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- [发明专利]三维存储器-CN201811113446.X有效
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李远;潘杰;万先进;朱宏斌;鲍琨
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长江存储科技有限责任公司
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2018-09-25
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2023-09-08
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H10B43/35
- 本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种三维存储器。所述三维存储器包括：衬底，具有堆叠结构以及沿垂直于所述衬底的方向贯穿所述堆叠结构的沟道孔，所述堆叠结构包括沿垂直于所述衬底的方向依次排列的若干层栅极层；NAND串，覆盖于所述沟道孔的侧壁表面；沟道孔插塞，位于所述沟道孔内，所述NAND串的顶部与所述沟道孔插塞电连接，所述沟道孔插塞的材料与所述栅极层的材料相同。本发明简化了三维存储器的制造步骤，降低了三维存储器的制造成本，并有助于改善三维存储器的性能。
- 三维存储器
- [实用新型]一种基板的加工装置-CN202123017870.4有效
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万先进;边逸军
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宁波芯丰精密科技有限公司
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2021-12-03
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2023-08-29
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B24B29/02
- 本实用新型属于半导体加工技术领域，公开了一种基板的加工装置。该基板的加工装置包括底座、磨削机构、抛光机构和清洗机构，磨削机构包括回转组件和多个磨削组件，回转组件设置在底座上，多个磨削机构沿回转组件的周向均布在底座上，磨削组件能够对回转组件上的待加工基板进行磨削，抛光机构对磨削后的代加工基板的表面进行抛光，清洗机构包括多个清洗单元，多个清洗单元垂直堆叠地设置在底座上，多个清洗单元被配置为对抛光过的待加工基板进行清洗。该基板的加工装置，通过清洗机构上的多个垂直堆叠的清洗单元，能够对磨削抛光后的基板进行多次清洗，保证研磨过后的基板的表面的光洁度，提高对基板的加工质量。
- 一种加工装置
- [发明专利]工件纠偏方法及工件切削设备-CN202310432595.7在审
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万先进;谢亚楠;张怀东;边逸军
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宁波芯丰精密科技有限公司
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2023-04-21
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2023-07-21
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B28D5/02
- 本发明属于半导体加工技术领域，公开了一种工件纠偏方法及工件切削设备。该工件纠偏方法包括：S1、将工件放置在工件载台上，检测工件与工件载台的同心度；S2、若工件与工件载台不同心，调整工件的放置位置，直至工件与工件载台同心；S3、将工件载台移动至切削位置，以预设进刀量A切削工件的边缘；S4、检测工件边缘的切槽宽度y1是否等于进刀量A；S5、若切槽宽度y1不等于预设进刀量，调整工件载台的位置，直至切槽宽度y1等于预设进刀量A。工件切削设备采用上述工件纠偏方法对工件进行纠偏和校准，保证了工件与工件载台同心度，提高了工件切削过程的准确度，避免出现切削后工件偏心的情况，保证了工件的切削质量。
- 工件纠偏方法切削设备
- [实用新型]夹持装置-CN202320451064.8有效
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万先进;谢亚楠;郑秀明;边逸军
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宁波芯丰精密科技有限公司
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2023-03-10
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2023-07-21
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B28D7/04
- 本实用新型属于半导体加工技术领域，公开了一种夹持装置。该夹持装置包括底板以及安装在底板上的至少三个夹持单元，夹持单元包括轴向限位组件、径向限位组件以及顶板，轴向限位组件包括第一安装座和设置在第一安装座上的承托件，第一安装座滑动设置在底板上；径向限位组件包括第二安装座和设置在第二安装座上的径向夹持件；在夹持位置，承托件与工件的底面贴靠，径向夹持件在拉伸弹簧的弹力作用下贴靠在工件的侧面；在释放位置，承托件脱离工件，工件贴靠径向夹持件下滑；顶板通过至少三个调平件与底板连接，顶板用于与机械臂连接。该夹持装置能够降低工件破损的风险，并能够提高工件放置时的准确性。
- 夹持装置
- [实用新型]工件夹取装置-CN202320451106.8有效
