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[发明专利]一种机械手固定调整台-CN202310705254.2在审
发明人：周培松;蒋海涛;姚依笛 -专利权人： 海宁集成电路与先进制造研究院
申请日： 2023-06-14 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B25J9/00 文献下载
摘要：本申请提供一种机械手固定调整台，包括：固定台主体；固定板，设置在所述固定台主体顶部，远离所述固定台主体的一侧固定连接有机械手，所述固定板的第一侧和第二侧均设有第一固定结构，用于限制所述固定板相对于所述固定台主体在水平方向的位移；固定盒，设置在所述固定台的顶部，所述固定盒的顶部设有容纳座，所述固定板嵌设在所述容纳座中，所述固定盒设有第二固定结构和第三固定结构，用于限制所述固定板相对于所述固定台主体的位移。使机械手受力时，通过固定板和固定盒以及第一固定结构和第二固定结构以及第三固定结构配合分担受力，固定更加稳定。
一种机械手固定调整

[发明专利]一种半导体晶圆翻转装置及系统-CN202310730185.0在审
发明人：周培松;许燚赟;蒋海涛 -专利权人： 海宁集成电路与先进制造研究院
申请日： 2023-06-19 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本申请提供一种半导体晶圆翻转装置及系统，装置包括主体；旋转夹持机构，与主体滑动连接，能够沿第一方向往复移动；旋转夹持机构包括能够绕第一轴线旋转的翻转块，第一轴线沿与第一方向相互垂直的第二方向延伸；翻转块沿第二方向的一端安装有夹爪，夹爪包括对称设置的两个夹臂，两个夹臂能够相向移动以靠近半导体晶圆的边缘，或能够相背移动以远离半导体晶圆的边缘。本申请提供的半导体晶圆翻转装置及系统，通过夹爪中对称设置的两个夹臂能够对半导体晶圆的边缘进行夹持，以在半导体晶圆被夹持时，减小第一侧表面上和第二侧表面上存在的被遮挡的区域，有利于对半导体晶圆的第一侧表面和第二侧表面进行检测，可操作性更高，实用性更强。
一种半导体翻转装置系统

[实用新型]一种定位台-CN202320922562.6有效
发明人：周培松;姚依笛;蒋海涛 -专利权人： 海宁集成电路与先进制造研究院
申请日： 2023-04-18 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种定位台，通过夹持机构将待定位电路板推动至机械手臂进行拾取的位置，机械手臂不需要再根据电路板的位置进行微调，减少通过机械手臂进行转移耗费的时间。并且，对于不同类型的电路板，只需要调节夹持机构的推动距离，即可将不同的电路板推动至拾取位置，能够应用于多种电路板，无需针对每种电路板进行适应设计，减少耗费成本。
一种定位

[实用新型]一种激光跟踪仪坐标定位辅助装置-CN202320608984.6有效
发明人：周培松;许燚赟;张刘港 -专利权人： 海宁集成电路与先进制造研究院
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B23Q17/22 文献下载
摘要：本申请提供一种激光跟踪仪坐标定位辅助装置，用以辅助激光跟踪仪在打点区域内确定打点点位，包括：壳体，位于所述打点区域的上方，其底部设有朝向所述打点区域的开口；伸缩机构，位于所述壳体内，包括多个一一对应连接设置的伸缩结构和座瓣，多个所述座瓣能够在所述伸缩结构的伸缩作用下彼此靠近形成用以承载靶球的球座，或远离形成供所述靶球通过的通道，所述球座或所述通道与所述开口相对设置；打点机构，包括相连接的定位螺杆和打点部，所述定位螺杆穿过所述壳体顶部且与所述壳体顶部螺纹连接，并能沿所述球座或通道的轴线上下运动，所述打点部靠近所述伸缩机构设置。本申请使靶球顺利的从壳体取出，且提升了利用靶球进行打点定位的精度。
一种激光跟踪坐标定位辅助装置

[发明专利]激光跟踪仪标定装置及方法-CN202310774142.2在审
发明人：周培松;张刘港;许燚赟 -专利权人： 海宁集成电路与先进制造研究院
申请日： 2023-06-27 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G01S17/42 文献下载
摘要：本申请提供一种激光跟踪仪标定装置及方法，包括：沿第一方向滑动连接的第一安装台和第二安装台，第一安装台和第二安装台沿第一方向滑动连接；第一安装台上沿所述第一方向依次设有激光跟踪仪、干涉仪、第一安装架和第二安装架，第一安装架和第二安装架均与第一安装台沿第二方向滑动连接，第一方向和第二方向为相互垂直的水平方向，第一安装架安装有靶镜和干涉镜，第二安装架转动安装有反光镜；第二安装台上设有第三安装架，第三安装架与第二安装台沿第二方向滑动连接，第三安装架安装有五棱镜。本申请提供的激光跟踪仪标定装置及方法，结构简单，操作简便，可以快速调节光路长度和反光位置，实现对激光跟踪仪的不同标定工作需求，准确度高。
激光跟踪标定装置方法

