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[发明专利]一种钨钛硅合金溅射靶材及其制备方法-CN202010955989.7有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;黄东长 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-09-11 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及一种钨钛硅合金溅射靶材及其制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)将钨粉、钛粉与硅粉按照质量比例混合均匀，得到钨钛硅混合粉；(2)将所述钨钛硅混合粉装入模具并封口；(3)在1280～1320℃下进行热压烧结处理，得到钨钛硅合金溅射靶材粗品；(4)将所述钨钛硅合金溅射靶材粗品进行机加工，得到钨钛硅合金溅射靶材。本发明所述制备方法基于对W‑Ti‑Si三元合金体系的研究，采用热压烧结工艺并控制热压烧结的温度为1280～1320℃，不仅可以制备得到致密度＞99％且内部组织结构均匀的钨钛硅合金溅射靶材，还可以降低能耗和成本，具有流程较短、操作简单的优点，适合大规模推广。
一种钨钛硅合金溅射及其制备方法

[发明专利]一种铝靶材与铝背板的钎焊方法-CN202010976235.X有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-09-16 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种铝靶材与铝背板的钎焊方法，所述铝背板的焊接面设置有第一凹槽，所述第一凹槽内设置有第二凹槽；所述第一凹槽的直径等于所述铝靶材的直径；所述铝靶材焊接面设置有与所述铝背板焊接面第二凹槽相配合的凸起；所述钎焊方法包括如下步骤：(1)对铝靶材的焊接面进行喷砂处理至粗糙度为2‑3μm，对铝背板的焊接面进行阳极氧化处理；(2)向铝背板的第一凹槽和第二凹槽内添加焊料后进行钎焊接，得到铝靶材组件。本发明提供的焊接方法，通过设定特殊的焊接结构并且对焊接面进行特定的处理，实现了铝靶材和铝背板良好的焊接，焊接结合率≥97％，焊接面应力分布均匀，靶材组件使用寿命显著延长。
一种铝靶材背板钎焊方法

[发明专利]一种铝铜合金蒸发料的塑性加工方法-CN202110090502.8有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;慕二龙;汪焱斌 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： B21C1/02 文献下载
摘要：本发明提供一种铝铜合金蒸发料的塑性加工方法，所述塑性加工方法包括依次进行的挤压处理与拉拔处理；所述挤压处理包括单道次挤压；所述单道次挤压的截面变形量为90％‑96％；所述拉拔处理包括多道次拉拔；所述多道次拉拔的每个道次分别独立地为单模拉拔。本发明提供的塑性加工方法克服了铝铜合金塑韧性较差的问题，避免了蒸发料在加工过程中出现开裂甚至断丝现象。
一种铜合金蒸发塑性加工方法

[发明专利]一种钛靶材溅射面的处理方法-CN202110241077.8有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;钱百峰 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-03-04 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： B24B19/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种钛靶材溅射面的处理方法，包括依次进行的砂纸处理、百洁布处理和羊毛轮处理；砂纸处理包括依次进行的320#砂纸处理和600#砂纸处理；百洁布处理包括依次进行的1200#百洁布处理和2000#百洁布处理；羊毛轮处理包括依次进行的羊毛轮+金刚石研磨膏W10处理、羊毛轮+金刚石研磨膏W3.5处理和羊毛轮+金刚石研磨膏W1.5处理；砂纸处理的时间为8‑10min；百洁布处理的时间为2‑4min；羊毛轮处理的时间为8‑11min。采用多种表面处理方法的配合效果，使得处理后溅射面的粗糙度的极差值显著降低，显著地提升了预溅射的效率，提高了钛靶材镀膜的均匀性和致密度。
一种钛靶材溅射处理方法

