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[发明专利]一种纳米多孔-致密双层保护层的锂离子电池硅负极及其制备方法-CN202111264049.4有效
发明人：李爱东;房佳斌;曹燕强;昌绍忠;滕福瑞;吴迪 -专利权人：南京大学
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H01M4/62 文献下载
摘要：本发明公开了一种纳米多孔‑致密双层保护层的锂离子电池硅负极材料及其制备方法，属于锂离子电池硅负极材料领域，获得了具有高容量、长循环寿命的纳米多孔‑致密双层保护的锂离子电池硅负极材料。本发明在纳米硅颗粒负极上使用分子层沉积和原子层沉积技术生长纳米多孔‑致密双保护层，所制备得到的材料由内向外依次为纳米硅、纳米多孔保护层、致密保护层。
一种纳米多孔致密双层保护层锂离子电池负极及其制备方法

[发明专利]一种清洁表面增强拉曼基底并实现可重复利用的方法-CN202211576925.1在审
发明人： 曹燕强;王鑫鑫;程堂杰;丁倩倩;蒋立勇 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种清洁表面增强拉曼基底并实现可重复利用的方法，属于分子识别和纳米制备领域，可以清洁基底表面且不影响基底的SERS活性。本发明针对存在杂质以及探测分子的基底，使用原子层沉积技术对其包裹一层均匀的氧化物，并对其进行高温退火，分解其表面存在的污染物，最后通过化学腐蚀去除表面包裹的氧化物涂层，进而获得纯净的基底，可达到清洁基底和可重复使用的目的。
一种清洁表面增强基底实现重复利用方法

[发明专利]一种具有高膜基结合力的表面增强拉曼基底及制备方法-CN202210883713.1在审
发明人： 曹燕强;王鑫鑫;钱继松;蒋剑莉;蒋立勇 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2022-07-26 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： C25D3/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有高膜基结合力的表面增强拉曼基底及其制备方法，属于分子识别和纳米制备领域，本发明在固体基底表面制备具有纳米间隙的金属纳米结构，使用原子层沉积对金属纳米结构包裹纳米级厚度的氧化物，然后对样品进行辊轧，从而在基底上形成一层致密的金属‑氧化物平面复合结构，提高金属纳米材料在基底上的结合力，随后通过化学腐蚀的方法去除包裹的氧化物，暴露金属纳米结构之间原本存在的间隙，即可得到具有高膜基结合力的高性能SERS基底。
一种具有高膜基结合表面增强基底制备方法

[发明专利]一种兼顾稳定性与拉曼强度的表面增强拉曼基底及其制备方法-CN202210141525.1在审
发明人： 曹燕强;王鑫鑫;钱继松;蒋立勇 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2022-02-16 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： C23C16/40 文献下载
摘要：本发明公开了一种兼顾高稳定性和高拉曼强度的表面增强拉曼基底及其制备方法，属于分子识别和纳米制备领域，针对常规技术中稳定性与拉曼信号强度无法同时满足的难点，提出了一种创新的兼顾稳定性与拉曼强度的表面增强拉曼基底及制备方法。本发明使用具有纳米间隙的银枝晶结构，使用原子层沉积在金属纳米间隙之间引入均匀的纳米级厚度的氧化物，精确控制厚度，在完全包裹银的前提下，不填满纳米间隙，以此制备超薄氧化物包裹的银纳米枝晶结构。此结构中的保护层不仅可以稳定金属银基底，还可以引入额外的化学增强效果，同时提高了SERS基底的稳定性与拉曼信号强度，使得超薄氧化物包裹的银纳米枝晶结构同时具备高稳定性与高拉曼信号强度。
一种兼顾稳定性强度表面增强基底及其制备方法