[发明专利]半导体器件的表面缺陷检测装置-CN202310620461.8在审
发明人：何伟恒;陈亮;沈洋;周培松;张文昊 -专利权人：中国计量大学;海宁集成电路与先进制造研究院
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本申请提供一种半导体器件的表面缺陷检测装置，包括：底座；检测组件，安装在底座上；光源组件，安装在底座上，位于半导体器件与检测组件之间，包括朝向半导体器件设置的第一发光板，第一发光板上设有与半导体器件相对的第一通孔；第一发光板远离半导体器件的一侧设有相对的第二发光板和分光镜，分光镜在第一发光板上的正投影覆盖第一通孔，第二发光板在所述第一发光板上的正投影位于第一通孔外；分光镜与检测组件相对设置。本申请提供的半导体器件的表面缺陷检测装置，结构简单，操作简便，可以有效增强半导体器件的表面图像信息的成像质量，获得清晰度更高的表面图像信息，进而提高缺陷检测的准确性。
半导体器件表面缺陷检测装置

[实用新型]一种光电器件的测试装置-CN202320419046.1有效
发明人：周培松;敖俊姣 -专利权人： 海宁集成电路与先进制造研究院
申请日： 2023-03-01 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本实用新型提供一种光电器件的测试装置，用于对光电器件进行测试，包括安装板和固定在安装板上用于测试光电器件的检测机构；检测机构包括与安装板连接的正极端和负极端；负极端连接有用于插接光电器件的插座和发光元器件，插座和发光元器件固定在安装板上，插座与负极端连接，插座与发光元器件电连接；安装板上还固定有触发开关、复位开关和电阻器，电阻器与正极端连接，触发开关、复位开关与发光元器件电连接。本方案将光电器件准插座插入，连接好光电器件后，通过控制触发开关和复合开关，并观察发光元器件的情况；能够有效并快速的对光电器件的好坏进行检测，提高检测效率，有效解决了传统方法对光电器件进行检测时操作麻烦且繁琐的问题。
一种光电器件测试装置

[发明专利]一种布匹瑕疵检测设备-CN202310698042.6在审
发明人：周培松;姚依笛;许燚赟;郭雨佳 -专利权人： 海宁集成电路与先进制造研究院
申请日： 2023-06-13 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G01N21/892 文献下载
摘要：本申请提供一种布匹瑕疵检测设备，包括：基座，基座的第一端和第二端均相对设有支架，第一端的支架之间转动设有传输布匹的第一辊，第二端的支架之间转动设有用于收卷布匹的第二辊；限位板，分别可调节设置在第一辊和第二辊上，用于限制布匹在第一辊和第二辊的位置；检测箱，设置在第一辊和第二辊之间，检测箱包括第一检测区域和第二检测区域，第一检测区域包括第一采集摄像头和第一传输装置，第一传输装置用于调节布匹传输角度；第二检测区域包括第二采集摄像头和第二传输装置，第二采集摄像头的采集方向垂直于第二传输装置。丰富瑕疵检测参数，提高瑕疵检测效果，避免布匹偏移对瑕疵检测结果的影响。
一种布匹瑕疵检测设备

[实用新型]一种布匹瑕疵识别装置-CN202320356432.0有效
发明人：周培松;张刘港 -专利权人： 海宁集成电路与先进制造研究院
申请日： 2023-03-01 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： D06H3/08 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种布匹瑕疵识别装置，该装置包括：第一传输辊组，包括第一传输辊和第二传输辊，用于沿第一传输辊向第二传输辊传输布匹；压板装置，被配置为给传输的布匹不同的压力以增加布匹的张力；弹性体，设置在传输的布匹的下方，用于对布匹进行承托及对受到压力的布匹提供弹性空间；采集相机，设置在压板装置上，用于对布匹进行数据图像采集；标记装置，设置在第二传输辊的上方，用于识别并标记布匹上存在的瑕疵位置；上位机，分别与压板装置、采集相机、标记装置连接，用于控制压板装置、采集相机、标记装置工作。有利于对布匹的瑕疵进行更加精准的识别。
一种布匹瑕疵识别装置

[发明专利]一种定位台-CN202310442754.1在审
发明人：周培松;姚依笛;蒋海涛 -专利权人： 海宁集成电路与先进制造研究院
申请日： 2023-04-18 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种定位台，通过夹持机构将待定位电路板推动至机械手臂进行拾取的位置，机械手臂不需要再根据电路板的位置进行微调，减少通过机械手臂进行转移耗费的时间。并且，对于不同类型的电路板，只需要调节夹持机构的推动距离，即可将不同的电路板推动至拾取位置，能够应用于多种电路板，无需针对每种电路板进行适应设计，减少耗费成本。
一种定位