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万先进;谢亚楠;郑秀明;边逸军
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宁波芯丰精密科技有限公司
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2023-03-10
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2023-07-18
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H01L21/687
- 本实用新型属于半导体加工技术领域，公开了一种工件夹取装置。该工件夹取装置包括底板以及安装在底板上的至少三个夹取单元，夹取单元包括轴向限位组件、径向限位柱以及驱动件；轴向限位组件包括安装座和设置在安装座上的承托件，安装座滑动设置在底板上，承托件用于从工件的边缘承托工件，安装座能够靠近或远离工件的轴心；径向限位柱设置在底板上，径向限位柱的侧面与工件的边缘贴靠；驱动件设置在底板上，驱动件的输出端与安装座连接，驱动件能够驱动安装座运动，以使承托件承托工件或脱离工件。该工件夹取装置通过承托件实现对工件的夹取，降低了工件边缘破碎的风险，有效地保护了工件，同时径向限位柱保证了夹取工件时的稳定性和准确性。
- 工件装置
- [实用新型]工件载台-CN202320437215.4有效
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万先进;谢亚楠;朱松;边逸军
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宁波芯丰精密科技有限公司
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2023-03-09
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2023-07-18
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H01L21/687
- 本实用新型属于半导体加工技术领域，公开了一种工件载台。该工件载台包括旋转底座、承载组件以及抬升板，承载组件包括吸附载盘和嵌设在吸附载盘上的吸附载环，吸附载盘设置在旋转底座上，旋转底座上开设有第一吸附孔，第一吸附孔内能够形成负压，以使吸附载盘贴紧在旋转底座上；承载组件上开设有第二吸附孔，第二吸附孔内能够形成负压，以使工件贴紧在吸附载环上；抬升板活动设置在吸附载盘上，吸附载盘上还开设有送气孔，送气孔能够向抬升板输送气流使抬升板推动工件上升，以使工件脱离吸附载环。该工件载台能够通过气流使抬升板向上推动工件脱离吸附载环，从而便于机械夹持手夹持，此外吸附载盘通过负压吸附在旋转底座上，便于更换。
- 工件
- [发明专利]工件载台及工件承载方法-CN202310223284.X在审
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万先进;谢亚楠;朱松;边逸军
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宁波芯丰精密科技有限公司
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2023-03-09
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2023-06-06
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H01L21/687
- 本发明属于半导体加工技术领域，公开了一种工件载台及工件承载方法。该工件载台包括旋转底座、承载组件以及抬升板，承载组件设置在旋转底座上，旋转底座上开设有第一吸附孔，第一吸附孔内能够形成负压，以使承载组件贴紧在旋转底座上；承载组件用于承载工件，承载组件上开设有第二吸附孔，第二吸附孔内能够形成负压，以使工件贴紧在承载组件上；抬升板活动设置在承载组件上，承载组件上还开设有送气孔，送气孔位于抬升板的下方，送气孔能够向抬升板输送气流使抬升板推动工件上升，以使工件脱离承载组件。该工件载台能够通过气流使抬升板向上推动工件脱离承载组件，从而便于机械夹持手夹持，此外承载组件通过负压吸附在旋转底座上，便于更换。
- 工件承载方法
- [实用新型]晶圆清洗装置-CN202320081209.X有效
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万先进;胡孟杰;边逸军
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宁波芯丰精密科技有限公司
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2023-01-13
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2023-05-26
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H01L21/67
- 本实用新型属于晶圆加工技术领域，公开了一种晶圆清洗装置。该晶圆清洗装置包括工作台、水洗机构和刷洗机构，工作台用于承载晶圆，且能够带动晶圆转动，水洗机构设置于工作台上，水洗机构用于向晶圆的待清洗部位喷洒清洗液，刷洗机构包括固定架、第一驱动组件和清洁刷，固定架设置于工作台上，第一驱动组件设置于固定架上，清洁刷连接于第一驱动组件的输出端，第一驱动组件能够驱动清洁刷绕自身轴线转动，以刷洗晶圆的待清洗部位。清洁刷能够将晶圆的待清洗部位上的毛刺刷洗下来，清洗液又可以将刷洗下来的毛刺冲洗掉，从而有效地清洗掉晶圆的待清洗部位上的毛刺，防止在下一步精磨抛光时晶圆被损伤，提高了晶圆的良品率。
- 清洗装置
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