[发明专利]一种锌基无机-有机杂化纳米多孔分离膜的制备方法-CN201910771709.4有效
发明人：李爱东;刘畅;曹燕强;吴迪 -专利权人：南京大学
申请日： 2019-08-21 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： B01D67/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种锌基无机‑有机杂化纳米多孔分离膜的制备方法，属于分离膜材料领域，采用淋浴式分子层沉积技术，一步直接制备无机‑有机多孔纳米分离膜，无需任何后处理工艺，工艺简单，非常有利于大规模生产。本发明包括：准备杂化多孔分离膜所用的担体和杂化多孔分离膜制备两步，杂化多孔分离膜制备采用分子层沉积技术，采用淋浴式垂直式反应室，反应前驱体自上而下进入反应腔，所述金属前驱体为二乙基锌，所述有机前驱体为对苯二酚，沉积使用的脉冲循环为：0.1‑2 s金属前驱体脉冲、2‑15 s清洗脉冲、5‑25 s有机前驱体脉冲、2‑20 s清洗脉冲，沉积循环数大于35，即可得到锌基对苯二酚无机‑有机杂化多孔分离膜。
一种无机有机纳米多孔分离制备方法

[发明专利]一种模拟神经突触的无机-有机/无机杂化双层纳米薄膜忆阻器及其制备方法-CN201910156030.4有效
发明人：李爱东;刘畅;曹燕强;吴迪 -专利权人：南京大学
申请日： 2019-03-01 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： H01L51/05 文献下载
摘要：本发明公开了一种模拟神经突触的无机‑有机/无机杂化双层纳米薄膜忆阻器，属于半导体微电子器件与人工智能的交叉领域，利用分子层沉积和原子层沉积技术低温来制备具有良好模拟神经突触仿生功能的无机‑有机/无机杂化双层纳米薄膜忆阻器，所采用的分子层沉积和原子层沉积技术能够与微电子工艺兼容、适合大规模集成。本发明的忆阻器包括从下往上依次为衬底、底电极、忆阻功能层、顶电极；所述忆阻功能层由下层无机‑有机杂化薄膜和上层金属氧化物薄膜的双层纳米堆栈结构薄膜材料构成。
一种模拟神经突触无机有机双层纳米薄膜忆阻器及其制备方法

[发明专利]一种成分可调的Co-Pt/Fe-Pt纳米颗粒的制备方法-CN201910543381.0有效
发明人： 曹燕强;李爱东;吴迪 -专利权人：南京大学
申请日： 2019-06-21 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种成分可调的Co‑Pt/Fe‑Pt纳米颗粒的制备方法，属于纳米材料制备领域，利用原子层沉积技术简单的膜厚控制方法，通过改变ALD沉积氧化钴或氧化铁和Pt的循环数，可精确调控材料的组成；并且结合ALD优异的三维贴合性，可在三维结构基体上实现均匀包覆，该制备方法工艺简单，组成精确可控，获得的Co‑Pt/Fe‑Pt纳米颗粒可用于高密度磁存储、电催化等领域。本发明首先在衬底上沉积氧化钴或氧化铁；再进行铂的ALD沉积；重复沉积氧化锆或氧化铁和铂，获得氧化钴或氧化铁/铂纳米叠层；最后进行退火处理获得组成可调的Fe‑Pt或Co‑Pt纳米颗粒。
一种成分可调 co pt fe 纳米颗粒制备方法

[发明专利]一种基于纳米叠层结构金属氧化物柔性电容器及其制备方法-CN201910645580.2有效
发明人：李爱东;房昌;王梅;曹燕强;吴迪 -专利权人：南京大学
申请日： 2019-07-17 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： H01G4/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于纳米叠层结构金属氧化物柔性电容器及其制备方法，属于微纳电子技术－高密度电容器领域，利用低温PEALD方法制备基于Al‑Hf‑Sn‑Ti‑Al‑O纳米叠层结构超薄金属氧化物的柔性电容器，制备的电容器既具有较高的电容密度，同时又具有较低的漏电流密度和电压线性度，而且可根据实际需要选择不同的制备条件可得到不同性能的柔性电容器。本发明利用低温PEALD制备方法，在80℃生长工艺下，通过调控金属前驱体脉冲序列循环比和循环数，获得了介质层厚度为20‑30纳米厚的Al‑Hf‑Sn‑Ti‑Al‑O纳米叠层结构电容器，所述电容器既具有较高的电容密度3~10 fF/μm2，同时又具有较低的漏电流密度10‑7~10‑8 A/cm2和电压线性度650 ppm/V2。
一种基于纳米结构金属氧化物柔性电容器及其制备方法

