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[发明专利]沟槽中薄膜沉积的方法-CN202080027992.0有效
发明人：郭津睿;卢多维克·戈代;罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森;徐永安;杨政翰;陈建安 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-02-19 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C23C16/04 文献下载
摘要：本公开内容的实施方式总体涉及在沉积、蚀刻和/或固化工艺期间利用掩模来处理含有基板的工件，以在工件上具有局部的沉积。将掩模放置在工件的第一层上，所述掩模保护复数个沟槽免受第二层的沉积的影响。在一些实施方式中，在第二层的沉积之前放置掩模。在其他实施方式中，在沉积掩模之前使第二层固化。在其他实施方式中，在沉积掩模之后蚀刻第二层。本文中所公开的方法允许在工件中所存在的沟槽中的一些中沉积第二层，而同时至少部分地防止在工件中所存在的其他沟槽中沉积第二层。
沟槽薄膜沉积方法

[发明专利]一种快速定位像点网格的方法-CN202110586060.6有效
发明人：王逸濠;张甘露;魏子哲;赵雪磊;徐永安 -专利权人：扬州大学
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明公开了工业检测技术领域内的一种快速定位像点网格的方法，包括以下步骤，包括以下步骤，（1）预处理图像，去除隧道背景冗余图像数据，提取激光线的光带；（2）计算激光线光带中心坐标；（3）提取基于一定行列间隔标定模板的标定网格，将标定网格行列直线斜率和截距分别存储到索引表中；（4）搜索网格直线方程；（5）判断像点是否在网格区域内，若在，转至步骤（6），否则返回步骤（4）；（6）根据像点标定网格位置进行坐标转换，得到最终物点坐标；使用本发明可提高图像处理效率。
一种快速定位网格方法

[发明专利]用以形成具倾斜角的结构的平版印刷术方法-CN202180086387.5在审
发明人： 徐永安;傅晋欣;杨政翰;卢多维克·戈代 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-11-23 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本公开内容总体涉及形成光学装置的方法，所述光学装置包含设置在透明基板上的纳米结构。一种形成纳米结构的第一工艺包含在玻璃基板上沉积第一材料的第一层；在所述第一层中形成一或多个沟槽；和在一或多个孔至沟槽中沉积第二材料的第二层，交替的第一材料的第一部分和第二材料的第二部分的第一交替层。将第一工艺重复一或多次，以在第一交替层之上形成额外的交替层。每个交替层的每个第一部分设置成与相邻交替层中的相邻第一部分接触并且从所述相邻第一部分偏移一段距离。第二工艺包含从每个交替层移除第一部分或第二部分以形成多个纳米结构。
用以形成倾斜角结构平版印刷术方法

[发明专利]生成基于圆柱型隧道扫描数据的扇形链表数据结构的方法-CN202310427119.6在审
发明人：仇婧文;黄伟杰;徐永安 -专利权人：扬州大学
申请日： 2023-04-20 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G06F16/22 文献下载
摘要：本发明公开了生成基于圆柱型隧道扫描数据的扇形链表数据结构的方法，包括以下步骤，生成初始隧道点云数据；生成扇形数据结构；生成扇形链表结点；选取基准点；将隧道点云数据存放至对应的扇区；使用本发明实现了一种新的数据结构，即扇形链表数据结构，能够快速提取隧道截面数据。
生成基于圆柱隧道扫描数据扇形数据结构方法

[发明专利]一种多条激光线错位插补的测量方法-CN202110360540.0有效
发明人：张甘露;王逸濠;吴传昊;赵雪磊;徐永安 -专利权人：扬州大学
申请日： 2021-04-02 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明公开了隧道检测技术领域内的一种多条激光线错位插补的测量方法，包括以下步骤：(1)将多个线激光发生器和高速数码相机一起安装在移动平台上；(2)启动线激光发生器；(3)启动高速数码相机；(4)启动移动平台；(5)将拍摄的激光线图像进行拼接后导入计算机；(6)将拼接完成的激光线图像进行划分；(7)计算有效测量范围内的所有间隔值，找出最大值；(8)若最大间隔小于等于s，保留该速度倍数；否则不保留该速度倍数；(9)返回步骤(4)，直到速度倍数Vn达到设定的阈值；(10)根据所有保留的速度倍数，确定可选速度倍数的范围，最后选取最大速度倍数Vmax；(11)计算出最大速度vmax；使用本发明可提高检测效率。
一种激光错位测量方法