[发明专利]一种钨靶材组件及其表面加工方法-CN202110871292.6有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;廖培君;沈学峰 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种钨靶材组件及其表面加工方法，所述加工方法包括如下步骤：对钨靶材的溅射面依次进行粗磨和精磨，然后对精磨后的钨靶材溅射面进行抛光；所述加工方法将两种打磨工艺相结合，避免了使用刀具进行车削时引起的卡屑、崩角等问题，提高了加工的稳定性和成品率，降低了加工成本，在保证表面加工质量的条件下提高了生产效率，具有较好的工业化应用前景。
一种钨靶材组件及其表面加工方法

[发明专利]一种大尺寸面板铝靶的制备方法-CN202110979810.6有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜;罗明浩 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-08-25 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种大尺寸面板铝靶的制备方法，所述制备方法包括：对铝坯料依次进行第一锻伸处理、第一热处理、第二锻伸处理、第二热处理以及精铣处理，得到铝靶；将所述铝靶与背板进行钎焊处理，并依次进行抛光处理以及喷砂处理，得到所述大尺寸面板铝靶。所述制备方法有效改善了靶材的性能和质量，提高了铝靶与背板的结合性能。
一种尺寸面板制备方法

[发明专利]一种G5一体铝靶材的加工方法-CN202110326719.4有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;韩浙栋 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-03-26 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： B23P23/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种G5一体铝靶材的加工方法，所述加工方法包括依次进行的精铣焊接面、粗铣外形、半精铣溅射面、精铣溅射面、精铣外形以及精铣R角，通过合理安排加工顺序、选择自制刀具、设置合理加工参数、冷却方式，可以使得加工得到的G5一体铝靶材在平面度、平行度以及产品表面粗糙度均可以达到半导体产品的要求。
一种 g5 一体铝靶材加工方法

[发明专利]一种搬运转向装置、清洗系统和制程设备-CN202210811788.9在审
发明人：万先进;边逸军;李俊;李文超 -专利权人：宁波芯丰精密科技有限公司
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种搬运转向装置、清洗系统和制程设备，属于半导体设备技术领域。该搬运转向装置包括安装体、驱动机构、从动机构和夹爪，驱动机构包括依次相铰接的曲柄主动杆、固定杆、第一随动杆和第二随动杆，曲柄主动杆、固定杆、第一随动杆和第二随动杆的长度各不相同，且固定杆固设于安装体；从动机构包括导轨、滑设于导轨的滑块和从动摆动杆，第二随动杆的延伸部与滑块铰接，从动摆动杆的第一端与导轨铰接，从动摆动杆的第二端转动设置于安装体；夹爪一端垂直设置于导轨，另一端用于夹取晶圆，搬运转向装置整体无需进行后退动作，减少了常规做法的工序，缩短加工时间，有利于晶圆的批量化生产。
一种搬运转向装置清洗系统设备

[发明专利]一种靶材配件的检测装置以及检测方法-CN202210345280.4在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;边逸军;陈文庆 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-03-31 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： G01B5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种靶材配件的检测装置以及检测方法，所述靶材配件的检测装置包括外观检具以及内孔检具；所述外观检具包括至少一个检测槽，所述检测槽的内壁与靶材配件的外观相匹配，所述靶材配件嵌入设置于所述检测槽内；所述内孔检具包括至少一个插孔件，所述插孔件的外观与靶材配件的内孔结构相匹配，所述插孔件嵌入设置于所述靶材配件的内孔。本发明通过利用外观检具以及内孔检具对靶材配件的外观以及内孔进行检测，观察检具与靶材配件之间的配合程度，从而实现快速检测的效果，具有时间短和效率高等特点。
一种配件检测装置以及方法

[发明专利]一种靶材孔位检测装置及其检测方法-CN202210345953.6在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;边逸军;陈文庆 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-03-31 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： G01B21/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种靶材孔位检测装置及其检测方法，所述靶材孔位检测装置包括检测台，所述检测台上设置有至少两个孔位检测柱，所述孔位检测柱的位置与靶材上开孔位置对应，将靶材放置在检测台上，所述孔位检测柱与靶材的开孔一一对应进行孔位检测。本发明通过在检测台上预设与标准靶材孔位位置对应的孔位检测柱，直接将靶材放置在检测台上观察放置情况，即可实现对靶材的孔位进行检测，具有便于检测、效率高和检测准确等优点。
一种靶材孔位检测装置及其方法