[发明专利]一种基于原子层沉积方法的层间剥离方法及其在纳米复合材料制备上的应用-CN201911220311.8在审
发明人：李爱东;子陶清;赵希瑞;曹燕强;吴迪 -专利权人：南京大学
申请日： 2019-12-03 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： C23C16/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于原子层沉积方法的层间剥离方法及其在纳米复合材料制备上的应用，属于纳米功能复合材料制备领域，可以同时实现层状材料的层间剥离和纳米复合粉末材料的制备，获得的材料比表面积明显改善。本发明选用层状材料粉末作为担体；在所述担体上利用原子层沉积（ALD）技术沉积包覆层，得到复合粉末样品；将ALD沉积获得的复合粉末样品进行热处理退火，所述包覆层结晶把层状材料层间撑开剥离，获得高比表面的复合层状纳米材料；重复步骤上述步骤实现基于ALD技术对层状材料的多次层间剥离，进一步增加复合层状纳米粉末材料的比表面积。
一种基于原子沉积方法剥离及其纳米复合材料制备应用

[发明专利]一种大尺寸柔性三维多孔碳结构的制备方法-CN201810120748.3有效
发明人： 曹燕强;李爱东;张炜;吴迪 -专利权人：南京大学
申请日： 2018-02-07 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种大尺寸柔性三维多孔碳结构的制备方法，属于微纳结构与功能材料制备领域，该制备方法工艺简单，易于实施，且能大规模生产。本发明应用分子层沉积技术（MLD）在适宜的三维模板表面沉积无机‑有机杂化物作为前驱体，通过高温热处理将杂化物转化为碳‑金属氧化物的复合物，最后通过化学腐蚀的方法去除模板与金属氧化物，以此来制备大尺寸的柔性三维多孔碳结构材料。由于三维模板的尺寸、结构可根据需要进行选择，而丰富有机官能团、多变的碳链长度，使得设计与调谐多孔碳的分级微结构与对碳掺杂成为可能，为大尺寸柔性多孔碳材料的制备提供了一种可行的途径。
制备三维多孔金属氧化物碳结构沉积三维调谐制备方法工艺多孔碳材料高温热处理碳结构材料有机官能团有机杂化物功能材料化学腐蚀模板表面碳链长度微纳结构应用分子多孔碳复合物前驱体碳掺杂微结构杂化物分级去除转化

[发明专利]一种复合微结构的柔性应力传感器及其制备方法-CN201910623408.7在审
发明人：李爱东;赖天成;曹燕强;吴迪 -专利权人：南京大学
申请日： 2019-07-11 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： G01L1/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种复合微结构的柔性应力传感器及其制备方法，属于传感器领域，方法为将两种一维纳米材料分散于乙醇、异丙醇等溶剂中，搅拌后再超声半小时，此过程重复至纳米材料均匀分散；步骤二、将弹性绳浸入上述步骤一的导电纳米材料的分散液中，搅拌并超声2小时使得导电纳米材料能充分地黏附于弹性绳表面的纺织纤维上；步骤三、将上述弹性绳取出后置于空气中晾干，并在其两端分别连接一根金属线作为引出电极即可。本发明综合了纺织微结构基底可拉伸范围大、稳定性好以及一维导电纳米材料灵敏度高、响应迅速的特点，制备出的柔性应力传感器综合性能优异，具有高灵敏度高拉伸性。
导电纳米材料应力传感器制备复合微结构弹性绳超声一维纳米材料传感器领域弹性绳表面浸入纺织纤维分散液中高拉伸性高灵敏度过程重复纳米材料引出电极综合性能晾干灵敏度金属线微结构异丙醇溶剂乙醇基底拉伸黏附取出响应

[发明专利]一种纳米叠层结构锂离子电池负极材料及其制备方法-CN201811245578.8在审
发明人： 曹燕强;李爱东;王珊珊;吴迪 -专利权人：南京大学
申请日： 2018-10-24 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： H01M4/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种纳米叠层结构锂离子电池负极材料及其制备方法，属于锂离子电池材料与纳米制备技术领域，制备的负极材料具有优异的稳定性和完整性。本发明利用ALD技术精确控制厚度的优势，交替生长活性氧化物纳米薄膜和保护层氧化物纳米薄膜，获得活性氧化物/保护层氧化物纳米叠层结构的锂离子电池负极材料，制备的活性材料同时被上下两层保护层所包裹，纳米叠层之间由化学键连接，具有优异的稳定性和完整性。因此，该类纳米结构能够有效缓解电极材料体积膨胀所引起的粉化效应，有效提高电极材料的循环寿命。
锂离子电池负极材料制备纳米叠层保护层活性氧化物氧化物纳米电极材料锂离子电池材料纳米制备技术化学键连接叠层结构负极材料活性材料交替生长纳米薄膜纳米结构上下两层体积膨胀循环寿命有效缓解粉化薄膜

