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[发明专利]垂向测量系统及曝光装置-CN202010208546.1有效
发明人：程于水;毛静超;孙建超 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2020-03-23 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种垂向测量系统及曝光装置，所述垂向测量系统用于测量曝光装置之待测量面的垂向位移，其沿光路依次包括：光源入射装置、信号调制单元、投影支路、探测支路及探测装置；其中，信号调制单元包括依次排布的第一透镜、扫描反射镜及第二透镜，扫描反射镜与第一透镜沿光路的距离等于第一透镜的焦距；扫描反射镜与第二透镜沿光路的距离等于第二透镜的焦距；由于扫描反射镜与两个透镜沿光路的距离分别等于两个透镜的焦距，扫描反射镜周期性运动时，可以保证自第二透镜中射出的光线角度不会发生变化，从而使得经投影支路射向待测量面的光束的入射角不变。由此，探测装置能够获得较佳的探测效果，提高探测精度。
测量系统曝光装置

[发明专利]一种调焦调平系统、方法及光刻机-CN202010069896.4有效
发明人： 毛静超;徐荣伟;庄亚政;孙建超;季桂林;李淑蓉 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2020-01-20 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种调焦调平系统、方法及光刻机，调焦调平系统包括光源模块、照明模块、投影模块、探测模块、探测器和信息处理模块，投影模块包括对准狭缝和测量狭缝，探测器设有第一参考标记和第二参考标记。光源模块提供的照射光束，经照明模块、投影狭缝、投影组件后入射至基底，经基底反射后出射至探测模块，最后在探测器上形成对准光斑和测量光斑，探测器根据第一参考标记接收到的对准光斑输出第一电压信号，根据第二参考标记接收到的测量光斑输出第二电压信号，信息处理模块根据第一电压信号判断对准光斑与第一参考标记是否对准，若对准，根据第二电压信号计算基底的离焦量。本发明可以提高集成效率，降低系统测量误差，增加测量精度。
一种调焦系统方法光刻

[发明专利]一种调焦调平检测装置-CN202011591875.5在审
发明人： 毛静超;孙建超;徐荣伟;庄亚政;王晓庆;李淑蓉 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种调焦调平检测装置，包括光源模块、照明单元、投影单元和探测单元，投影单元包括投影狭缝；光源模块发出的光经照明单元调制后入射到投影单元的投影狭缝，投影单元将投影狭缝的光斑成像至基板上，经基板反射后，进入探测单元；照明单元包括微光学元件，微光学元件用于使入射到投影狭缝上的光线的入射角为恒定角度。本发明提供的种调焦调平检测装置，可以解决现有技术中对不同波长不同视场选用了相同的硅片面入射角来计算，从而影响了调焦调平检测装置的测量精度的问题。
一种调焦检测装置

[实用新型]双频激光干涉仪-CN202121772641.0有效
发明人：程于水;毛静超;吴树福 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种双频激光干涉仪，包括发光器、镜组以及准直器。镜组包括偏振分光棱镜、第一棱镜、第二棱镜、第一波片、第二波片和回射器。第一棱镜贴附于偏振分光棱镜的第一侧面，第二棱镜和回射器贴附于偏振分光棱镜的第二侧面，以缩小了测量光和参考光的光程差，降低误差。此外，通过设置第二棱镜和回射器，不仅增加了光程和光学细分，实现降低非线性误差，还根据光路可逆原理，使参考光和测量光束偏移一定位置后，按原光路反方向返回，则因加工、装配引起的光角度偏差受到补偿，最终出射的参考光和测量光方向重合，且均与入射方向相反。因此，本实用新型不仅降低了非线性误差，还避免了因加工、装配引入的光角度误差。
双频激光干涉仪

