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[发明专利]VSS模型的碰撞参数计算方法、装置、电子设备及介质-CN202211341946.5在审
发明人：孟涛;陈进新;李璟;丁敏侠 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G16C10/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种VSS模型的碰撞参数计算方法，应用于气体动力技术领域，包括：将稀薄气体分子按照温度进行划分，得到至少一个温度区间，待测量碰撞参数的VSS模型基于该稀薄气体分子构建而成，对于每个该温度区间，以该温度区间的初温为该温度区间的背景温度计算该温度区间的稀薄气体分子碰撞对区间相对速度，根据每个该温度区间的该稀薄气体分子碰撞对区间相对速度和该VSS模型，计算得到该VSS模型的碰撞参数。本发明还提供了一种VSS模型的碰撞参数计算装置、电子设备及存储介质，可有效减少计算量，加快计算收敛的速度。
vss 模型碰撞参数计算方法装置电子设备介质

[发明专利]真空兼容的平面光学元件调整装置-CN202110519753.3有效
发明人：徐天伟;王丹;陈进新;李璟;王朋辉;杨光华;齐威 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-05-12 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本公开提供一种真空兼容的平面光学元件调整装置，包括：平面光学元件，包括相互垂直的光学面、侧面和底面；第一调节支架，与平面光学元件连接，能够在所述光学面所在平面内移动所述平面光学元件；第二调节支架，与所述第一调节支架连接，能够在所述侧面所在平面内移动所述平面光学元件。实现了光学元件空间直角坐标系的三个标准方向平移及绕标准方向旋转的调节；实现增加调节支架的数量，即可进一步增加光学元件的调节维度；结构通透，能够在真空环境下的使用。
真空兼容平面光学元件调整装置

[实用新型]一种园林绿色施工装置-CN202221294798.1有效
发明人： 陈进新;赵欢欢 -专利权人：山东普济建设集团有限公司
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： A01B43/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种园林绿色施工装置，包括螺旋渐开网板，所述螺旋渐开网板的两侧均固定有支板，所述螺旋渐开网板的外端固定有刀片，所述螺旋渐开网板的内端安装有螺旋叶片，所述支板对应螺旋叶片的位置开设有出料孔，所述螺旋叶片上安装有同轴的转杆二，所述转杆二的端部穿过支板的出料孔并延伸至支板外，所述转杆二转动安装在支架上；本园林绿色施工装置，将土壤中的碎石、砖块或者草根等杂物清理，且经过筛分的土壤直接落回地面，不必将土壤水平移动，降低能源消耗，且相较于人员筛分效率高。
一种园林绿色施工装置

[发明专利]一种测量标记结构的方法、装置及系统-CN201911212240.7有效
发明人：杨光华;王宇;李璟;齐月静;陈进新;齐威;胡丹怡;魏志国 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G01N21/47 文献下载
摘要：本发明提供了一种测量标记结构的方法、装置及系统。所述方法包括：S1，获取平行的相干光束，将所述相干光束入射对准标记后得到衍射光束，该衍射光束通过衍射光阑发生干涉得到干涉信号，通过探测器测量所述干涉信号的实际光强分布；S2，建立测量标记结构的电磁波仿真模型，通过所述仿真模型得到对准标记的j个不同结构参数下的仿真光强分布，j≥1；S3，将实际光强分布分别与j个仿真光强分布进行对比，获取使实际光强分布与仿真光强分布之间差异最小的所述结构参数。
一种测量标记结构方法装置系统

[发明专利]用于硅片表面高度测量的数字滤波装置及方法-CN202210200789.X在审
发明人：裴雨多;齐月静;李璟;王丹;武志鹏;杨光华;陈进新;丁敏侠 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-03-02 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： H03H17/06 文献下载
摘要：本公开提供一种用于硅片表面高度测量的数字滤波装置及方法，装置包括：获取模块，用于获取滤波参数和/或对所述滤波参数进行设置；滤波模块，用于根据所述滤波参数对硅片表面高度的测量信号进行数字滤波，以滤除低频噪声、高频噪声以及白噪声；控制模块，用于将所述测量信号输入至所述滤波模块以及控制所述滤波模块根据滤波参数对硅片表面高度的测量信号进行数字滤波。该数字滤波装置及方法可以提高测量信号质量，使硅片表面高度测量数值更加精确。并且，可以根据不同的工作环境对滤波参数进行设置，有效提高硅片表面高度测量精度，且可扩展性强，实现成本较低。
用于硅片表面高度测量数字滤波装置方法