[发明专利]一种仿生柔性应力/应变传感器的制备方法-CN201811249855.2在审
发明人：李爱东;赖天成;刘畅;曹燕强;吴迪 -专利权人：南京大学
申请日： 2018-10-25 - 公布日： 2019-01-01 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种仿生柔性应力/应变传感器的制备方法，涉及传感器领域，能够兼具高灵敏度、大拉伸范围、快速响应和稳定性的特点，具有优异的综合性能。本发明包括：采用以具有合适微结构的动物皮肤为模板制备的图案化PDMS薄膜作为基底材料，以原子层沉积技术制备的金属纳米颗粒修饰的CNTs作为传感材料，两者结合制备得到柔性应力/应变传感器。本发明工艺简单，成本低，绿色环保，制备出的基底材料很好地复制了动物皮肤中的微结构，传感材料具有良好的导电性和拉伸范围，使制备出的柔性应力/应变传感器具有优异的综合性能，包括高的灵敏度、大的拉伸范围、快的响应时间和好的循环稳定性。
制备应变传感器拉伸传感材料动物皮肤基底材料综合性能微结构原子层沉积技术金属纳米颗粒传感器领域循环稳定性导电性高灵敏度快速响应绿色环保模板制备灵敏度图案化修饰复制响应

[发明专利]一种基于ALD技术的表面氮改性二氧化钛纳米颗粒的可见光催化剂的制备方法-CN201610582290.4有效
发明人：李爱东;曹燕强;赵希瑞;陈君;吴迪 -专利权人：南京大学
申请日： 2016-07-22 - 公布日： 2018-08-24 - 主分类号： B01J27/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于ALD技术的表面氮改性二氧化钛纳米颗粒的可见光催化剂的制备方法，首先将二氧化钛粉末转移入ALD反应室，对其表面进行超薄TiN薄膜的沉积包裹，包裹参数为：反应室温度100‑500 oC；钛源：四氯化钛、四二甲氨基钛或异丙醇钛；氮源：氨气或者氨气等离子体；载气：钛源使用高纯氮气或者氩气作为载气，流量为50‑200 sccm；氮源使用高纯氩气作为载气，流量为50‑200 sccm；脉冲和清洗时间：钛源脉冲为0.1‑10 s；每次无机源脉冲之后都紧接着用高纯氮气清洗2‑60 s；氮源脉冲为5‑60s，紧接着用高纯氮气清洗2‑60 s，冲掉反应副产物和残留的反应源。该方法简单易行，产品的可见光催化性能显著增强。
一种基于 ald 技术表面改性氧化纳米颗粒可见光催化剂制备方法

[发明专利]利用ALD制备金属纳米间隙的表面增强拉曼散射基底的方法-CN201510089462.X有效
发明人：李爱东;曹燕强;朱琳;曹正义;吴迪 -专利权人：南京大学
申请日： 2015-04-07 - 公布日： 2017-10-03 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开一种利用ALD制备金属纳米间隙的表面增强拉曼散射基底的方法，具体如下（a）清洗衬底；（b）在衬底表面生成生成金属纳米颗粒；（c）在衬底表面沉积一层氧化物薄膜；（d）衬底表面再次沉积金属纳米颗粒；（e）将衬底置于酸性溶液或碱性溶液中腐蚀，即获得金属纳米间隙的表面增强拉曼散射基底；本发明利用ALD在金属颗粒之间引入均一的纳米级厚度的氧化物，再通过化学腐蚀的方法去除部分氧化物，以此来制备纳米级的金属间隙，并用来作为表面增强拉曼散射基底，该方法步骤简单、重复性好、成本低廉，所得基底具有优异的表面增强拉曼散射性能。
利用 ald 制备金属纳米间隙表面增强散射基底方法

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