[发明专利]一种高纯铝或铝合金靶材及其制备方法-CN202110287178.9有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;李小萍 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-03-17 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种高纯铝或铝合金靶材及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：将铝或铝合金靶材坯料依次进行锻伸、一次热处理、锻造、二次热处理、轧制以及三次热处理，得到高纯铝或铝合金靶材；所述轧制的道次为3～5次；所述轧制的压降量随道次递减；所述制备方法通过优化轧制工艺，显著细化了晶粒尺寸，提高了晶粒的均匀性，工艺流程简单，成本低，有利于规模化生产，具有较好的工业应用前景。
一种高纯铝合金及其制备方法

[发明专利]一种铬硅合金溅射靶材的制备方法-CN202110315792.1有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;杨慧珍 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-03-24 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种铬硅合金溅射靶材的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：保护气氛下球磨混合铬粉与硅粉，得到混合料，混合料中硅粉的质量分数不超过16wt％；所得混合料装模压实，然后进行抽真空处理；完成所述抽真空处理后，进行第一热处理，第一热处理过程中压力不超过6MPa；依次进行第二热处理、第一加压、第二加压与保温保压；保温保压结束后进行保护性气体置换，至压力为‑0.06MPag至‑0.08MPag，然后进行随炉冷却；机加工至所需尺寸，完成铬硅合金溅射靶材的制备。本发明提供的制备方法能够制备硅含量不超过16wt％的铬硅合金靶材，且制备所得靶材的致密度99％，纯度≥99.95％，满足磁控溅射对靶材纯度和密度的要求。
一种合金溅射制备方法

[发明专利]一种用于制备晶圆的保护环及其加工方法-CN202110361967.2有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-04-02 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于制备晶圆的保护环及其加工方法，所述保护环的外周面和一侧圆环面为图案铣削区，所述图案铣削区内遍布吸附槽，所述图案铣削区的粗糙度大于图案铣削区以外的粗糙度。本发明通过在保护环上设置吸附槽，能够解决保护环吸附能力差的问题，在晶圆制备过程中，本发明能够通过吸附槽将吸附靶材上掉落的薄膜吸附收集，避免薄膜掉入晶圆，影响产品质量；此外，通过图案铣削区的粗糙程度大于其他区域，进一步地强化吸附槽对薄膜的吸附能力，本发明具有对薄膜的吸附能力强、结构简单和适应性强等特点。
一种用于制备保护环及其加工方法

[发明专利]一种延长环件寿命的处理方法-CN202011256336.6有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： C21D9/40 文献下载
摘要：本发明提供一种延长环件寿命的处理方法，所述处理方法包括：对环件依次进行固溶、时效和滚花处理；所述滚花处理包括对环件的外圆周面、圆环形外端面以及外圆周面与圆环形外端面的圆角连接处进行滚花处理；本发明通过将固溶、时效和滚花处理结合起来，利用三者之间的促进作用，提升了环件的力学性能，解决了溅射蚀刻中的溅射异常问题，延长了环件的使用寿命。
一种延长寿命处理方法

[实用新型]一种靶材配件检测装置-CN202220751831.2有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;边逸军;陈文庆 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-03-31 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： G01B5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种靶材配件检测装置，所述靶材配件检测装置包括外观检具和内孔检具，所述外观检具包括开设有检测通孔的检测块；所述内孔检具包括检测台以及设置于检测台上的至少一个检测柱，所述检测柱上开设有检测孔；靶材嵌入检测通孔内进行外观检测，再将套设有检测块的靶材放置于检测台上，靶材的内孔与检测柱匹配对应，靶材的内孔中凸起插入所述检测孔中。本实用新型通过设置外观检具和内孔检具对靶材配件的外观以及内孔进行检测，仅通过将检具与靶材配件相互嵌合，具有检测效率高、检测准确等特点。
一种配件检测装置