[实用新型]一种螺纹凸轮联动式差速器-CN202223212351.8有效
发明人：郭政建;蒋海涛;张刘港;姚依笛;郭雨佳;敖俊姣;周培松 -专利权人： 海宁集成电路与先进制造研究院
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： F16H48/14 文献下载
摘要：本申请提供一种螺纹凸轮联动式差速器，包括：顺次连接的螺纹机构、联动筒和凸轮机构；所述螺纹机构包括套设螺纹连接的主动筒和移动筒，所述移动筒与所述联动筒通过第一连接件固定连接，所述移动筒在所述主动筒的转动螺纹作用下带动所述联动筒作直线运动；所述凸轮机构包括凸轮筒和第二连接件，所述第二连接件穿过所述凸轮筒上的凸轮槽固定在所述联动筒上，所述第二连接件在所述联动筒的直线运动作用下在所述凸轮槽内移动，以带动所述凸轮筒作旋转运动。本申请结构小巧、空间占用合理、安装更方便，在使用时不会像现有的行星齿轮组结构那样出现振动问题，并且传动精度更高。
一种螺纹凸轮联动差速器

[发明专利]一种布匹瑕疵识别装置及方法-CN202310217187.X在审
发明人：周培松;张刘港 -专利权人： 海宁集成电路与先进制造研究院
申请日： 2023-03-01 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： D06H3/08 文献下载
摘要：本申请提供一种布匹瑕疵识别装置及方法，该装置包括：第一传输辊组，包括第一传输辊和第二传输辊，用于沿第一传输辊向第二传输辊传输布匹；压板装置，被配置为给传输的布匹不同的压力以增加布匹的张力；弹性体，设置在传输的布匹的下方，用于对布匹进行承托及对受到压力的布匹提供弹性空间；采集相机，设置在压板装置上，用于对布匹进行数据图像采集；标记装置，设置在第二传输辊的上方，用于识别并标记布匹上存在的瑕疵位置；上位机，分别与压板装置、采集相机、标记装置连接，用于控制压板装置、采集相机、标记装置工作。
一种布匹瑕疵识别装置方法

[发明专利]一种光电器件的测试装置-CN202310216724.9在审
发明人：周培松;敖俊姣 -专利权人： 海宁集成电路与先进制造研究院
申请日： 2023-03-01 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明提供一种光电器件的测试装置，用于对光电器件进行测试，包括安装板和固定在安装板上用于测试光电器件的检测机构；检测机构包括与安装板连接的正极端和负极端；负极端连接有用于插接光电器件的插座和发光元器件，插座和发光元器件固定在安装板上，插座与负极端连接，插座与发光元器件电连接；安装板上还固定有触发开关、复位开关和电阻器，电阻器与正极端连接，触发开关、复位开关与发光元器件电连接。本方案将光电器件准插座插入，连接好光电器件后，通过控制触发开关和复合开关，并观察发光元器件的情况；能够有效并快速的对光电器件的好坏进行检测，提高检测效率，有效解决了传统方法对光电器件进行检测时操作麻烦且繁琐的问题。
一种光电器件测试装置

[发明专利]一种激光跟踪仪坐标定位辅助装置-CN202310288714.6在审
发明人：周培松;许燚赟;张刘港 -专利权人： 海宁集成电路与先进制造研究院
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： B23Q17/22 文献下载
摘要：本申请提供一种激光跟踪仪坐标定位辅助装置，用以辅助激光跟踪仪在打点区域内确定打点点位，包括：壳体，位于所述打点区域的上方，其底部设有朝向所述打点区域的开口；伸缩机构，位于所述壳体内，包括多个一一对应连接设置的伸缩结构和座瓣，多个所述座瓣能够在所述伸缩结构的伸缩作用下彼此靠近形成用以承载靶球的球座，或远离形成供所述靶球通过的通道，所述球座或所述通道与所述开口相对设置；打点机构，包括相连接的定位螺杆和打点部，所述定位螺杆穿过所述壳体顶部且与所述壳体顶部螺纹连接，并能沿所述球座或通道的轴线上下运动，所述打点部靠近所述伸缩机构设置。本申请使靶球顺利的从壳体取出，且提升了利用靶球进行打点定位的精度。
一种激光跟踪坐标定位辅助装置

[发明专利]反射式激光跟踪仪两轴与反射镜平移误差测量装置及方法-CN202211611722.1在审
发明人：蒋海涛;郭政建;周培松;张刘港;敖俊姣;郭雨佳;许燚赟;姚依迪 -专利权人： 海宁集成电路与先进制造研究院
申请日： 2022-12-14 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： G01B21/04 文献下载
摘要：本申请提供一种反射式激光跟踪仪两轴与反射镜平移误差测量装置及方法。该装置包括：二维精密转台，包括转台主体、水平轴、垂直轴和反射镜；三坐标测量仪，包括测量平台和测针，测针用于对反射镜进行多个第一点位测量，并利用多个第一点位拟合成为反射面，调平装置，用于搭载二维精密转台，并对二维精密转台进行水平调平。测量装置，用于测量二维精密转台是否水平以及测量反射镜与水平轴、垂直轴的平移误差。该方法通过二维精密转台的水平轴和垂直轴带动反射镜，测量反射镜与水平轴的平移误差以及水平轴与垂直轴的平移误差。本申请有效获取二维精密转台与两轴之间的平移误差，从而获取真实的误差补偿数据。
反射激光跟踪仪两轴平移误差测量装置方法

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