[发明专利]调焦调平装置、光刻设备及调焦调平方法-CN201811583111.4有效
发明人： 毛静超;徐荣伟;庄亚政;孙建超;季桂林;李淑蓉 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2018-12-24 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种调焦调平装置、光刻设备及调焦调平方法，光源模块发出的光线经照明模块入射至反射狭缝单元上，经反射狭缝单元反射后再经过投影单元投射至一衬底上，衬底反射的光线经过成像单元成像至探测模块上，探测模块处理接收到的光线，以获得衬底的位置信息。本发明突破了测量标记对狭缝材料的依赖，有利于大幅度提高调焦调平装置的能量利用率和提升探测信噪比。
调焦平装光刻设备平方

[发明专利]光电探测器、调焦调平装置以及光刻投影设备-CN201911204078.4有效
发明人： 毛静超;徐荣伟;庄亚政;孙建超;季桂林 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种光电探测器、调焦调平装置以及光刻投影设备，所述光电探测器包括基底；排列设置在所述基底上的至少两个光电探测组件，用于接收光束；设置在所述基底上的至少一个第一遮挡组件，所述第一遮挡组件位于任意相邻的两个光电探测组件之间，用于抵挡相邻的光电探测组件之间的光束传播；设置在所述基底内的至少一个第二遮挡组件，用于抵挡穿过预定光电探测组件的光束从光电探测组件的下方被反射至相邻的光电探测组件。本发明提供的光电探测器和调焦调平装置的测量精度较高，以及利用本发明提供的光刻投影设备制造出的半导体器件的性能较高。
光电探测器调焦平装以及光刻投影设备

[发明专利]一种光学测量系统-CN201811236295.7有效
发明人： 毛静超;徐荣伟;庄亚政;孙建超;季桂林 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2018-10-23 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种光学测量系统，包括光源单元、照明单元、投影图案单元、投影支路、探测支路以及探测器；投影支路包括至少一个投影凹面反射镜和一个投影凸面反射镜，投影凹面反射镜和投影凸面反射镜为offner结构；探测支路包括至少一个探测凹面反射镜和一个探测凸面反射镜，探测凹面反射镜和探测凸面反射镜为offner结构；投影图案单元的图案面与接收平面满足Scheimpflug条件；接收平面与探测器探测面满足Scheimpflug条件。采用上述技术方案，通过设置投影支路和探测支路均为offner结构，同时投影图案单元的图案面与接收平面满足Scheimpflug条件，接收平面与探测器探测面满足Scheimpflug条件，将Scheimpflug条件与Offner结构相结合，保证光学测量系统的测量效率与信噪比，同时元件种类少，结构简单。
一种光学测量系统

[发明专利]一种超宽视场离轴三反射镜光学成像系统-CN201610986183.8有效
发明人：沈为民;刘青函;毛静超 -专利权人：苏州大学
申请日： 2016-11-09 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： G02B17/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种超宽视场离轴三反射镜光学成像系统，包括正光焦度的主反射镜，负光焦度的次反射镜和正光焦度的三反射镜，主镜反射面为球面，次镜和三镜反射面均为扁球型二次曲面，三块反射镜的顶点曲率半径近似满足平像场条件；主镜在主、次镜间形成远处景物的实像，次镜和三镜将此实像中继成像于像面处，孔径光阑置于三镜的前焦面处，实现像方远心光路；主镜相对于中心视场入射主光线沿X轴倾斜，次镜与三镜同轴，子午面内中心视场主光线经主镜反射后，与次镜、三镜公共对称轴线形成夹角。它具有超宽视场、中等相对孔径、宽工作波段、像方远心无遮拦、物方畸变小和成像质量好等优点，适用于空间相机、成像光谱仪等对地成像观测领域。
一种视场离轴三反射光学成像系统

[实用新型]光源装置、调焦调平系统及光刻设备-CN201822001948.5有效
发明人： 毛静超;周媛红;庄亚政;孙建超 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2018-11-30 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种光源装置、调焦调平系统及光刻设备，光源装置包括照明模块、光功率检测模块、驱动模块及控制模块，照明模块包括多个灯泡，光功率检测模块实时检测照明模块中处于照明工位的灯泡发出的光功率，驱动模块与照明模块连接，当光功率检测模块检测到的光功率小于一设定阈值时，控制模块控制驱动模块改变照明模块中的灯泡的位置以切换照明工位上的灯泡。本装置可自动更换寿命耗尽的灯泡，精确控制切换位置，减少维护时间，提高工作效率。
照明模块灯泡光功率检测模块光源装置调焦调平系统光刻设备控制模块驱动模块光功率工位控制切换位置控制驱动模块本实用新型工作效率实时检测自动更换阈值时耗尽检测维护