[发明专利]处理透明基板的方法和设备-CN202180016687.6在审
发明人： 徐永安;陈建安;卢多维克·戈代 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本公开内容的多个方面一般涉及处理诸如玻璃基板等透明基板的方法和设备。在一个实施方式中，用于光学组件的膜堆叠物包括玻璃基板，玻璃基板包括第一表面和第二表面。膜堆叠物包括：形成于第一表面上的组件功能层；形成于组件功能层上的硬模层；和形成于硬模层上的基板识别层。硬模层包括铬、钌或氮化钛中的一种或多种。膜堆叠物包括：形成于第二表面上的背侧层。形成于第二表面上的背侧层包括导电层或氧化物层中的一个或多个。
处理透明方法设备

[发明专利]用于生产形貌基板的无掩模光刻方法-CN202180014861.3在审
发明人： 徐永安;卢多维克·戈代 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-01-07 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：在一个实施方式中，一种制作具有不同高度的至少两个特征的器件的方法包含以下步骤：在基板上沉积抗蚀剂；确定用于器件的至少两个特征的形貌图案；确定用于器件的至少两个特征的曝光图案；以第一剂量的光曝光抗蚀剂的第一区域，第一区域对应于至少两个特征的第一特征；以不同于第一剂量的光的第二剂量的光曝光抗蚀剂的第二区域，第二区域对应于至少两个特征的第二特征；及显影抗蚀剂。
用于生产形貌无掩模光刻方法

[发明专利]用于确定多图案的线角度及旋转的方法-CN202080092811.2在审
发明人： 徐永安;邢婵娟;傅晋欣;卢多维克·戈代 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-12-14 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本文公开了用于确定光栅或线特征的线角度及线角度旋转的方法及设备。本公开内容的一个方面涉及，使用测量工具来测量第一线特征的坐标点，从所述坐标点确定所述第一线特征的第一斜率，及从所述第一线特征的所述斜率确定第一线角度。能重复此过程以找出相邻于所述第一线特征的第二线特征的第二斜率。能比较所述第一线特征与所述第二线特征的斜率来找出线角度旋转。所述线角度旋转与设计规格进行比较，来确定拼接品质。
用于确定图案角度旋转方法

[发明专利]用于光刻拼接的系统、软件应用程序及方法-CN202080092787.2在审
发明人： 徐永安;克里斯多弗·丹尼斯·本彻;罗伯特·简·维瑟;卢多维克·戈代 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本公开内容的实施方式关于用于在光源的传播方向上定位掩模的方法。掩模对应于待写入基板的光刻胶层中的图案。通过拼接第一掩模和第二掩模来定位掩模。第一掩模包括一组第一特征，第一特征具有在第一特征界面处从第一特征延伸的第一特征延伸部分。第二掩模包括一组第二特征，第二特征具有在第二特征界面处从第二特征延伸的第二特征延伸部分。每个第一特征延伸部分与每个对应的第二特征延伸部分拼接，以形成第一对掩模的第一拼接部分的每个拼接部分。第一对掩模的拼接部分限定了要写入光刻胶层中的图案的一部分。
用于光刻拼接系统软件应用程序方法

[实用新型]一种冶金精轧机用中间固定托板-CN202221011361.2有效
发明人：张亮;陶宏林;徐永安 -专利权人：安徽晨光高耐磨科技股份有限公司
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： B21B39/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种冶金精轧机用中间固定托板，包括固定托板本体，所述固定托板本体的内部设有若干条沿着固定托板本体的长度方向设置的散热通道，所述散热通道的相对两端均贯穿于固定托板本体设置，且所述散热通道的相对两端端部均设有用于与外部水管连接的连接机构。本实用新型通过在固定托板本体内部设置若干条沿着固定托板本体的长度方向的用于与外部冷却水源接通的散热通道，在使用时能够通过控制散热通道内部水流的流速从而迅速带走固定托板本体上的大部分热量，提高固定托板本体的散热效果；进而有效解决固定托板本体因长期高温导致应力释放不均匀，极易开裂损伤，使用寿命低的问题。
一种冶金轧机中间固定

