按照第二方向对所述三维存储器的沟槽进行离子注入操作。可见，本方案在现有离子注入设备的基础上，通过旋转预设角度改变三维存储器的硅片离子注入方向，进而控制离子注入的角度，实现了对沟槽垂直角度的精确控制，避免了IMP剂量改变以及电荷迁移，保障离子注入工艺的稳定性以及存储器的性能。
一种三维存储器件沟槽角度控制方法以及装置

[实用新型]一种水轮发电机组主轴的中心定位装置-CN201720789004.1有效
发明人： 王家友;苏学龙;相飞行;刘香建;欧泽波;谢孟军;张殿祥;刘吉康 -专利权人：中国南方电网有限责任公司调峰调频发电公司天生桥水力发电总厂
申请日： 2017-07-01 - 公布日： 2017-12-22 - 主分类号： B25B27/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种水轮发电机组主轴的中心定位装置，包括底座、顶盖及两端分别与底座和顶盖螺纹连接的螺柱，螺柱两端的螺纹旋向相反，当旋转螺柱时，旋接在螺柱两端的底座和顶盖相对运动或相向运动。使用本实用新型所述定位装置能够提高水轮发电机组主轴的中心定位精度，且能够消除水轮发电机组主轴的中心定位工作和导轴承瓦间隙调整工作之间的交叉影响，提高工作效率。
一种水轮发电机组主轴中心定位装置

[发明专利]一种变频电机负载的不平衡检测方法-CN201511024938.8在审
发明人： 王家友 -专利权人：常州新亚电机有限公司
申请日： 2015-12-30 - 公布日： 2017-07-07 - 主分类号： G01M1/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种变频电机负载的不平衡检测方法，其检测过程如下首先控制变频电机转到一定速度，然后根据变频器的PI控制器的输出信号的幅值，计算其波动值大小，并据此计算变频电机负载的不平衡量(OOB)。
一种变频电机负载不平衡检测方法

[发明专利]一种霍尔电路及其信号输出方法-CN201510991004.5在审
发明人： 王家友 -专利权人：常州新亚电机有限公司
申请日： 2015-12-24 - 公布日： 2017-07-04 - 主分类号： H03K19/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种霍尔电路及其信号输出方法，由一个霍尔元件和控制与转换电路，霍尔元件的偏置电路，以及共模电位补偿电路构成，控制与转换电路控制霍尔元件的两个输出电极处于等电位状态，且霍尔元件对磁场的响应以电流信号的形式馈至转换电路并转换为电路的输出电压。
一种霍尔电路及其信号输出方法

[发明专利]无定形硅的沉积方法和3D‑NAND闪存的制作方法-CN201611205599.8在审
发明人： 王家友;乔磊;万先进 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2016-12-23 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种无定形硅的沉积方法，其包括以下步骤提供一半导体衬底，所述半导体衬底为一具有沟槽的半导体器件，所述半导体衬底形成有一表面膜层，所述表面膜层覆盖所述沟槽的表面，所述表面膜层为非硅材料；通过乙硅烷分解方式在所述表面膜层上沉积一种子层，所述种子层的材质为硅，所述种子层的厚度小于通过甲硅烷分解方式在所述种子层上沉积一无定形硅层。本发明的目的在于，防止无定形硅中产生球状凸起，并提高无定形硅的均一性。
无定形沉积方法 nand 闪存制作方法

[实用新型]具有水润滑机械密封装置的泥浆泵-CN201620842030.1有效
发明人： 王家友;楚世垒;孙合臣;杨洪民;刘刚石;刘业国;杨超;马增彦 -专利权人：中交烟台环保疏浚有限公司
申请日： 2016-08-04 - 公布日： 2016-12-28 - 主分类号： F04D7/04 文献下载
摘要：本实用新型具有水润滑机械密封装置的泥浆泵涉及一种泥浆泵。其目的是为了提供一种结构简单、密封性好、使用寿命长的具有水润滑机械密封装置的泥浆泵。本实用新型包括泵壳和泵轴，泵轴与泵壳连接处设置机械密封装置，机械密封装置包括轴套、压盖、动环、静环、弹簧座、弹簧、传动销、冲洗口和安装过渡盘，轴套安装在泵轴上，压盖套设在轴套上，压盖一端与安装过渡盘一侧固定，安装过渡盘另一侧与泵壳固定；静环、动环、弹簧座依次设置在压盖内，静环与压盖固定，弹簧座与轴套固定，弹簧设置在弹簧座内，弹簧一端与动环一端面相抵，动环与静环组成一对密封端面，传动销在弹簧座上的销孔中，传动销另一端与动环固定；冲洗口设置在压盖上。
具有润滑机械密封装置泥浆泵

[实用新型]泥泵橡胶衬板组件-CN201620841982.1有效
发明人： 王家友;楚世垒;孙合臣;杨洪民;刘刚石;刘业国;杨超;马增彦 -专利权人：中交烟台环保疏浚有限公司
申请日： 2016-08-04 - 公布日： 2016-12-28 - 主分类号： F04D29/00 文献下载
摘要：本实用新型泥泵橡胶衬板组件涉及一种泥泵。其目的是为了提供一种结构简单、成本低、重量轻、不易碎、易于运输和安装的泥泵橡胶衬板组件。本实用新型泥泵橡胶衬板组件包括前衬板和后衬板，所述前衬板包括相套的前外衬板和前内衬板，前外衬板由第一骨架与第一橡胶层贴合组成，前内衬板由第二骨架与第二橡胶层贴合组成，第一骨架和第二骨架均与泵盖固定连接，第一橡胶层和第二橡胶层均与叶轮相对，第二骨架外周开设有周向凹槽，凹槽内设置有O型密封圈；所述后衬板由第三骨架与第三橡胶层贴合组成，第三骨架与泵胆固定连接。
橡胶组件

[实用新型]挖泥船挖泥机构-CN201620841874.4有效
发明人： 王家友;楚世垒;孙合臣;杨洪民;刘刚石;刘业国;杨超;马增彦 -专利权人：中交烟台环保疏浚有限公司
申请日： 2016-08-04 - 公布日： 2016-12-28 - 主分类号： E02F5/28 文献下载
摘要：本实用新型挖泥船挖泥机构涉及一种挖泥船。其目的是为了提供一种斗速快、斗链抖动幅度小、挖泥效率高的挖泥船挖泥机构。本实用新型挖泥船挖泥机构包括主桥和付桥，主桥上端与船体铰接，付桥上端与船体铰接，主桥的上部设置有垫墩，垫墩与付桥的下端搭接，主桥与付桥之间形成的夹角为钝角；付桥的上端设置上导轮，主桥的下端设置下导轮，上导轮为主动轮，下导轮为从动轮，上导轮与下导轮由斗链连接，斗链上设置有若干泥斗，泥斗均匀固定在斗链上，主桥和付桥的上表面固定有若干泥斗导滚，泥斗导滚均匀设置，泥斗底部能够与泥斗导滚接触，斗链呈垂链线状态。
挖泥船挖泥机构