[发明专利]短波红外宽波段复消色差像方远心望远物镜-CN201610526847.2有效
发明人： 毛静超;沈为民;刘青函 -专利权人：苏州大学
申请日： 2016-07-06 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： G02B13/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种短波红外宽波段复消色差像方远心望远物镜。它为同轴透射式光学系统，工作波段为1.0～‑2.5μm，包括八块球面透镜，沿光线入射方向，依次为三块正弯月透镜、一块负弯月透镜、一块双凹负透镜、一块正弯月透镜和两块双凸正透镜，光阑位于第四块与第五块透镜之间，前七块透镜均弯向光阑，第八块透镜使像方主光线平行于光轴垂直入射到像面上。本发明适用波段宽，结构紧凑、球差小、二级光谱小、色球差和色畸变远小于一个像元，像面照度均匀、像方远心、成像质量接近衍射极限，加工与制造成本低；能量利用率高、集光本领强、热适应性好、装调检测容易。它可应用于空间遥感、机器视觉、农林检测等军事和民用领域。 1
透镜像方远心红外宽波段正弯月透镜复消色差望远物镜短波光阑透射式光学系统负弯月透镜能量利用率双凹负透镜双凸正透镜二级光谱工作波段光线入射光轴垂直机器视觉空间遥感民用领域球面透镜热适应性适用波段像面照度衍射极限制造成本色畸变主光线检测集光球差入射同轴弯向像方像元装调成像平行农林加工军事应用

[实用新型]一种超宽视场离轴三反射镜光学系统-CN201621208976.9有效
发明人：沈为民;刘青函;毛静超 -专利权人：苏州大学
申请日： 2016-11-09 - 公布日： 2017-06-06 - 主分类号： G02B17/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种超宽视场离轴三反射镜光学系统，包括正光焦度的主反射镜，负光焦度的次反射镜和正光焦度的三反射镜，主镜反射面为球面，次镜和三镜反射面均为扁球型二次曲面，三块反射镜的顶点曲率半径近似满足平像场条件；主镜在主、次镜间形成远处景物的实像，次镜和三镜将此实像中继成像于像面处，孔径光阑置于三镜的前焦面处，实现像方远心光路；主镜相对于中心视场入射主光线沿X轴倾斜，次镜与三镜同轴，子午面内中心视场主光线经主镜反射后，与次镜、三镜公共对称轴线形成夹角。它具有超宽视场、中等相对孔径、宽工作波段、像方远心无遮拦、物方畸变小和成像质量好等优点，适用于空间相机、成像光谱仪等对地成像观测领域。
一种视场离轴三反射光学系统

[实用新型]短波红外宽波段复消色差像方远心望远物镜-CN201620705579.6有效
发明人： 毛静超;沈为民;刘青函 -专利权人：苏州大学
申请日： 2016-07-06 - 公布日： 2016-12-14 - 主分类号： G02B13/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种短波红外宽波段复消色差像方远心望远物镜。它为同轴透射式光学系统，工作波段为1.0～‑2.5μm，包括八块球面透镜，沿光线入射方向，依次为三块正弯月透镜、一块负弯月透镜、一块双凹负透镜、一块正弯月透镜和两块双凸正透镜，光阑位于第四块与第五块透镜之间，前七块透镜均弯向光阑，第八块透镜使像方主光线平行于光轴垂直入射到像面上。本实用新型适用波段宽，结构紧凑、球差小、二级光谱小、色球差和色畸变远小于一个像元，像面照度均匀、像方远心、成像质量接近衍射极限，加工与制造成本低；能量利用率高、集光本领强、热适应性好、装调检测容易。它可应用于空间遥感、机器视觉、农林检测等军事和民用领域。
短波红外波段色差像方远心望远物镜

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