[发明专利]用于光学系统调焦调平的检测装置及方法-CN202210000822.4在审
发明人：苏佳妮;卢增雄;齐月静;李璟;高斌;陈进新 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-01-04 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本公开提供一种用于光学系统调焦调平的检测装置，该检测装置沿光路方向依次包括：光源、第一PBS棱镜、1/4波片、测试板、1/2波片、分光棱镜和探测器；其中，光源发射的S偏振光被第一PBS棱镜反射至1/4波片，1/4波片将S偏振光转变为圆偏振光，圆偏振光透过待测光学系统，被测试板反射，再次透过待测光学系统返回进入1/4波片，1/4波片将圆偏振光转变为P偏振光；P偏振光透过第一PBS棱镜进入1/2波片，被1/2波片调整偏振方向后进入分光棱镜；分光棱镜的上半部和下半部分别将调整偏振方向后的P偏振光进行多次反射后于同一出光面输出；探测器检测上半部和下半部输出光的位置，并根据该位置对待测光学系统进行调平。
用于光学系统调焦检测装置方法

[发明专利]调整吸盘吸力分布改善硅片翘曲的方法-CN201910908045.1有效
发明人：李璟;丁敏侠;张清洋;齐威;朱世懂;折昌美;陈进新 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-09-24 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种调整吸盘吸力分布改善硅片翘曲的方法，该方法包括：获取当前待曝光硅片的形貌图，得到硅片表面高度分布信息数据；根据硅片表面高度分布信息数据计算当前硅片局部翘曲度；根据计算出的当前硅片局部翘曲度计算硅片表面局部吸附载荷；根据计算出的硅片表面局部吸附载荷调整硅片表面吸点吸力大小。本发明提出的调整吸盘吸力分布改善硅片翘曲的方法，基于吸孔密集化分布且局部或单一吸孔独立可控的吸盘结构，根据计算出的硅片表面局部吸附载荷调整硅片表面吸点吸力大小可实现对不同形状和翘曲程度的硅片达到理想修正。
调整吸盘吸力分布改善硅片方法

[发明专利]一种振动隔离装置-CN201911211537.1有效
发明人： 陈进新;李璟;齐月静;齐威;徐天伟;魏志国 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： F16F15/03 文献下载
摘要：本发明提供了一种振动隔离装置，包括：真空腔体(1)、真空腔体(1)内设有主基板(2)，真空腔体(1)的一内壁与主基板(2)之间设有至少一个隔振系统(3)；隔振系统(3)包括：永磁体(31)、设置有线圈(32)的线圈架(33)、主弹簧(34)、隔板(35)以及隔板弹簧(36)；永磁体(31)的一端连接主基板(2)，线圈架(33)一端固定在隔板(35)上，永磁体(31)的部分或全部置于线圈架(33)内部，线圈架(33)与永磁体(31)之间的相对位置可调；主基板(2)、主弹簧(34)、隔板(35)、隔板弹簧(36)以及真空腔体(1)依次连接。
一种振动隔离装置

[外观设计]杯架-CN202130679307.X有效
发明人： 陈进新 -专利权人： 陈进新
申请日： 2021-10-16 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： 07-09 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：杯架。2.本外观设计产品的用途：用于放置杯子。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
杯架

[发明专利]一种调校装置及其调校方法-CN202111428098.7在审
发明人：王朋辉;李璟;陈进新;卢增雄;马敬;齐威 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-11-26 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： G02B7/18 文献下载
摘要：本公开提供了一种调校装置，包括：底座；棱镜定位模块，设置于底座上，包括：下棱镜定位模块和上棱镜定位模块，其中，下棱镜定位模块用于将下棱镜进行定位，并使下棱镜的胶合面保持水平状态；上棱镜定位模块用于将上棱镜定位，并使上棱镜的胶合面与下棱镜的胶合面贴合。本公开还提供了一种调校方法。
一种调校装置及其方法

[发明专利]多干涉仪组合应用安装调整装置-CN202111351425.3在审
发明人：齐威;李璟;杨光华;陈进新;卢增雄;齐月静;苏佳妮 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-11-15 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：本发明涉及精密机械技术领域，提供了一种多干涉仪组合应用安装调整装置，包括：载物台；干涉仪组，包括分别位于载物台的前侧、左侧和后侧的第一干涉仪、第二干涉仪和第三干涉仪，载物台上分别相对第一干涉仪和第三干涉仪的位置上设有第一反射镜和第二反射镜，第一反射镜和第二反射镜的正上方分别设置有第一Z向反射镜和第二Z向反射镜；光路传播部，包括第一光路传播路径、第二光路传播路径和第三光路传播路径，入射光分别沿第一光路传播路径、第二光路传播路径和第三光路传播路径进入第一干涉仪、第二干涉仪和第三干涉仪，第一干涉仪的出射光束经第一反射镜反射至第一Z向反射镜，第三干涉仪的出射光束经第二反射镜反射至第二Z向反射镜。
干涉仪组合应用安装调整装置