[发明专利]掩模定向-CN202080090426.4在审
发明人： 徐永安;罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森;郭津睿;卢多维克·戈代 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-12-08 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：提供了一种在基板上形成图案化特征的方法。该方法包括以下步骤：将布置在掩模布局中的多个掩模定位在基板上方。基板定位在第一平面中，且多个掩模定位在第二平面中，掩模布局中的多个掩模具有多个边缘，多个边缘各自平行于第一平面且平行或垂直于基板上的对准特征延伸，基板包括多个分区，多个分区被配置为被引导通过布置在掩模布局中的掩模的能量图案化。该方法进一步包括以下步骤：通过基板上方的掩模布局中布置的多个掩模向多个分区引导能量，以在多个分区的各者中形成多个图案化特征。
定向

[发明专利]用于基板的处置与均匀烘烤的烘烤装置-CN202080087669.2在审
发明人：希拉姆·塞维拉;徐永安;卢多维克·戈代 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开内容的实施方式涉及用于处置和均匀烘烤基板的烘烤设备以及用于处置和均匀烘烤基板的方法。烘烤设备允许将基板加热到大于50℃的温度，而没有从基板的边缘到基板的中心的约1mm至约2mm的弯曲。烘烤设备均匀地或实质均匀地加热基板以改善基板品质。
用于处置均匀烘烤装置

[发明专利]比较对准向量的裸片系统和方法-CN202080071132.7在审
发明人： 徐永安;邢婵娟;傅晋欣;王诣斐;韦恩·麦克米兰;卢多维克·戈代 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-09-14 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： G06T3/00 文献下载
摘要：本公开内容之实施方式包括裸片系统与比较对准向量的方法。该裸片系统包括以期望图案排列的多个裸片。能够从该裸片的边缘特征确定对准向量，诸如裸片向量。这些对准向量能够与相同系统中的其他裸片或裸片图案比较。一种比较裸片与裸片图案的方法包括：比较裸片向量和/或图案向量。对准向量之间的比较允许为下一轮的处理固定裸片图案。所提供的方法允许刚沉积的边缘特征之间的准确比较，使得能够实现准确的裸片拼接。
比较对准向量系统方法

[发明专利]测量系统及光栅图案阵列-CN202080064098.0在审
发明人：傅晋欣;王诣斐;徐永安;卢多维克·戈代 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-08-25 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： G01D5/38 文献下载
摘要：本公开内容的实施方式包括测量系统和光栅图案阵列。测量系统包括多个子系统，用于产生基板上的光栅区域的衍射图案或放大现实图像。测量系统配置为反射和透射光，且经反射和经透射的光束产生衍射图案和放大的图像。衍射图案和图像提供有关光栅区域的光栅间距和角度的信息。设置在基板上的光栅图案阵列包括主要区域和参考区域。参考区域用于定位对应的主要区域。测量系统不包括旋转台，且因此不需要精确控制台的旋转。
测量系统光栅图案阵列

[发明专利]一种反应型双镁复合材料及其制备方法-CN202111500339.4在审
发明人：崔崇;王惠陵;陈君;徐永安 -专利权人：王惠陵
申请日： 2021-12-09 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： C04B28/30 文献下载
摘要：本发明涉及一种反应型双镁复合材料及其制备方法，其组成包括锆渣、活性氧化镁、工业硫酸镁（MgSO4·7H2O）、橡胶粉、木粉、3‑7mm玻璃纤维、硅烷偶联剂、表面活性剂、耐水剂等。利用氧氯化锆尾渣含有氯离子通过加入氧化镁原位形成索瑞尔水泥，利用氧氯化锆尾渣含有纳米尺度的多羟基聚合氧化硅形成硅酸镁水硬相，加入硫酸镁形成硫氧镁胶凝材料提升早期强度，解决氯氧镁水泥软化系数低的难题。材料在自然养护28天后的室温抗弯强度15‑20MPa，抗压强度20‑60MPa，材料密度0.9‑1.8克/立方厘米，弹性模量30GPa，可替代木材，节约大量的木材资源。以它为基料制成的复合材料可制做交通道路声屏障、建筑防火门、防火墙、轻质内隔墙、机械包装箱托盘、室内外装修材料以及广告灯箱、机床包装箱板等产品。
一种反应型双镁复合材料及其制备方法

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