[发明专利]晶圆轮廓图的构造方法-CN201911211570.4有效
发明人：武志鹏;李璟;王丹;谢冬冬;齐威;陈进新;胡丹怡 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：一种晶圆轮廓图的构造方法，该方法包括根据晶圆属性信息及晶圆上Die的属性信息，绘制初始晶圆高度轮廓图，其中，晶圆属性信息包括晶圆的尺寸及方向，Die的属性信息包括Die的数量、尺寸及几何分布；在初始晶圆高度轮廓图中确定晶圆的原点，以原点建立晶圆平面内的坐标系，得到晶圆上各Die的位置坐标；对晶圆按照预设顺序进行扫描，得到晶圆的高度轮廓信息，其中高度轮廓信息包括晶圆上各Die的高度信息及位置坐标；根据位置坐标，将各Die的高度信息添加至初始晶圆高度轮廓图中，生成晶圆轮廓图。该方法可通过三维图形化和数字化的方式，将已获得的晶圆高度信息进行可视化展示，并且可直接将Die与Die的差异展示出来。
轮廓构造方法

[发明专利]超精密位置探测光电信号解算结果有效性评价方法及系统-CN202111302954.4在审
发明人：李璟;马会娟;丁敏侠;周成龙;陈进新;折昌美 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-11-04 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明提供的超精密位置探测光电信号解算结果有效性评价方法及系统，将照明光源分别移动到对准光栅标记前全反射区域；以时间T为间隔控制信号发生器分别产生与N个衍射级光电信号对应的余弦电压信号；发生器驱动输出的余弦电压信号驱动照明光源产生同频余弦光信号；光电探测器对余弦光信号进行光电转换并由信号调理电路进行偏置调整和信号放大后，模数转换器进行AD转换；将照明光源分别移动到对准光栅标记后全反射区域，并重复上述步骤；数字信号处理模块进行余弦拟合与MCC评价，以两次MCC最小值作为定位位置解算有效性评价依据。解决现有MCC评价方法不适用于单通道数据采集器直接采集多衍射级次光电复合信号方案下的定位位置解算结果评价的弊端。
精密位置探测光电信号结果有效性评价方法系统

[发明专利]六自由度调整装置-CN202111358639.3在审
发明人：齐威;李璟;陈进新;苏佳妮;丁敏侠;武志鹏 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-11-16 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种六自由度调整装置，涉及精密机械技术领域。该六自由度调整装置包括线性调整模块(1)，用于实现待调整光学元件在X向、Y向和Z向的位移调整；角度调整模块(2)，设置于线性调整模块(1)的下部，用于实现待调整光学元件在Theta X向、Theta Y向和Theta Z向的角度调整。本发明的线性调整模块(1)包络于角度调整模块(2)的上部，形成内外嵌套的结构形式。同时，线性调整模块(1)采用内外嵌套的形式，并向下扩展逐渐包络角度调整模块(2)。本发明采用了多层包络相互嵌入的方式，在对待调整光学元件进行六自由度精密定位的同时，提高了装置空间体积的紧凑性。
自由度调整装置

[发明专利]一种调制和解调信号的同步控制方法以及装置-CN202111189694.4在审
发明人：马会娟;李璟;卢增雄;杨光华;张清洋;陈进新 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-10-12 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本公开提供调制和解调信号的同步控制方法以及装置，调制和解调信号的同步控制方法包括获取外部同步脉冲以及时钟信号，形成同步信号根据所述同步信号，控制产生调制信号以及控制采集解调信号。在本公开提供的技术方案中，使用同步采集机制，可同时控制解调采集信号和调制信号输出，具有灵活的网络拓扑结构，能够完成测控系统光电信号精确的同步控制和高精度并行计算；同步信号输入到FPGA模块内，由FPGA模块进行控制，FPGA模块收到外同步信号后，同时控制解调信号采集和调制信号输出。对光信号的同步调制产生以及解调信号采集能够实现同步控制。
一种调制解调信号同步控制方法以及装置

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